Россия, г. Королев.

eburdiyg@gmail.com

8 (903) 781-84-63

  • Главная
  • PARTICLE BEAM TREATMENT SYSTEM, PARTICLE BEAM TREATMENT MANAGEMENT SYSTEM AND METHOD

PARTICLE BEAM TREATMENT SYSTEM, PARTICLE BEAM TREATMENT MANAGEMENT SYSTEM AND METHOD

Номер патента: US20180064955A1
Опубликовано: 08-03-2018
Автор(ы): ISEKI Yasuaki
Принадлежит: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Particle beam treatment system, particle beam treatment management system and method

Номер патента: SE1751349A1. Автор: Iseki Yasushi. Владелец: Toshiba Kk. Дата публикации: 2017-10-31.

Particle beam treatment system and particle beam treatment management system

Номер патента: SE542995C2. Автор: Yasushi Iseki. Владелец: Toshiba Kk. Дата публикации: 2020-09-22.

Particle beam treatment system and particle beam treatment management system

Номер патента: SE1951336A1. Автор: Yasushi Iseki. Владелец: Toshiba Kk. Дата публикации: 2019-11-22.

Particle beam treatment system and treatment management system

Номер патента: SE542574C2. Автор: Yasushi Iseki. Владелец: Toshiba Kk. Дата публикации: 2020-06-09.

Management system, monitoring apparatus and method thereof

Номер патента: US20110216354A1. Автор: Yoshiko Naito. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2011-09-08.

Blister contents accommodation device, drug administration management system including same, and method for determining whether contents are discharged

Номер патента: US20230355477A1. Автор: Kyung Do Park. Владелец: Coledy Inc. Дата публикации: 2023-11-09.

Method of deconvoluting and restoring image observed in charged particle beam apparatus, image processing apparatus, and charged particle beam apparatus equipped with image processing apparatus

Номер патента: US20230109872A1. Автор: Ogawa Takashi,In Yong Park,Jun Hyeok HWANG. Владелец: Korea Research Institute of Standards and Science KRISS. Дата публикации: 2023-04-13.

Coverage calculating method, charged particle beam writing method, coverage calculating device, charged particle beam writing apparatus, and computer-readable storage medium

Номер патента: US20230369015A1. Автор: Kenichi Yasui,Yasuo Kato. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-11-16.

Power management system, control device, and method

Номер патента: US20200328595A1. Автор: Takashi Sone,Shinichi Yokoyama,Tomohide Haraguchi,Naoya Yasuda. Владелец: Honda Motor Co Ltd. Дата публикации: 2020-10-15.

Charged particle imaging system and use thereof

Номер патента: WO2022221948A1. Автор: Rodney HERRING. Владелец: HERRING Rodney. Дата публикации: 2022-10-27.

Particle beam transport apparatus, rotary gantry, and particle beam irradiation treatment system

Номер патента: US20190255357A1. Автор: Shigeki Takayama,Takeshi Yoshiyuki,Yoshifumi Nagamoto,Tomofumi Orikasa. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2019-08-22.

AUTHORIZATION INFORMATION MANAGEMENT SYSTEM, ELECTRONIC DEVICE AND METHOD FOR MANAGING AUTHORIZATION INFORMATION

Номер патента: US20150074826A1. Автор: Shuto Eita. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-12.

Non-face-to-face access management system using kiosks and method thereof

Номер патента: KR20220135875A. Автор: 임채욱. Владелец: 주식회사 승은. Дата публикации: 2022-10-07.

Management system, monitoring apparatus and method thereof

Номер патента: US8493602B2. Автор: Yoshiko Naito. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2013-07-23.

Non-face-to-face access management system using kiosks and method thereof

Номер патента: KR102459483B1. Автор: 임채욱. Владелец: 주식회사 승은. Дата публикации: 2022-10-26.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US11747292B2. Автор: Hiroyuki Chiba,Wei Chean TAN. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-05.

Storage management system, management device, and method for managing shared storage space

Номер патента: US09948713B2. Автор: Xin Lu,yao-hua Liu,Huan-Huan Zhang. Владелец: Futaihua Industry Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-17.

Calling contacts using a wireless handheld computing device in combination with a communication link establishment and management system

Номер патента: US11805203B2. Автор: Christopher W. Beall,Dhruv H. Shah. Владелец: Connectandsell Inc. Дата публикации: 2023-10-31.

Calling contacts using a wireless handheld computing device in combination with a communication link establishment and management system

Номер патента: US20210344799A1. Автор: Christopher W. Beall,Dhruv H. Shah. Владелец: Connectandsell Inc. Дата публикации: 2021-11-04.

ELECTRONIC DEVICE, MANAGEMENT SYSTEM, RECORDING MEDIA AND METHOD FOR USING AN EXTRA CODE

Номер патента: RU2016108315A. Автор: Хеон Со ПАК. Владелец: Хеон Со ПАК. Дата публикации: 2017-09-19.

STORAGE MANAGEMENT SYSTEM, MANAGEMENT DEVICE AND METHOD THEREFOR

Номер патента: US20160134699A1. Автор: Lu Xin,ZHANG HUAN-HUAN,LIU YAO-HUA. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-12.

APPARATUS FOR CONTROLLING VEHICLE NETWORK MANAGEMENT, SYSTEM INCLUDING SAME AND METHOD THEREOF

Номер патента: US20200389338A1. Автор: PARK Pil Yong. Владелец: . Дата публикации: 2020-12-10.

Storage management system, management device and method

Номер патента: CN105653529B. Автор: 陆欣,张欢欢,刘耀华. Владелец: Futaihua Industry Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2020-08-04.

Suporting structure intelligence operation management system Internet-based and method

Номер патента: CN110163484A. Автор: 李磊,李海洋,李东利,钟庆丰,齐保卫,张进宝,吴启繁,孟帅尧. Владелец: China Railway Engineering Equipment Group Technology Service Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-23.

Particle beam guiding system and method and related radiotherapy system

Номер патента: AU2019236394B2. Автор: Per Havard Kleven. Владелец: Kongsberg Beam Technology AS. Дата публикации: 2024-09-19.

Information processing device, management system, control program, and method for controlling information processing device

Номер патента: EP3831524A1. Автор: Kazuhiro Takeda,Tetsuro Kubota,Kensuke Iuchi,Shota Sakashita,Hideaki OMOTO. Владелец: Omron Tateisi Electronics Co. Дата публикации: 2021-06-09.

Charged particle beam treatment apparatus and method of adjusting path length of charged particle beam

Номер патента: US20150270098A1. Автор: Shinji Iwanaga. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2015-09-24.

Method for manufacturing particle beam therapy system and particle beam therapy system

Номер патента: US20240355497A1. Автор: Yutaka Hirata,Atsushi Miyamoto,Hiromichi RYUTO. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2024-10-24.

Charged particle beam treatment apparatus

Номер патента: US20190027339A1. Автор: Nagaaki Kamiguchi. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2019-01-24.

Multi-layer range measurement for characterizing charged particle beams

Номер патента: US09981146B2. Автор: Raymond P. Boisseau,John S. Gordon,Andrew Dart,Julia C. Nett. Владелец: PYRAMID TECHNICAL CONSULTANTS Inc. Дата публикации: 2018-05-29.

Particle beam guiding system and related radiotherapy system

Номер патента: SE1830083A1. Автор: Per Havard Kleven. Владелец: Ph Kleven As. Дата публикации: 2019-09-13.

Charged particle beam extraction method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system

Номер патента: EP2283705A2. Автор: Vladimir Yegorovich Balakin. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-02-16.

Charged particle translation slide control apparatus and method of use thereof

Номер патента: US9737734B2. Автор: Susan L. Michaud,Stephen L. Spotts. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-08-22.

Charged particle translation slide control apparatus and method of use thereof

Номер патента: US9907981B2. Автор: Susan L. Michaud,Daniel J. Raymond,Stephen L. Spotts. Владелец: Individual. Дата публикации: 2018-03-06.

High-frequency control device for accelerator and particle beam therapy system

Номер патента: US20150073199A1. Автор: Hidenobu TAKASE. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2015-03-12.

High-frequency control device for accelerator and particle beam therapy system

Номер патента: US09456487B2. Автор: Hidenobu TAKASE. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2016-09-27.

Relativistic energy compensating cancer therapy apparatus and method of use thereof

Номер патента: US11000705B2. Автор: W. Davis Lee,Maureen Petterson. Владелец: Individual. Дата публикации: 2021-05-11.

Particle beam transport apparatus

Номер патента: US09818573B2. Автор: Willem Kleeven,Michel Abs,Szymon Zaremba. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2017-11-14.

Rotatable targeting magnet apparatus and method of use thereof in conjunction with a charged particle cancer therapy system

Номер патента: US09757594B2. Автор: Vladimir Balakin. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-09-12.

Radiation anode target systems and methods

Номер патента: US11854761B2. Автор: James Clayton,Josh Star-Lack. Владелец: Varian Medical Systems Inc. Дата публикации: 2023-12-26.

Particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US20230317403A1. Автор: Masaru Nakakita,Takuya Fukuura. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Radiation anode target systems and methods

Номер патента: US20210027973A1. Автор: James Clayton,Josh Star-Lack. Владелец: Varian Medical Systems Inc. Дата публикации: 2021-01-28.

Radiation anode target systems and methods

Номер патента: US20220328276A1. Автор: James Clayton,Josh Star-Lack. Владелец: Varian Medical Systems Inc. Дата публикации: 2022-10-13.

Radiation anode target systems and methods

Номер патента: EP3827445A1. Автор: James Clayton,Josh Star-Lack. Владелец: Varian Medical Systems Inc. Дата публикации: 2021-06-02.

Radiation anode target systems and methods

Номер патента: WO2020023674A1. Автор: James Clayton,Josh Star-Lack. Владелец: Varian Medical Systems, Inc.. Дата публикации: 2020-01-30.

Circular accelerator, particle beam radiotherapy system, and ion source

Номер патента: EP4408128A1. Автор: Takayoshi Seki. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-07-31.

Proton therapy tuning apparatus and method of use thereof

Номер патента: US11918830B2. Автор: Susan L. Michaud,Daniel J. Raymond,Ran Tu,Artur Teymurazyan. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-03-05.

Proton therapy tuning apparatus and method of use thereof

Номер патента: US20240066325A1. Автор: Susan L. Michaud,Daniel J. Raymond,Ran Tu,Artur Teymurazyan. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-02-29.

Neutron capture therapy system and neutron generation part recovery method therefor

Номер патента: EP4318500A1. Автор: qiu-ping Gong. Владелец: Neuboron Therapy System Ltd. Дата публикации: 2024-02-07.

Neutron capture therapy system and neutron generation part recovery method therefor

Номер патента: US20240017096A1. Автор: qiu-ping Gong. Владелец: Neuboron Therapy System Ltd. Дата публикации: 2024-01-18.

