Peeling Method and Method of Manufacturing Semiconductor Device
Номер патента: US20140264351A1
Опубликовано: 18-09-2014
Автор(ы): Maruyama Junya, Takayama Toru, Yamazaki Shunpei
Принадлежит: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-09-2014
Автор(ы): Maruyama Junya, Takayama Toru, Yamazaki Shunpei
Принадлежит: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of making a thin film semiconductor device
Номер патента: US5897344A. Автор: Satoshi Teramoto,Yasuhiko Takemura,Hongyong Zhang. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 1999-04-27.