Charged Particle Beam System and Control Method Therefor
Номер патента: US20230343550A1
Опубликовано: 26-10-2023
Автор(ы): Takamitsu Saito
Принадлежит: Jeol Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-10-2023
Автор(ы): Takamitsu Saito
Принадлежит: Jeol Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods and devices for detecting and canceling magnetic fields external to a charged-particle-beam (CPB) optical system, and CPB microlithography apparatus and methods comprising same
Номер патента: US6831281B2. Автор: Mamoru Nakasuji. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2004-12-14.