Knowledge management system, program product and method

Номер патента: WO2007085528A1. Автор: Juhnyoung Lee,Youngja Park,Richard Thomas Goodwin. Владелец: Ibm United Kingdom Limited. Дата публикации: 2007-08-02.

Data management system, disclosure server, and method used therein

Номер патента: US20230205747A1. Автор: Tomoyoshi Ueki,Koji Hetsugi,Yasuhide Kurimoto,Masato HOZUMI. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2023-06-29.

Method for fracturing and forming a pattern using shaped beam charged particle beam lithography

Номер патента: US09448473B2. Автор: Michael Tucker,Akira Fujimura. Владелец: D2S Inc. Дата публикации: 2016-09-20.

Method For Fracturing And Forming A Pattern Using Shaped Beam Charged Particle Beam Lithography

Номер патента: US20160103390A1. Автор: Michael Tucker,Akira Fujimura. Владелец: D2S Inc. Дата публикации: 2016-04-14.

Power management system, control device and method

Номер патента: GB202009752D0. Автор: . Владелец: Honda Motor Co Ltd. Дата публикации: 2020-08-12.

POWER MANAGEMENT SYSTEM, CONTROL DEVICE, AND METHOD

Номер патента: US20200328595A1. Автор: YOKOYAMA Shinichi,SONE Takashi,HARAGUCHI Tomohide,YASUDA Naoya. Владелец: HONDA MOTOR CO., LTD.. Дата публикации: 2020-10-15.

Management System for Entrance and Method thereof

Номер патента: KR101218296B1. Автор: 백영현,신요식,김금용. Владелец: 주식회사 유니온커뮤니티. Дата публикации: 2013-01-03.

Charged Particle Beam Device and Method for Controlling Same

Номер патента: US20240242928A1. Автор: Koichi Kuroda. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-07-18.

Cross-talk cancellation in multiple charged-particle beam inspection

Номер патента: US12080513B2. Автор: Wei Fang,BO Wang,Yongxin Wang,Lingling Pu,Zhonghua Dong. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-09-03.

Method of operating a particle beam system and computer program product

Номер патента: US20240258065A1. Автор: Ralf Wolleschensky,Yauheni Novikau,Kai Wicker,Dirk Preikszas,Bjoern Gamm. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-08-01.

Systems and methods for performing sample lift-out for highly reactive materials

Номер патента: US20240266142A1. Автор: Christopher Thompson,Dustin Ellis,Adam Stokes,Ronald Kelley,Cedric Bouchet-Marquis. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-08-08.

Charged Particle Beam Apparatus and Image Acquisition Method

Номер патента: US20190362934A1. Автор: Takeshi Otsuka. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2019-11-28.

Charged particle beam apparatus and image acquisition method

Номер патента: US10763077B2. Автор: Takeshi Otsuka. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2020-09-01.

Systems and methods for hybrid enhancement of scanning electron microscope images

Номер патента: US20230260085A1. Автор: Umesh Adiga. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2023-08-17.

Charged particle beam device

Номер патента: US12046446B2. Автор: Hiroyuki Chiba,Hirofumi Sato,Wei Chean TAN,Ryo KOMATSUZAKI. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-07-23.

Processor System Capable of Communicating with Multicharged Particle Beam Device and Method Thereof

Номер патента: US20240212973A1. Автор: Hajime Kawano,Kaoru Sakai,Mayuka Osaki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Adjusting method of charged particle beam device and charged particle beam device system

Номер патента: US12001521B2. Автор: Muneyuki Fukuda,Natsuki Tsuno,Heita KIMIZUKA. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-06-04.

Charged Particle Beam Apparatus and Sample Observation Method

Номер патента: US20190279838A1. Автор: Kunji Shigeto,Mitsugu Yamashita. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-09-12.

Charged particle beam device and image processing method in charged particle beam device

Номер патента: US20200066484A1. Автор: Yoshinobu Hoshino,Masashi Watanabe,Yuichi Sakurai,Shigeru Kawamata,Katsunori Hirano,Masato Kamio. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2020-02-27.

Charged particle beam device and image processing method in charged particle beam device

Номер патента: US10522325B2. Автор: Yoshinobu Hoshino,Masashi Watanabe,Yuichi Sakurai,Shigeru Kawamata,Katsunori Hirano,Masato Kamio. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-12-31.

Methods and systems for forming a pattern on a surface using multi-beam charged particle beam lithography

Номер патента: US20200051781A1. Автор: Akira Fujimura,Michael J. Meyer,Thang Nguyen,Ajay Baranwal,Suhas Pillai. Владелец: D2S Inc. Дата публикации: 2020-02-13.

Methods of determining aberrations of a charged particle beam, and charged particle beam system

Номер патента: US20230352268A1. Автор: John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-11-02.

Methods of determining aberrations of a charged particle beam, and charged particle beam system

Номер патента: US11810753B2. Автор: Matthias FIRNKES,John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-11-07.

Status management system, electronic apparatus, and method of communication in system

Номер патента: US20160100067A1. Автор: Yasuhiro Oshima. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2016-04-07.

Management system, control apparatus, and method for managing session

Номер патента: US09961298B2. Автор: Takeshi Horiuchi,Atsushi Miyamoto,Hiroshi Hinohara,Naoki Umehara,Takuya SONEDA. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-01.

Color management system, printing apparatus and method of controlling the printing apparatus, and storage medium

Номер патента: US11310396B2. Автор: Yuuki MAEDA. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2022-04-19.

Device management system, peripheral device, and method therefor for managing device information of a peripheral device

Номер патента: US20140104638A1. Автор: Kazunori Kato. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2014-04-17.

Management system, control apparatus, and method for managing session

Номер патента: US20170064251A1. Автор: Takeshi Horiuchi,Atsushi Miyamoto,Hiroshi Hinohara,Naoki Umehara,Takuya SONEDA. Владелец: Ricoh Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-02.

Data Management System Server Apparatus and Method for Monitoring A Wireless Communication Network

Номер патента: US20120079079A1. Автор: George E. Hoffman. Владелец: Carrier IQ Inc. Дата публикации: 2012-03-29.

Data management system server apparatus and method for monitoring a wireless communication network

Номер патента: US8208861B2. Автор: George E. Hoffman. Владелец: Carrier IQ Inc. Дата публикации: 2012-06-26.

Element management system, network element and method for an improved configuration of data lines

Номер патента: EP2073441B1. Автор: Frank Devolder. Владелец: Alcatel Lucent SAS. Дата публикации: 2011-12-14.

Particle beam irradiation system and particle beam irradiation method

Номер патента: US20240324092A1. Автор: Takuya Nomura,Mina EGUCHI. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-09-26.

Particle beam accelerator, particle beam blocking method for particle beam accelerator, and particle beam therapy apparatus

Номер патента: US20230247753A1. Автор: Shinya Matsuda,Shigeki Takayama,Takayuki Sako,Tomofumi Orikasa. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2023-08-03.

Particle beam accelerator, method for operating particle beam accelerator, and particle beam therapy apparatus

Номер патента: US20230262869A1. Автор: Shinya Matsuda,Shigeki Takayama,Takayuki Sako,Tomofumi Orikasa. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2023-08-17.

Circular accelerator, particle therapy system with circular accelerator, and method of operating circular accelerator

Номер патента: US11849533B2. Автор: Kazuo Hiramoto,Takayoshi Seki,Kazuyoshi Saitou,Fumiaki Noda,Takamichi AOKI,Takamitsu Hae. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2023-12-19.

Portable information terminal, beam irradiation system, and program

Номер патента: US10485087B2. Автор: Masato Suzuki,Tatsuya Asahata,Atsushi Uemoto,Takuma Aso. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2019-11-19.

Charged particle beam device

Номер патента: US12051563B2. Автор: Hiroyuki Chiba,Wei Chean TAN,Ryo KOMATSUZAKI,Hirofumi Satou. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-07-30.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20220230840A1. Автор: Shuntaro Ito,Hiromi MISE. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-07-21.

Charged particle beam apparatus, specimen observation system and operation program

Номер патента: US09792832B2. Автор: Takahiro Inada,Hiroyuki Noda,Mitsugu Sato,Kunji Shigeto,Tohru Ando,Noriko IIZUMI,Yayoi KONISHI,Ryuichiro Tamochi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-10-17.

Charged particle beam apparatus, specimen observation system and operation program

Номер патента: US20150074523A1. Автор: Takahiro Inada,Hiroyuki Noda,Mitsugu Sato,Kunji Shigeto,Tohru Ando,Noriko IIZUMI,Yayoi KONISHI,Ryuichiro Tamochi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-03-12.

Image processing device, charged particle beam device, charged particle beam device adjustment sample, and manufacturing method thereof

Номер патента: US09702695B2. Автор: Osamu Inoue,Takashi Takahama,Naoshi Itabashi,Miyako Matsui,Takahiro Kawasaki,Hiroki Kawada,Osamu Komuro,Katsumi Setoguchi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-07-11.

Apparatus of charged-particle beam such as scanning electron microscope comprising plasma generator, and method thereof

Номер патента: US20220262596A1. Автор: Xiaoming Chen,Zhongwei Chen,Daniel Tang,Liang-Fu Fan. Владелец: Borries Pte Ltd. Дата публикации: 2022-08-18.

Parking management system using LPR and method thereof

Номер патента: KR100801935B1. Автор: 권순재,권순원. Владелец: 주식회사 라이크텍. Дата публикации: 2008-02-12.

Facility management system

Номер патента: US20170357227A1. Автор: Sebastian Kummer. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-12-14.

Particle beam monitoring systems and methods

Номер патента: EP3655102A1. Автор: Juergen Heese. Владелец: Varian Medical Systems Particle Therapy GmbH and Co KG. Дата публикации: 2020-05-27.

Charged particle beam therapy and magnetic resonance imaging

Номер патента: RU2681075C2. Автор: Йоханнес Адрианус ОВЕРВЕГ. Владелец: КОНИНКЛЕЙКЕ ФИЛИПС Н.В.. Дата публикации: 2019-03-01.

Beam monitor system and particle beam irradiation system

Номер патента: US9044605B2. Автор: Masahiro Tadokoro,Kunio Moriyama,Yoshihito Hori,Tomohisa Iwamoto. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2015-06-02.

Particle beam irradiation apparatus and particle beam therapy system

Номер патента: US09770604B2. Автор: Takaaki Iwata. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-09-26.

Charged-particle beam irradiation device

Номер патента: US20140058186A1. Автор: Kenzo SASAI. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2014-02-27.

Particle beam irradiation apparatus and particle beam therapy system

Номер патента: US20120132826A1. Автор: Takaaki Iwata,Yuehu Pu. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2012-05-31.

Rotating gantry and particle beam therapy system

Номер патента: US09504854B2. Автор: Tadashi Katayose. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2016-11-29.

Charged particle beam system

Номер патента: US09757590B2. Автор: Shinichi Shimizu,Kikuo Umegaki,Kazuo Hiramoto,Hiroki Shirato,Shinichiro Fujitaka,Masumi Umezawa. Владелец: Hokkaido University NUC. Дата публикации: 2017-09-12.

Particle therapy system, dose distribution evaluation system, and method for operating particle therapy system

Номер патента: US11904185B2. Автор: Shinichi Shimizu,Yuusuke Fujii,Taeko Matsuura,Keiji Kobashi,Masumi Umezawa,Rintarou FUJIMOTO,Shusuke HIRAYAMA. Владелец: Hokkaido University NUC. Дата публикации: 2024-02-20.

Bragg peak detector using scintillators and method of operating the same

Номер патента: US20200298024A1. Автор: Denny Lap Yen Lee. Владелец: Vieworks Co Ltd. Дата публикации: 2020-09-24.

System and method of determining state of container filling with flowing medium in system of treatment by reduced pressure

Номер патента: RU2433838C2. Автор: Тимоти Марк РОБИНСОН,Кристофер Брайан ЛОКК,Дэвид Робсон БЛЭНДФОРД. Владелец: КейСиАй Лайсензинг Инк.. Дата публикации: 2011-11-20.

Systems and methods for magnetic field localization of charged particle beam end point

Номер патента: US20200016431A1. Автор: Stuart Julian Swerdloff. Владелец: Elekta Pty Ltd. Дата публикации: 2020-01-16.

Systems and methods for magnetic field localization of charged particle beam end point

Номер патента: EP3600544A1. Автор: Stuart Julian Swerdloff. Владелец: Elekta Pty Ltd. Дата публикации: 2020-02-05.

Systems and methods for magnetic field localization of charged particle beam end point

Номер патента: WO2018182429A1. Автор: Stuart Julian Swerdloff. Владелец: Elekta Pty Ltd. Дата публикации: 2018-10-04.

Systems and methods for magnetic field localization of charged particle beam end point

Номер патента: US20220134132A1. Автор: Stuart Julian Swerdloff. Владелец: Elekta Pty Ltd. Дата публикации: 2022-05-05.

Systems and methods for magnetic field localization of charged particle beam end point

Номер патента: US11904183B2. Автор: Stuart Julian Swerdloff. Владелец: Elekta Pty Ltd. Дата публикации: 2024-02-20.

Particle beam irradiation system and particle beam therapy system

Номер патента: US20110147604A1. Автор: Takaaki Iwata. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2011-06-23.

Charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US20210299480A1. Автор: Kenzo SASAI. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2021-09-30.

Particle beam therapy system

Номер патента: US20130253253A1. Автор: Takaaki Iwata. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2013-09-26.

Energy degrader and charged particle beam irradiation system equipped therewith

Номер патента: US09390826B2. Автор: Takamasa Ueda,Takuya Miyashita. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2016-07-12.

Beam monitor system and particle beam irradiation system

Номер патента: US20150151140A1. Автор: Masahiro Tadokoro,Kunio Moriyama,Yoshihito Hori,Takayoshi MATSUSHITA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2015-06-04.

Charged particle source arrangement for a charged particle beam device, charged particle beam device for sample inspection, and method for providing a primary charged particle beam for sample inspection in a charged particle beam

Номер патента: US09666404B2. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-05-30.

Charged particle beam writing apparatus, aperture unit, and charged particle beam writing method

Номер патента: US09449792B2. Автор: Tetsuro Nishiyama. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-09-20.

Demagnification measurement method for charged particle beam exposure apparatus, stage phase measurement method for charged particle beam exposure apparatus, control method for charged particle beam exposure apparatus, and charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US20040183036A1. Автор: Shinsuke Nishimura. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-09-23.

Charged particle beam apparatus and control method for charged particle beam apparatus

Номер патента: EP4246551A1. Автор: Takeo Sasaki,Kazuki Yagi,Kanako Noguchi. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-09-20.

Charged Particle Beam Apparatus and Control Method for Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20230290607A1. Автор: Takeo Sasaki,Kazuki Yagi,Kanako Noguchi. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-09-14.

Charged particle beam drawing data production apparatus and charged particle beam drawing system

Номер патента: US5796408A. Автор: Makoto Kanno,Koichi Moriizumi,Kinya Kamiyama,Hironobu Taoka. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 1998-08-18.

Charged particle beam photolithography machine, standard substrate for correcting misalignment factor of charged particle beam photolithography machine, correcting method for charged particle beam photolithography machine, and method of manufacturing electronic device

Номер патента: US7164141B2. Автор: Masaki Kurokawa. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2007-01-16.

Charged particle beam photolithography machine, standard substrate for correcting misalignment factor of charged particle beam photolithography machine, correcting method for charged particle beam photolithography machine, and method of manufacturing electronic device

Номер патента: US20050211929A1. Автор: Masaki Kurokawa. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2005-09-29.

Charged particle beam apparatus, composite charged particle beam apparatus, and control method for charged particle beam apparatus

Номер патента: US20210118645A1. Автор: Koji Nagahara,Yasuhiko Sugiyama. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2021-04-22.

Double stage charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: WO2005024888A3. Автор: Juergen Frosien,Stefan Lanio,Ralf Degenhardt. Владелец: Ralf Degenhardt. Дата публикации: 2005-04-28.

Multi-charged particle beam image acquisition apparatus and multi-charged particle beam image acquisition method

Номер патента: US20210005422A1. Автор: Kazuhiro Nakashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2021-01-07.

Charged Particle Beam Device, Autofocus Processing Method of Charged Particle Beam Device, and Detector

Номер патента: US20220044906A1. Автор: Mitsuhiro Nakamura,Michio Hatano. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-02-10.

Charged particle beam system, method of operating a charged particle beam system, method of recording a plurality of images and computer programs for executing the methods

Номер патента: US11810749B2. Автор: Daniel Fischer,Thomas Korb,Eugen Foca,Amir Avishai. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-11-07.

Charged particle beam system, method of operating a charged particle beam system, method of recording a plurality of images and computer programs for executing the methods

Номер патента: EP4224511A3. Автор: Daniel Fischer,Thomas Korb,Eugen Foca,Amir Avishai. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-09-06.

Charged particle beam system, method of operating a charged particle beam system, method of recording a plurality of images and computer programs for executing the methods

Номер патента: EP4224511A2. Автор: Daniel Fischer,Thomas Korb,Eugen Foca,Amir Avishai. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-08-09.

Charged particle beam system, method of operating a charged particle beam system, method of recording a plurality of images and computer programs for executing the methods

Номер патента: US20240038482A1. Автор: Daniel Fischer,Thomas Korb,Eugen Foca,Amir Avishai. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-02-01.

Particle beam target with improved heat transfer and related apparatus and methods

Номер патента: EP2425686A1. Автор: Bruce W. Wieland,Matthew Hughes Stokely. Владелец: Bruce Technologies Inc. Дата публикации: 2012-03-07.

Charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: EP1517353A3. Автор: Ralf Degenhardt,Jürgen Dr. Frosien,Stefan Dr. Lanio. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2005-03-30.

Drawing apparatus, and method of manufacturing article

Номер патента: US20130199719A1. Автор: Tomoyuki Morita,Go Tsuchiya. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2013-08-08.

Sample delivery, data acquisition, and analysis, and automation thereof, in charged-particle-beam microscopy

Номер патента: EP4356414A1. Автор: Chistopher Su-Yan OWN. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-04-24.

Converter of orbital momentum into spin momentum for the polarization of particle beams

Номер патента: US8552398B2. Автор: Lorenzo Marrucci,Vincenzo Grillo,Ebrahim Karimi,Enrico Santamato. Владелец: Consiglio Nazionale delle Richerche CNR. Дата публикации: 2013-10-08.

Multi charged particle beam irradiation apparatus, multi charged particle beam irradiation method, and multi charged particle beam adjustment method

Номер патента: US09916962B2. Автор: HIROFUMI Morita,Shinsuke Nishimura,Munehiro Ogasawara,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-03-13.

Charged particle beam apparatus and processing method

Номер патента: US09793092B2. Автор: Fumio Aramaki,Tomokazu Kozakai,Masashi Muramatsu. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-10-17.

Generation, acceleration, focusing and collection of a high-brightness, space-charge-dominated circular charged-particle beam

Номер патента: WO2008061173A3. Автор: Jing Zhou,Chiping Chen,Thomas M Bemis,Ronak J Bhatt. Владелец: Ronak J Bhatt. Дата публикации: 2008-08-21.

Generation, acceleration, focusing and collection of a high-brightness, space-charge-dominated circular charged-particle beam

Номер патента: WO2008061173A2. Автор: Jing Zhou,Chiping Chen,Thomas M. Bemis,Ronak J. Bhatt. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2008-05-22.

Particle beam microscope

Номер патента: US20240302542A1. Автор: Dirk Preikszas,Erik Essers. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-09-12.

Method for fracturing a pattern for writing with a shaped charged particle beam writing system using dragged shots

Номер патента: WO2011049735A2. Автор: Michael Tucker,Akira Fujimura,Harold Robert Zable. Владелец: D2S, INC.. Дата публикации: 2011-04-28.

Diaphragm mounting member and charged particle beam device

Номер патента: US09633817B2. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Masahiko Ajima. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-04-25.

System and method for aligning electron beams in multi-beam inspection apparatus

Номер патента: US20230280293A1. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Qingpo Xi,Xinan LUO. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-09-07.

Battery management system, battery pack and method for controlling discharge of at least one battery cell

Номер патента: WO2023135120A1. Автор: Stefan Goede,Sebastian Kleppe,Jordi Prats Valero. Владелец: Munich Electrification GmbH. Дата публикации: 2023-07-20.

Sample delivery, data acquisition, and analysis, and automation thereof, in charged-particle-beam microscopy

Номер патента: WO2022266269A9. Автор: Christopher Su-Yan OWN. Владелец: Own Christopher Su Yan. Дата публикации: 2023-02-23.

Particle beam inspection apparatus

Номер патента: US20240258138A1. Автор: Jeroen Gerard Gosen,Edwin Cornelis KADIJK,Te-Yu Chen,Erheng WANG,Christianus VAN HEUMEN Martijn Petrus,Caspar VAN BANNING Dennis Herman,Henricus Maria JACOBS Johannes Andreas. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-08-01.

Thermal management system, switching valve, and method of controlling thermal management system

Номер патента: US20240227541A9. Автор: Tomoaki Suzuki. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Charged Particle Beam Device and Specimen Observation Method

Номер патента: US20230343549A1. Автор: Makoto Suzuki,Masashi Wada,Masahiro Fukuta,Tomoyo Sasaki,Hiroshi Nishihama. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-10-26.

Multi charged particle beam irradiation apparatus, multi charged particle beam irradiation method, and multi charged particle beam adjustment method

Номер патента: US20170309440A1. Автор: HIROFUMI Morita,Shinsuke Nishimura,Munehiro Ogasawara,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-10-26.

Charged-particle beam accelerator, particle beam radiation therapy system using the charged-particle beam accelerator, and method of operating the particle beam radiation therapy system

Номер патента: US7122978B2. Автор: Masahiro Ikeda,Tetsuya Nakanishi,Katsuhisa Yoshida. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2006-10-17.

Thermal management system, Powertrain, Vehicle, and Method of Heating a battery in a vehicle

Номер патента: SE2050218A1. Автор: Björn Kylefors. Владелец: SCANIA CV AB. Дата публикации: 2021-08-28.

Thermal management system, switching valve, and method of controlling thermal management system

Номер патента: US20240131919A1. Автор: Tomoaki Suzuki. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2024-04-25.

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, APERTURE ARRANGEMENT FOR A CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND METHOD FOR OPERATING A CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Номер патента: US20190066972A1. Автор: FROSIEN Jürgen. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

Charged particle beam device, aperture arrangement for a charged particle beam device and method for operating a charged particle beam device

Номер патента: CN109427524B. Автор: 于尔根·弗洛森. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2021-12-28.

Particle beam inspection apparatus

Номер патента: US11942340B2. Автор: Martijn Petrus Christianus VAN HEUMEN,Jeroen Gerard Gosen,Edwin Cornelis KADIJK,Te-Yu Chen,Dennis Herman Caspar Van Banning,Erheng WANG,Johannes Andreas Henricus Maria JACOBS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-03-26.

CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS, SAMPLE ALIGNMENT METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS

Номер патента: US20210265129A1. Автор: MIZUOCHI Masaki,NAKAGAWA Shuichi,OGAWA Hironori,TAKAHASHI Motohiro. Владелец: . Дата публикации: 2021-08-26.

Charged particle beam device and control method of charged particle beam device

Номер патента: JP4041260B2. Автор: 幸 松谷. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2008-01-30.

Charged particle beam writing method and device for charged particle beam writing

Номер патента: DE112021002512T5. Автор: Haruyuki NOMURA,Noriaki Nakayamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-03-02.

Storage management system, management device and method therefor

Номер патента: US9465542B2. Автор: Xin Lu,yao-hua Liu,Huan-Huan Zhang,Yu-Yong Zhang. Владелец: Futaihua Industry Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2016-10-11.

Storage management system, management device and method therefor

Номер патента: US9471224B2. Автор: Xin Lu,yao-hua Liu,Huan-Huan Zhang,Yu-Yong Zhang. Владелец: Futaihua Industry Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2016-10-18.

Storage management system, management device and method therefor

Номер патента: US20160132254A1. Автор: Xin Lu,yao-hua Liu,Huan-Huan Zhang,Yu-Yong Zhang. Владелец: Futaihua Industry Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2016-05-12.

Storage management system, management device and method therefor

Номер патента: US20160132247A1. Автор: Xin Lu,yao-hua Liu,Huan-Huan Zhang,Yu-Yong Zhang. Владелец: Futaihua Industry Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2016-05-12.

System and method for providing link property types for content management

Номер патента: US20070073744A1. Автор: Steven Roth,Ryan McVeigh,Jalpesh Patadia,Brad Posner,Tanya Saarva,Xiaojiang Zhou. Владелец: BEA Systems Inc. Дата публикации: 2007-03-29.

Labeling method, code judging method and the information displaying of the mark treatment system of article management code, code judging system, Articla management system, article management code

Номер патента: CN101553827B. Автор: 向井敦彦,正木胜巳,吉川净,野田智史. Владелец: Omron Corp. Дата публикации: 2016-05-04.

Data management system, communication terminal, and method for managing data

Номер патента: US20090070285A1. Автор: Makoto Kobayashi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-03-12.

Associative data management system utilizing metadata

Номер патента: US09489119B1. Автор: Theodore Root Smith, Jr.. Владелец: Individual. Дата публикации: 2016-11-08.

Cloud energy management system system and method for providing energy saving guide

Номер патента: KR101800310B1. Автор: 김선미,김상우,한자경,임용기. Владелец: 주식회사 케이티. Дата публикации: 2017-11-23.

Smart counter for manufacturing product of sewing and method, and sewing manufacture management system including it and method for processing thereof

Номер патента: KR102043885B1. Автор: 김태강. Владелец: 김태강. Дата публикации: 2019-12-02.

Management system, management server, and method therefor

Номер патента: US20120328306A1. Автор: Tsuyoshi Kaneko. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-12-27.

TERMINAL MANAGEMENT SYSTEM, MANAGEMENT SERVER, AND METHOD THEREFOR

Номер патента: US20130325534A1. Автор: Sasaki Shinya,FUKUI Daisuke. Владелец: HITACHI SOLUTIONS, LTD.. Дата публикации: 2013-12-05.

MANAGEMENT SYSTEM, RECORDING MEDIUM AND METHOD FOR MANAGING VIRTUAL MACHINES

Номер патента: US20140196035A1. Автор: Ishikawa Tomonori,Kato Shingo,ISHIKAWA Hidenori. Владелец: FUJITSU LIMITED. Дата публикации: 2014-07-10.

STORAGE MANAGEMENT SYSTEM, MANAGEMENT DEVICE AND METHOD THEREFOR

Номер патента: US20160132247A1. Автор: Lu Xin,ZHANG HUAN-HUAN,ZHANG YU-YONG,LIU YAO-HUA. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-12.

STORAGE MANAGEMENT SYSTEM, MANAGEMENT DEVICE AND METHOD THEREFOR

Номер патента: US20160132254A1. Автор: Lu Xin,ZHANG HUAN-HUAN,ZHANG YU-YONG,LIU YAO-HUA. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-12.

MANAGEMENT SYSTEM FOR ICON AND METHOD FOR ELECTRONIC DEVICE

Номер патента: US20150277694A1. Автор: CHIANG CHIH-SAN,HSU Chih-Hua,MA YI-LAN,HUANG SAI-RONG. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-01.

Risk management system, distributed framework and method

Номер патента: AU5377900A. Автор: Brian Parkinson,Alon Adar,Neil Edward Bartlett,Ron Dembo,David Penny,Michael Zerbs. Владелец: Algorithmics International Corp. Дата публикации: 2000-12-28.

Security management system using drone and method for processing thereof

Номер патента: KR102011225B1. Автор: 장승현. Владелец: 장승현. Дата публикации: 2019-08-16.

Physical distribution management system with Beacon and method thereof

Номер патента: KR20160064477A. Автор: 박진우. Владелец: 주식회사 필컴. Дата публикации: 2016-06-08.

Terminal management system, management server and method

Номер патента: JP5657604B2. Автор: 大輔 福井,佐々木　伸也,伸也 佐々木. Владелец: Hitachi Solutions Ltd. Дата публикации: 2015-01-21.

Inventory management system, transportation equipment and method of combining transportation equipment with transportation objects

Номер патента: JP6980777B2. Автор: 磊 韋,▲い▼昆 陶,洪波 鄭,玲芬 朱,霞 王,▲しん▼峰 杜,振華 沈. Владелец: Zhejiang Guozi Robot Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-12-15.

Common using printer managing system using rfid and method for the same

Номер патента: KR100657327B1. Автор: 지원영. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2006-12-14.

Management system for data and method thereof

Номер патента: KR100690601B1. Автор: 박정응. Владелец: 엘지전자 주식회사. Дата публикации: 2007-03-09.

One kind being based on the unattended treasury management system of RFID and method

Номер патента: CN110111469A. Автор: 刘成,孙逊,王巍,王洪武,宋晓明,杨腾,陈文强,易勇,弓旭强. Владелец: Charged Operation Branch of Yunnan Power Grid Co Ltd. Дата публикации: 2019-08-09.

Risk management system, distributed framework and method

Номер патента: EP1183635A2. Автор: Brian Parkinson,Alon Adar,Neil Edward Bartlett,Ron Dembo,David Penny,Michael Zerbs. Владелец: Algorithmics International Corp. Дата публикации: 2002-03-06.

REAL ESTATE MANAGEMENT SYSTEM, ASSOCIATED KIT AND METHOD

Номер патента: FR3084191B1. Автор: Mouliom Linda Njikam. Владелец: Mouliom Linda Njikam. Дата публикации: 2021-01-01.

Security management system, medical device and method for managing security

Номер патента: US20060136998A1. Автор: Naoki Oowaki,Fumiaki Teshima. Владелец: Toshiba Medical Systems Corp. Дата публикации: 2006-06-22.

Mobile power battery thermal management system detection device and method

Номер патента: CN110954834A. Автор: 陈思,王海民,胡学彬,胡峰,石伟杰,李环琪,王寓非. Владелец: UNIVERSITY OF SHANGHAI FOR SCIENCE AND TECHNOLOGY. Дата публикации: 2020-04-03.

The long APP management system in river and method

Номер патента: CN109658044A. Автор: 陈强,杜冬阳,曾水根,郭彦娟,余朝华,任万珺. Владелец: Guangzhou City Construction Investment Group Co Ltd. Дата публикации: 2019-04-19.

Content management system, recording medium and method

Номер патента: AU2003289468A1. Автор: Shinichi Matsukawa,Junichi Yamamoto,Masataka Yamada,Naoto Akimoto,Hidekazu Nishizawa,Shinko Riku. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-07-14.

Cloud server device, battery management system comprising same, and method

Номер патента: WO2022191372A1. Автор: 김경각,한세경. Владелец: (주)배터와이. Дата публикации: 2022-09-15.

A Building Design, Ordering and Offering, and Working Management System Using Internet and Method Thereof

Номер патента: KR100501010B1. Автор: 오종혁. Владелец: 오종혁. Дата публикации: 2005-07-18.

Risk management system, distributed framework and method

Номер патента: JP2003521021A. Автор: ロン デンボ、,マイケル ザーブス、,アロン アダー、,ブライアン パーキンソン、,ディヴィッド ペニー、,ニール、 エドワード バートレット、. Владелец: アルゴリズミクス インターナショナル コーポレイション. Дата публикации: 2003-07-08.

Management system, management apparatus and method for the same

Номер патента: US20100191620A1. Автор: Jin Sunata. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2010-07-29.

Management system, server device and method

Номер патента: US20230334523A1. Автор: Tetsuro Ishida. Владелец: Kpi Solutions Co ltd. Дата публикации: 2023-10-19.

Particle beam treatment system and beam position correcting method thereof

Номер патента: US20140235922A1. Автор: Masahiro Ikeda,Hisashi Harada,Toshihiro Otani,Kengo Sugahara,Shuhei ODAWARA,Kazushi Hanakawa,Taizo Honda,Katsuhisa Yoshida. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2014-08-21.

Charged particle beam generator, charged particle irradiation system, method for operating charged particle beam generator and method for operating charged particle irradiation system

Номер патента: US09596746B2. Автор: Takashi Iga,Kazunori Tsubuku,Masumi Umezawa,Kouji TOBINAGA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-03-14.

Charged particle beam extraction system and method

Номер патента: EP1732369A3. Автор: Takahide Nakayama,Takayoshi Hitachi Ltd. IPO 12F Natori,Masaki Hitachi Ltd. IPO 12F Yanagisawa. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2010-01-20.

Circular accelerator and particle beam treatment system

Номер патента: US20240198138A1. Автор: Kenji Miyata,Futaro EBINA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-06-20.

Circular accelerator and particle beam treatment system

Номер патента: EP4383955A1. Автор: Kenji Miyata,Futaro EBINA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-06-12.

Device and method for particle beam production

Номер патента: US09451688B2. Автор: Yves Jongen. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2016-09-20.

Particle therapy systems, devices, and methods for beam transportation

Номер патента: US11738213B2. Автор: Juergen SCHULTHEISS,Jan H. TIMMER. Владелец: Varian Medical Systems Particle Therapy GmbH and Co KG. Дата публикации: 2023-08-29.

Particle therapy systems, devices, and methods for beam transportation

Номер патента: EP3183945A1. Автор: Juergen SCHULTHEISS,Jan H. TIMMER. Владелец: Varian Medical Systems Particle Therapy GmbH and Co KG. Дата публикации: 2017-06-28.

Particle beam therapy system

Номер патента: US09776019B2. Автор: Kazuyoshi Saito,Takuya Nomura,Hideaki Nishiuchi. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-10-03.

Particle accelerator and particle beam therapy apparatus

Номер патента: US12101869B2. Автор: Toshiyuki Shirai,Kota Mizushima. Владелец: NATIONAL INSTITUTES FOR QUANTUM SCIENCE AND TECHNOLOGY. Дата публикации: 2024-09-24.

Particle beam irradiation apparatus for irradiating a subject with an arbitrary number of particles

Номер патента: US09847210B2. Автор: Hiroshi Inoue,Kazuo Yamamoto,Yusuke Sakamoto. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-12-19.

Charged particle beam generator, charged particle irradiation system, method for operating charged particle beam generator and method for operating charged particle irradiation system

Номер патента: US20160150630A1. Автор: Takashi Iga,Kazunori Tsubuku,Masumi Umezawa,Kouji TOBINAGA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2016-05-26.

Particle beam therapy system

Номер патента: US20160101298A1. Автор: Toshihiro Otani,Syuhei ODAWARA. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2016-04-14.

Particle beam gun control systems and methods

Номер патента: US20230040534A1. Автор: Mark Everett Trail,James Edward Clayton. Владелец: Varian Medical Systems Inc. Дата публикации: 2023-02-09.

Synchrotron type accelerator and medical treatment system employing the same

Номер патента: US6087670A. Автор: Koji Matsuda,Kazuo Hiramoto,Masumi Umezawa. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2000-07-11.

Particle beam irradiation system and control method therefor, and control device for particle beam irradiation system

Номер патента: EP4197591A1. Автор: Kenta Takahashi,Yuki Ito,Kohei Yamada,Satoru Okura. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2023-06-21.

Charged particle beam radiation system, synchrotron, and beam ejection method therefor

Номер патента: US09763316B2. Автор: Takuya Nomura,Kunio Moriyama,Hideaki Nishiuchi,Satoshi Totake,Futaro EBINA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-09-12.

Particle beam irradiation system, control method for particle beam irradiation system, and control device for particle beam irradiation system

Номер патента: US20230253175A1. Автор: Kenta Takahashi,Yuki Ito,Kohei Yamada,Satoru Okura. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2023-08-10.

Target material for particle beam generation apparatus

Номер патента: CA3225929A1. Автор: Yuan-hao LIU,Chun-Ting Lin. Владелец: Neuboron Therapy System Ltd. Дата публикации: 2023-01-19.

Target material for particle beam generation apparatus

Номер патента: AU2022309543A1. Автор: Yuan-hao LIU,Chun-Ting Lin. Владелец: Neuboron Therapy System Ltd. Дата публикации: 2024-02-15.

Target material for particle beam generation apparatus

Номер патента: EP4371608A1. Автор: Yuan-hao LIU,Chun-Ting Lin. Владелец: Neuboron Therapy System Ltd. Дата публикации: 2024-05-22.

Target material for particle beam generation apparatus

Номер патента: US20240172354A1. Автор: Yuan-hao LIU,Chun-Ting Lin. Владелец: Neuboron Therapy System Ltd. Дата публикации: 2024-05-23.

Device and method for tuning a charged particle beam position

Номер патента: EP4309730A1. Автор: Rudi Labarbe,David Chris Hertlein,François Vander Stappen. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2024-01-24.

Device and method for tuning a charged particle beam position

Номер патента: US20240024702A1. Автор: Rudi Labarbe,David Chris Hertlein,François Vander Stappen. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2024-01-25.

Systems and methods for defect location binning in charged-particle systems

Номер патента: WO2023156125A1. Автор: Chen Zhang,Yunbo Guo,Shengcheng JIN. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-08-24.

System and method for image segmentation from sparse particle impingement data

Номер патента: EP4127688A1. Автор: Michael Green,Christopher Pawlowicz,Alexander Sorkin,Christopher Kumar Anand,Nabil David Bassim,Yasamin Sartipi. Владелец: TechInsights Inc. Дата публикации: 2023-02-08.

System and method for image segmentation from sparse particle impingement data

Номер патента: WO2021203194A1. Автор: Michael Green,Christopher Pawlowicz,Alexander Sorkin,Christopher Kumar Anand,Nabil David Bassim,Yasamin Sartipi. Владелец: Techinsights Inc.. Дата публикации: 2021-10-14.

System and method for image segmentation from sparse particle impingement data

Номер патента: US20230196581A1. Автор: Michael Green,Christopher Pawlowicz,Alexander Sorkin,Christopher Kumar Anand,Nabil David Bassim,Yasamin Sartipi. Владелец: TechInsights Inc. Дата публикации: 2023-06-22.

Method and apparatus for particle beam-induced processing of a defect of a microlithographic photomask

Номер патента: WO2022263534A1. Автор: Michael Brendel,Michael Budach,Christian Rensing,Martin Guenter Reuss. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2022-12-22.

Display Device, Display System and Resolution Adjusting Method

Номер патента: US20170046815A1. Автор: Wei Wang,HAO Zhang,Xue Dong,Chong Liu,Lingyun SHI. Владелец: Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-02-16.

Display device, display system and resolution adjusting method

Номер патента: US10032251B2. Автор: Wei Wang,HAO Zhang,Xue Dong,Chong Liu,Lingyun SHI. Владелец: Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-07-24.

Particle beam irradiation system and particle beam irradiation method

Номер патента: EP4434577A1. Автор: Takuya Nomura,Mina EGUCHI. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-09-25.

Charged particle beam treatment planning device and charged particle beam treatment planning method

Номер патента: US20140018603A1. Автор: Toru Asaba. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2014-01-16.

Particle beam therapy apparatus

Номер патента: US20180289981A1. Автор: Kiyohiko Kitagawa,Yoshifumi Nagamoto,Kazutaka MAETA. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2018-10-11.

A particle beam transport system for the delivery of particle beam therapy

Номер патента: WO2023174720A1. Автор: Antony Lomax,David Meer,Christian Baumgarten,Vivek MARADIA,Serena PSOROULAS. Владелец: PAUL SCHERRER INSTITUT. Дата публикации: 2023-09-21.

A particle beam transport system for the delivery of particle beam therapy

Номер патента: EP4245363A1. Автор: Antony Lomax,David Meer,Christian Baumgarten,Vivek MARADIA,Serena PSOROULAS. Владелец: Scherrer Paul Institut. Дата публикации: 2023-09-20.

Particle therapy system, particle therapy method, and recording medium

Номер патента: US20220323790A1. Автор: Tomohisa IMAGAWA,Haruki ARITA,Naofumi ISHIGURO. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2022-10-13.

DEVICE MANAGEMENT SYSTEM, PERIPHERAL DEVICE, AND METHOD THEREFOR FOR MANAGING DEVICE INFORMATION OF A PERIPHERAL DEVICE

Номер патента: US20140104638A1. Автор: Kato Kazunori. Владелец: . Дата публикации: 2014-04-17.

MANAGEMENT SYSTEM, CONTROL APPARATUS, AND METHOD FOR MANAGING SESSION

Номер патента: US20170064251A1. Автор: Miyamoto Atsushi,Umehara Naoki,Hinohara Hiroshi,Horiuchi Takeshi,SONEDA Takuya. Владелец: RICOH COMPANY, LTD.. Дата публикации: 2017-03-02.

STATUS MANAGEMENT SYSTEM, ELECTRONIC APPARATUS, AND METHOD OF COMMUNICATION IN SYSTEM

Номер патента: US20160100067A1. Автор: Oshima Yasuhiro. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

MANAGEMENT SYSTEM, TRANSMISSION TERMINAL, AND METHOD FOR TRANSMISSION MANAGEMENT

Номер патента: US20170111612A1. Автор: YOSHIDA Kumiko. Владелец: . Дата публикации: 2017-04-20.

COLOR MANAGEMENT SYSTEM, PRINTING APPARATUS AND METHOD OF CONTROLLING THE PRINTING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM

Номер патента: US20190260910A1. Автор: Maeda Yuuki. Владелец: . Дата публикации: 2019-08-22.

Systems and methods for providing anatomical flap centration for an ophthalmic laser treatment system

Номер патента: CA2906298C. Автор: Michael F. Brownell,Kimberley N. Patterson,Peter-Patrick De Guzman,Victor J. Kardos,M. Lee Hon. Владелец: AMO DEVELOPMENT LLC. Дата публикации: 2021-05-25.

Endoscope and method of use

Номер патента: EP3694390A1. Автор: Csaba Truckai,Khoi Le,Roy Morgan,Nicholas Landgraf,Britta Nelson,Daniel TRUCKAI. Владелец: Meditrina Inc. Дата публикации: 2020-08-19.

Endoscope and method of use

Номер патента: EP3860477A1. Автор: Csaba Truckai,Akos Toth,Tamas J. TRUCKAI. Владелец: Meditrina Inc. Дата публикации: 2021-08-11.

Deflectable endoscope and method of use

Номер патента: US20230240517A1. Автор: Csaba Truckai. Владелец: Meditrina Inc. Дата публикации: 2023-08-03.

MANAGEMENT SYSTEM, SERVER, CLIENT, AND METHOD THEREOF

Номер патента: US20140040425A1. Автор: Nakazawa Toshiyuki. Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2014-02-06.

INDIVIDUAL INFORMATION MANAGEMENT SYSTEM, ELECTRONIC DEVICE, AND METHOD FOR MANAGING INDIVIDUAL INFORMATION

Номер патента: US20150006679A1. Автор: Shuto Eita. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2015-01-01.

ASSET MANAGEMENT SYSTEM FOR APPLICATIONS AND METHODS OF DISTRIBUTING AND MANAGING STATIC ASSETS FOR APPLICATIONS

Номер патента: US20140337465A1. Автор: Everitt Cass. Владелец: NVIDIA CORPORATION. Дата публикации: 2014-11-13.

Location-based smart energy management system using rfid and method thereof

Номер патента: KR101032882B1. Автор: 박흥수,심윤민. Владелец: 주식회사 이지빌. Дата публикации: 2011-05-06.

Measuring Sensor for Urinary Bladder Volume, and Urinary Bladder Management System Using Device, and Method Therefor

Номер патента: KR100839961B1. Автор: 이선규,김강욱. Владелец: 광주과학기술원. Дата публикации: 2008-06-19.

Multi-domain conference management system, telecommunications network and method

Номер патента: EP2999161A1. Автор: Lee Joseph Wilson,Joseph W. Nocchi. Владелец: Tata Communications America Inc. Дата публикации: 2016-03-23.

Distributed managed system, system components, and methods of communicating commands

Номер патента: US8392546B2. Автор: Darren J. Cepulis,Jeffrey R. Hilland,Keith R. Kinnan,David A. Joy. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2013-03-05.

Confidential information management system using crawler and method thereof.

Номер патента: KR101062384B1. Автор: 이우기,임차성. Владелец: 임차성. Дата публикации: 2011-09-05.

Charged particle beam system and method of operating a charged particle beam system

Номер патента: US09530611B2. Автор: Alexander Groholski,Raymond Hill,John A. Notte, IV,Mark D. DiManna,Robert Conners. Владелец: Carl Zeiss Microscopy LLC. Дата публикации: 2016-12-27.

Beam exposure correction system and method

Номер патента: WO2007038382A3. Автор: Benyamin Buller,Ming Lun Yu,Jimmy Iskandar,Scott C Stovall. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2009-04-30.

Beam exposure correction system and method

Номер патента: WO2007038382A2. Автор: Benyamin Buller,Ming Lun Yu,Scott C. Stovall,Jimmy Iskandar. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2007-04-05.

Charged particle beam device and inspection device

Номер патента: US20240297012A1. Автор: Makoto Suzuki,Hiroki Kawada,Atsuko SHINTANI. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-09-05.

System and method for simultaneous detection of secondary electrons and light in a charged particle beam system

Номер патента: US20140131573A1. Автор: N. William Parker,Mark W. Utlaut. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2014-05-15.

Charged practicles beam apparatus and charged particles beam apparatus design method

Номер патента: US20140097352A1. Автор: Mamoru Nakasuji. Владелец: Individual. Дата публикации: 2014-04-10.

System and method for simultaneous detection of secondary electrons and light in a charged particle beam system

Номер патента: US09494516B2. Автор: N. William Parker,Mark W. Utlaut. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2016-11-15.

System and method for preparation and delivery of biological samples for charged particle analysis

Номер патента: US11749498B2. Автор: Kun Liu,Joseph Christian,Marcus Straw,Alexander Makarov,Tom Nichols,Dmitry GRINFELD,Jeff KOSMOSKI,Josh Gilbert,Aaron Torok,Alan Bahm. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2023-09-05.

Charged particle beam device, method for adjusting charged particle beam device, and method for inspecting or observing sample

Номер патента: US09673020B2. Автор: Yusuke Ominami,Sukehiro Ito,Tomohisa Ohtaki. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-06-06.

Apparatus and method for detecting one or more scanning charged particle beams

Номер патента: EP3977502A1. Автор: Andries Pieter Johan EFFTING,Lenard Maarten VOORTMAN. Владелец: Delmic IP BV. Дата публикации: 2022-04-06.

System and method for inspection by failure mechanism classification and identification in a charged particle system

Номер патента: EP4402540A1. Автор: Antonio Corradi,Hermanus Adrianus Dillen,Pioter Nikolski,Younghoon Song,Achim WOESSNER,Yun A SUNG. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-07-24.

Open midplane, high magnetic field solenoid system and method for neutron or x-ray scattering analysis

Номер патента: US12051538B1. Автор: Ramesh Gupta,Erich Willen,Bob Weggel. Владелец: Particle Beam Lasers Inc. Дата публикации: 2024-07-30.

Apparatus, system and method of generating particle beams based on electron cyclotron resonance

Номер патента: RU2526026C2. Автор: Гленн Б. РОЗЕНТАЛЬ. Владелец: АЛЬФА СОРС ЭлЭлСи. Дата публикации: 2014-08-20.

Systems, devices, and methods for aligning a particle beam and performing a non-contact electrical measurement on a cell and/or non-contact electrical measurement cell vehicle using a registration cell

Номер патента: US20220336187A1. Автор: Stephen Lam,Indranil De,Jeremy Cheng,Yoram Schwarz,Thomas SOKOLLIK,Xumin SHEN. Владелец: PDF Solutions Inc. Дата публикации: 2022-10-20.

Systems, devices, and methods for aligning a particle beam and performing a non-contact electrical measurement on a cell and/or non-contact electrical measurement cell vehicle using a registration cell

Номер патента: US20230282444A1. Автор: Stephen Lam,Indranil De,Jeremy Cheng,Yoram Schwarz,Thomas SOKOLLIK,Xumin SHEN. Владелец: PDF Solutions Inc. Дата публикации: 2023-09-07.

Systems, devices, and methods for aligning a particle beam and performing a non-contact electrical measurement on a cell and/or non-contact electrical measurement cell vehicle using a registration cell

Номер патента: US20210098229A1. Автор: Stephen Lam,Indranil De,Jeremy Cheng,Yoram Schwarz,Thomas SOKOLLIK,Xumin SHEN. Владелец: PDF Solutions, Inc.. Дата публикации: 2021-04-01.

Systems, devices, and methods for aligning a particle beam and performing a non-contact electrical measurement on a cell and/or non-contact electrical measurement cell vehicle using a registration cell

Номер патента: US20240304414A1. Автор: Stephen Lam,Indranil De,Jeremy Cheng,Yoram Schwarz,Thomas SOKOLLIK,Xumin SHEN. Владелец: PDF Solutions Inc. Дата публикации: 2024-09-12.

Systems, devices, and methods for aligning a particle beam and performing a non-contact electrical measurement on a cell and/or non-contact electrical measurement cell vehicle using a registration cell

Номер патента: US12020897B2. Автор: Stephen Lam,Indranil De,Jeremy Cheng,Yoram Schwarz,Thomas SOKOLLIK,Xumin SHEN. Владелец: PDF Solutions Inc. Дата публикации: 2024-06-25.

Apparatus and method for inspecting a surface of a sample

Номер патента: US09449789B2. Автор: Pieter Kruit. Владелец: Technische Universiteit Delft. Дата публикации: 2016-09-20.

Charged particle acceleration apparatus and method

Номер патента: WO2007133225A3. Автор: Jonathan Gorrell,Mark Davidson,Michael E Maines,Paul K Hart. Владелец: Virgin Islands Microsystems. Дата публикации: 2009-04-16.

System for imaging a secondary charged particle beam with adaptive secondary charged particle optics

Номер патента: US09953805B2. Автор: Dieter Winkler,Stefan Lanio,Matthias FIRNKES. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2018-04-24.

Alignment and registration targets for multiple-column charged particle beam lithography and inspection

Номер патента: US09478395B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Apparatus and methods for patterning a reticle blank by electron-beam inscription with reduced exposure of the reticle blank by backscattered electrons

Номер патента: US20020012853A1. Автор: Atsushi Yamada,Hajime Yamamoto,Shohei Suzuki,Sumito Shimizu,Wakako Suganuma. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2002-01-31.

Charged particle beam exposure apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09824860B2. Автор: Akio Yamada. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Accelerator for two particle beams for producing collision

Номер патента: RU2569324C2. Автор: Оливер ХАЙД. Владелец: СИМЕНС АКЦИЕНГЕЗЕЛЛЬШАФТ. Дата публикации: 2015-11-20.

Charged Particle Beam Device, Charged Particle Beam System, and Adjustment Method

Номер патента: US20230386781A1. Автор: Ayumi Doi,Shuichiro Takahashi,Aoi YAMAUCHI,Zhao JINYU. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-11-30.

Method of determining a brightness of a charged particle beam, method of determining a size of a source of the charged particle beam, and charged particle beam imaging device

Номер патента: US20240126057A1. Автор: Matthias FIRNKES,John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2024-04-18.

Apparatus and method

Номер патента: EP3033613A1. Автор: Saulius Juodkazis,Gediminas GERVINSKAS,Gediminas SENIUTINAS. Владелец: Swinburne University of Technology. Дата публикации: 2016-06-22.

Charged particle beam apparatus and method of controlling charged particle beam apparatus

Номер патента: US11756764B2. Автор: Kuniyasu Nakamura,Hirokazu Tamaki,Takashi Dobashi,Hiromi MISE. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-12.

Multi charged particle beam writing apparatus and method of adjusting same

Номер патента: US11740546B2. Автор: Hiroshi Matsumoto,Tsubasa NANAO. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-08-29.

Composite charged particle detector, charged particle beam device, and charged particle detector

Номер патента: US09761409B2. Автор: Toshihide Agemura,Tsunenori Nomaguchi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-09-12.

Liquid shaping with charged particle beams

Номер патента: US20220381654A1. Автор: Libor Novak,Tomás Kazda. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2022-12-01.

Liquid shaping with charged particle beams

Номер патента: EP4095940A1. Автор: Libor Novak,Tomás Kazda. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2022-11-30.

Scanning charged-particle-beam microscopy with energy-dispersive x-ray spectroscopy

Номер патента: US12094684B1. Автор: Christopher Su-Yan OWN,Matthew Francis Murfitt. Владелец: Mochii Inc. Дата публикации: 2024-09-17.

Charged-particle beam microscope with an evaporator

Номер патента: US09899186B1. Автор: Christopher Su-Yan OWN,Matthew Francis Murfitt. Владелец: Mochii Inc. Дата публикации: 2018-02-20.

Neutral particle beam injector based on negative ions

Номер патента: RU2619923C2. Автор: Александр Александрович Иванов,Владимир Иванович Давыденко,Юрий Иванович Бельченко,Александр Владимирович Бурдаков,Геннадий Иванович Димов,Валерий Васильевич Кобец,Артем Николаевич СМИРНОВ,Михль В. БИНДЕРБАУЭР,Дональд Л. СЕВИЕР,Теренс Э. РИЧАРДСОН. Владелец: Трай Альфа Энерджи, Инк.. Дата публикации: 2017-05-22.

Method for positioning objects in a particle beam microscope with the aid of a flexible particle beam barrier

Номер патента: US20220375714A1. Автор: Josef Biberger,Michal Postolski,Miriam Tabea Kaefer,Holger Ehm. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2022-11-24.

Multi charged particle beam writing apparatus and adjusting method for multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20180247788A1. Автор: Yukitaka Shimizu,Eita FUJISAKI. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-08-30.

Tilting parameters calculating device, sample stage, charged particle beam device, and program

Номер патента: US20200066481A1. Автор: Shunsuke Taniguchi,Naoki Maruyama,Akira Taniyama,Takafumi Amino,Takashige Mori,Chie Yokoyama. Владелец: Nippon Steel Corp. Дата публикации: 2020-02-27.

Inclination angle amount calculation device, sample stand, charged particle beam device, and program

Номер патента: EP3633709A1. Автор: Shunsuke Taniguchi,Naoki Maruyama,Akira Taniyama,Takafumi Amino,Takashige Mori,Chie Yokoyama. Владелец: Nippon Steel Corp. Дата публикации: 2020-04-08.

Systems and methods for real time stereo imaging using multiple electron beams

Номер патента: US11942303B2. Автор: Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Yan Ren. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-03-26.

Systems and methods for real time stereo imaging using multiple electron beams

Номер патента: WO2020141041A1. Автор: Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Yan Ren. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2020-07-09.

Multiple charged particle beam inspection apparatus and multiple charged particle beam inspection method

Номер патента: US20190360951A1. Автор: Riki Ogawa. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-11-28.

System and method for localization of large numbers of fluorescent markers in biological samples

Номер патента: EP2482061A3. Автор: N. William Parker,Mark Utlaut. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2013-09-04.

Circuit pattern design method,exposure method, charged-particle beam exposure system

Номер патента: US20020010906A1. Автор: Ryoichi Inanami,Shunko Magoshi. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2002-01-24.

Multiple charged particle beam writing apparatus and multiple charged particle beam writing method

Номер патента: US20220107569A1. Автор: Yasuo Kato,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2022-04-07.

Neutral particle beam lithography

Номер патента: WO2004075269A1. Автор: Hag-Joo Lee. Владелец: Sem Technology Co., Ltd. Дата публикации: 2004-09-02.

System to inspect, modify or analyze a region of interest of a sample by charged particles, set of systems to inspect, modify or analyze a region of interest of a sample and method to inspect, modify or analyze a region of interest of a sample by charged particles

Номер патента: US20240288391A1. Автор: John A. Notte,Mark D. DiManna,Terry Griffin,Jeffrey Sauer. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-08-29.

Charged-particle beam writing apparatus and charged-particle beam writing method

Номер патента: US20190355553A1. Автор: Takashi Kamikubo,Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-11-21.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US9679748B2. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-06-13.

Multi-beam current quantity measuring method, multi-charged particle drawing control device, and multi-charged particle beam drawing device

Номер патента: US09734984B2. Автор: Hideyuki Iwata. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09679748B2. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-06-13.

Analyzing an object using a particle beam apparatus

Номер патента: US09535020B2. Автор: Wolfgang Berger,Richard Schillinger. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2017-01-03.

Scan strategies to minimize charging effects and radiation damage of charged particle beam metrology system

Номер патента: EP3762779A1. Автор: HONG Xiao. Владелец: KLA Tencor Corp. Дата публикации: 2021-01-13.

Charged particle beam writing apparatus, and apparatus and method for correcting dimension error of pattern

Номер патента: US20090200488A1. Автор: Takayuki Abe,Jun Yashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2009-08-13.

Adjustment method for charged particle beam drawing apparatus and charged particle beam drawing method

Номер патента: US09659746B2. Автор: Takashi Nakamura,Rieko Nishimura. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-05-23.

Scan strategies to minimize charging effects and radiation damage of charged particle beam metrology system

Номер патента: WO2019173252A1. Автор: HONG Xiao. Владелец: KLA-TENCOR CORPORATION. Дата публикации: 2019-09-12.

Charged particle beam lithography apparatus and charged particle beam lithography method

Номер патента: US20180197717A1. Автор: Seiji WAKE. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-07-12.

Charged particle beam inspection of ungrounded samples

Номер патента: US20200088657A1. Автор: Chiyan Kuan. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2020-03-19.

Charged particle beam writing device and charged particle beam writing method

Номер патента: US20220301818A1. Автор: Junpei YASUDA,Naoto WAKUI. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2022-09-22.

Multi-charged particle beam writing apparatus, and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: US12087543B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-09-10.

Creating an electric field when processing a lithography object using a particle beam

Номер патента: WO2024180028A3. Автор: Daniel Schwarz,Michael Budach,Joerg Petschulat. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-10-10.

Apparatus and method for projecting an array of multiple charged particle beamlets on a sample

Номер патента: US12123841B2. Автор: Andries Pieter Johan EFFTING. Владелец: Delmic IP BV. Дата публикации: 2024-10-22.

Systems and methods for duality modulation separation of charged particle wave packets

Номер патента: US20240029913A1. Автор: Stuart Mirell,Daniel Mirell. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-01-25.

System and method for estimating change of status of particle beams

Номер патента: US20120112086A1. Автор: Chi-Hsiang Fan,Kuen-Yu Tsai,Sheng-Yung Chen,Jia-Yush YEN,Yung-Yaw Chen. Владелец: National Taiwan University NTU. Дата публикации: 2012-05-10.

Multi charged particle beam exposure method and multi charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US10134565B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-11-20.

Multi charged particle beam writing method and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09991086B2. Автор: HIROFUMI Morita. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-06-05.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09478391B2. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-10-25.

Device and method for measuring an energy particle beam

Номер патента: US09431222B2. Автор: Damien Prieels. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2016-08-30.

Photon neutraliser for neutral particle beam injectors

Номер патента: RU2696268C2. Автор: Александр Александрович Иванов,Сергей Сергеевич Попов,Александр Владимирович Бурдаков. Владелец: Таэ Текнолоджиз, Инк.. Дата публикации: 2019-08-01.

A method for measuring and reducing angular deviations of a charged particle beam

Номер патента: WO2004072631A3. Автор: Zvika Rosenberg,Guy Eytan,Ofer Adan,Charles Archie,Roger Steele Cornell,Jason Mayer,Eric Solecky. Владелец: Eric Solecky. Дата публикации: 2004-10-28.

Systems and methods for laser driven neutron generation for a liquid-phase based transmutation

Номер патента: EP3847671A1. Автор: Toshiki Tajima,Ales NECAS. Владелец: TAE Technologies Inc. Дата публикации: 2021-07-14.

Systems and methods for laser driven neutron generation for a liquid-phase based transmutation

Номер патента: CA3112255A1. Автор: Toshiki Tajima,Ales NECAS. Владелец: TAE Technologies Inc. Дата публикации: 2020-03-12.

Systems and methods for laser driven neutron generation for a liquid-phase based transmutation

Номер патента: AU2019335374A1. Автор: Toshiki Tajima,Ales NECAS. Владелец: TAE Technologies Inc. Дата публикации: 2021-04-22.

Method for alignment of a light beam to a charged particle beam

Номер патента: US20190013178A1. Автор: Steven Randolph,Jorge Filevich,Aurelien Philippe Jean Maclou Botman,Milos Toth,Dolf Timmerman,Cameron James Zachreson. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2019-01-10.

Multi-charged particle beam writing apparatus, and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: US20240242932A1. Автор: Yasuo Kato,Ryoh Kawana,Masao HAYAMI. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Method for detecting substrate position of charged particle beam photolithography apparatus and charged particle beam photolithography apparatus

Номер патента: US8237139B2. Автор: Yoshiro Yamanaka,Michihiro Kawaguchi,Kazuhiro Shiba,Kota Fujiwara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2012-08-07.

Control device, charged particle beam apparatus, program and method for producing processed product

Номер патента: US20170278673A1. Автор: Hideo Sakai,Satoshi Tomimatsu,Hiroki Kawada,Tsuyoshi OONISHI. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-09-28.

Aperture set for multi-beam and multi-charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20180182593A1. Автор: Hiroshi Yamashita,Kenichi Kataoka,Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-06-28.

Charged particle beam device, and sample observation method employing same

Номер патента: US20240242925A1. Автор: Takeshi Ohmori,Shunya TANAKA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-07-18.

Method for detecting substrate position of charged particle beam photolithography apparatus and charged particle beam photolithography apparatus

Номер патента: US20100290023A1. Автор: Yoshiro Yamanaka,Michihiro Kawaguchi,Kazuhiro Shiba,Kota Fujiwara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2010-11-18.

Multiple charged particle beam lithography apparatus and multiple charged particle beam lithography method

Номер патента: US09947509B2. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-04-17.

Charged particle beam device and inspection device

Номер патента: US09824938B2. Автор: Osamu Inoue,Atsuko Yamaguchi,Hiroki Kawada. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09805907B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-10-31.

Charged particle-beam device and specimen observation method

Номер патента: US09466460B2. Автор: Taku Sakazume,Yusuke Ominami,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-10-11.

Charged particle beam system, opto-electro simultaneous detection system and method

Номер патента: EP3332417A1. Автор: Wei He,Shuai Li,PENG Wang. Владелец: Focus eBeam Technology Beijing Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-13.

Charged particle beam system, opto-electro simultaneous detection system and method

Номер патента: WO2018068506A1. Автор: Wei He,Shuai Li,PENG Wang. Владелец: FOCUS-EBEAM TECHNOLOGY (BEIJING) CO., LTD.. Дата публикации: 2018-04-19.

Multiple charged particle beam writing apparatus, multiple charged particle beam writing method, and computer readable recording media storing program

Номер патента: US20240242931A1. Автор: Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Multi-charged-particle-beam writing method, multi-charged-particle-beam writing apparatus, and computer-readable recording medium

Номер патента: US12046447B2. Автор: Taku Yamada,Takahito Nakayama. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-23.

Control device, charged particle beam apparatus, program and method for producing processed product

Номер патента: US9934940B2. Автор: Hideo Sakai,Satoshi Tomimatsu,Hiroki Kawada,Tsuyoshi OONISHI. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2018-04-03.

Device for varying the energy of a particle beam extracted from an accelerator

Номер патента: AU1850700A. Автор: Yves Jongen,Vincent Poreye. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2000-07-12.

Multi charged particle beam exposing method, and multi charged particle beam exposing apparatus

Номер патента: US20170207064A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-07-20.

Multi charged particle beam exposing method, and multi charged particle beam exposing apparatus

Номер патента: US09881770B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-01-30.

Mask defect repair system and method which controls a dose of a particle beam

Номер патента: US6028953A. Автор: Haruki Komano,Kazuyoshi Sugihara,Hiroko Nakamura. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2000-02-22.

Particle beam device and method for operating a particle beam device

Номер патента: EP2706553A2. Автор: Michael Albiez. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2014-03-12.

Drawing apparatus and method of manufacturing article

Номер патента: US8729509B2. Автор: Takahiro Matsumoto,Wataru Yamaguchi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2014-05-20.

Charged Particle Beam System

Номер патента: US20240186108A1. Автор: Hirokazu Tamaki,Hiromi MISE. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-06-06.

Charged Particle Beam Writing Apparatus and Charged Particle Beam Writing Method

Номер патента: US20190027340A1. Автор: Satoru Hirose,Ryosuke Ueba,Rieko Nishimura. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-01-24.

Method and device for generating a focused strong-current charged-particle beam

Номер патента: US20150303019A1. Автор: Julien Fuchs,Bruno Albertazzi,Henri Pepin,Emmanuel D'HUMIERES. Владелец: Institut National de La Recherche Scientifique INRS. Дата публикации: 2015-10-22.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20240242919A1. Автор: HIROFUMI Morita. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210272768A1. Автор: Masaaki Komatsu,Shin Imamura,Shuhei Yabu,Michio Hatano. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-09-02.

Method for particle beam-induced processing of a defect of a microlithographic photomask

Номер патента: US20230081844A1. Автор: Michael Budach,Thorsten Hofmann. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-03-16.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09934935B2. Автор: Yasuo Kato,Hideo Inoue,Hayato Kimura,Ryoichi Yoshikawa,Jun Yashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-04-03.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09734981B2. Автор: Hitoshi Higurashi,Saori GOMI. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Charged particle beam apparatus and inspection method using the same

Номер патента: US09659744B2. Автор: Yoshinobu Kimura,Naomasa Suzuki,Hideyuki Kazumi,Natsuki Tsuno,Shoji Hotta. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-05-23.

Method and device for generating a focused strong-current charged-particle beam

Номер патента: US09514908B2. Автор: Julien Fuchs,Bruno Albertazzi,Henri Pepin,Emmanuel D'HUMIERES. Владелец: Institut National de La Recherche Scientifique INRS. Дата публикации: 2016-12-06.

Radioisotope production system and method for controlling the same

Номер патента: WO2017142591A1. Автор: Martin PARNASTE,Mikael Carlbom,Rickard Ericson,John Melin. Владелец: GENERAL ELECTRIC COMPANY. Дата публикации: 2017-08-24.

Systems and methods of defect detection by voltage contrast imaging

Номер патента: WO2023241870A1. Автор: Chun-Wei Huang,Xuechen ZHU,Datong ZHANG,Wei-Hsin Hsieh,Yew Kong TANG,Lichi WANG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-12-21.

Radioisotope production system and method for controlling the same

Номер патента: US20170236608A1. Автор: Martin PARNASTE,Mikael Carlbom,Rickard Ericson,John Melin. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2017-08-17.

Charged particle beam device and capturing condition adjusting method in charged particle beam device

Номер патента: US10770266B2. Автор: Tomohito Nakano,Minoru Yamazaki,Yuko Sasaki,Toshiyuki Yokosuka,Yuzuru Mochizuki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2020-09-08.

X-ray radiation source system and method for design of the same

Номер патента: US12040152B2. Автор: Raphael Dahan,Ido KAMINER,Michael SHENTCIS. Владелец: Technion Research and Development Foundation Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Charged Particle Beam Device and Capturing Condition Adjusting Method in Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20200035449A1. Автор: Tomohito Nakano,Minoru Yamazaki,Yuko Sasaki,Toshiyuki Yokosuka,Yuzuru Mochizuki. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2020-01-30.

Target apparatus and isotope production systems and methods using the same

Номер патента: US09336915B2. Автор: Tomas Eriksson,Jonas Norling. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2016-05-10.

Charged-particle beam system

Номер патента: US7329881B2. Автор: Osamu Wakimoto. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2008-02-12.

Material treatment management, tracking and/or regulation compliance platform, system and method

Номер патента: CA3151614A1. Автор: Zachary Wayne Dryman. Владелец: Dryman Zachary Wayne. Дата публикации: 2021-05-06.

Material treatment management, tracking and/or regulation compliance platform, system and method

Номер патента: WO2021081636A1. Автор: Zachary Wayne Dryman. Владелец: Diversys Software Inc.. Дата публикации: 2021-05-06.

Charged-particle beam system

Номер патента: US20050211681A1. Автор: Osamu Wakimoto. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2005-09-29.

Particle beam current monitoring technique

Номер патента: EP1101123A1. Автор: Nobuhiro Tokoro,Steven L. F. Richards. Владелец: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. Дата публикации: 2001-05-23.

Particle beam current monitoring technique

Номер патента: WO2000007030A1. Автор: Nobuhiro Tokoro,Steven L. F. Richards. Владелец: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.. Дата публикации: 2000-02-10.

Shot data generation method and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US9514914B2. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-12-06.

Charged particle beam writing apparatus and method therefor

Номер патента: US09552963B2. Автор: Shusuke Yoshitake. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-24.

Shot data generation method and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09514914B2. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-12-06.

Method for operating a particle beam generator for a particle beam device and particle beam device comprising a particle beam generator

Номер патента: US20190355551A1. Автор: Giuseppe Pavia. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2019-11-21.

Imaging, processing, and/or analyzing an object using a particle beam device

Номер патента: US20240038481A1. Автор: Josef Biberger. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-02-01.

Systems and methods for pulsed voltage contrast detection and capture of charging dynamics

Номер патента: US20230335374A1. Автор: Jian Zhang,Jun Jiang,Cyrus Emil TABERY,Shakeeb Bin HASAN,Benoit Herve GAURY,Bruno La Fontaine,Kenichi Kanai,Long Ma,Yixiang Wang,Oliver Desmond Patterson,Chih-Yu Jen,Jasper Frans Mathijs van Rens. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-10-19.

Particle beam mass spectrometer and particle measurement method by means of same

Номер патента: US20180286655A1. Автор: Sang Jung Ahn,Cheolsu Han,Chang Joon Park,Keu Chan Lee,Seok Rae Yoon. Владелец: Korea Research Institute of Standards and Science KRISS. Дата публикации: 2018-10-04.

Composite Charged Particle Beam Detector, Charged Particle Beam Device, and Charged Particle Beam Detector

Номер патента: US20170358421A1. Автор: Toshihide Agemura,Tsunenori Nomaguchi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-12-14.

Multiple particle beam microscope and associated method with an improved focus setting taking into account an image plane tilt

Номер патента: US20220246388A1. Автор: Michael Behnke,Ingo Mueller,Dirk Zeidler,Nicole Rauwolf,Christof Riedesel,Arne Thoma,Gunther Scheunert,Nico Kaemmer. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2022-08-04.

Charged-particle-beam microlithography methods exhibiting reduced coulomb effects

Номер патента: US20020187411A1. Автор: Kazuaki Suzuki,Sumito Shimizu. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2002-12-12.

Charged particle beam device and image generation method

Номер патента: EP4148766A1. Автор: Kazuki Yagi,Ruth Shewmon Bloom,Hiroki HASHIGUCHI,Bryan W Reed. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-03-15.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20230377837A1. Автор: Yuko Sasaki,Yasuhiro Shirasaki,Yohei Nakamura,Minami Shouji,Natsuki Tsuno,Shota MITSUGI. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-11-23.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US7928414B2. Автор: Takayuki Abe. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2011-04-19.

Charged particle beam writing method, charged particle beam writing apparatus, and computer-readable recording medium

Номер патента: US11804361B2. Автор: Munehiro Ogasawara,Haruyuki NOMURA,Noriaki Nakayamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-10-31.

Charged particle beam lens apparatus, charged particle beam column, and charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US20170213689A1. Автор: Shinichi Kojima,Tomohiko Abe. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2017-07-27.

Charged Particle Beam Device and Image Generation Method

Номер патента: US20230072991A1. Автор: Kazuki Yagi,Bryan W. Reed,Ruth Shewmon Bloom,Hiroki HASHIGUCHI. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-03-09.

Charged particle beam system, corrector for aberration correction of a charged particle beam, and method thereof

Номер патента: US20240170249A1. Автор: Pieter Kruit,John Breuer. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2024-05-23.

Converter of orbital momentum into spin momentum for the polarization of particle beams

Номер патента: EP2605266A3. Автор: Lorenzo Marrucci,Vincenzo Grillo,Ebrahim Karimi,Enrico Santamato. Владелец: Consiglio Nazionale delle Richerche CNR. Дата публикации: 2015-12-30.

On-axis illumination and alignment for charge control during charged particle beam inspection

Номер патента: US20180364564A1. Автор: Stefan Lanio,Alex Goldenshtein. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2018-12-20.

Charged particle beam lens apparatus, charged particle beam column, and charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US10049854B2. Автор: Shinichi Kojima,Tomohiko Abe. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2018-08-14.

Pattern writing apparatus using charged particle beam, and program-recorded readable recording medium

Номер патента: US20080067431A1. Автор: Tomoyuki Horiuchi,Takeshi Kurohori. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2008-03-20.

Writing data generating method, multi charged particle beam writing apparatus, pattern inspecting apparatus, and computer-readable recording medium

Номер патента: US11774860B2. Автор: Kenichi Yasui,Noriaki Nakayamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-10-03.

Writing data generating method, multi charged particle beam writing apparatus, pattern inspecting apparatus, and computer-readable recording medium

Номер патента: US20200278612A1. Автор: Kenichi Yasui,Noriaki Nakayamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-09-03.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US7652249B2. Автор: Satoru Yamaguchi,Yasuhiko Ozawa,Atsushi Takane,Mitsuji Ikeda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2010-01-26.

Stage device and charged particle beam device

Номер патента: US20190228947A1. Автор: Hironori Ogawa,Motohiro Takahashi,Shuichi Nakagawa,Takanori Kato,Masaki Mizuochi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-07-25.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US7449692B2. Автор: Takashi Onishi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2008-11-11.

Non-axisymmetric charged-particle beam system

Номер патента: US7612346B2. Автор: Jing Zhou,Chiping Chen,Ronak J. Bhatt. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2009-11-03.

Non-axisymmetric charged-particle beam system

Номер патента: US20060017002A1. Автор: Jing Zhou,Chiping Chen,Ronak Bhatt. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2006-01-26.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20100102224A1. Автор: Satoru Yamaguchi,Yasuhiko Ozawa,Atsushi Takane,Mitsuji Ikeda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2010-04-29.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US10483087B2. Автор: Hayato Kimura,Kei Hasegawa,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-11-19.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09899187B2. Автор: Yasuo Kato,Masafumi Ise,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-02-20.

Charged Particle Beam System With Receptacle Chamber For Cleaning Sample and Sample Stage

Номер патента: US09881768B2. Автор: Shuji Kawai. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2018-01-30.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09875876B2. Автор: Jun Yashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-01-23.

Dry separation method using high-speed particle beam

Номер патента: US09865475B2. Автор: In Ho Kim,Jin Won Lee. Владелец: Npics Inc. Дата публикации: 2018-01-09.

Method and system for dimensional uniformity using charged particle beam lithography

Номер патента: US09859100B2. Автор: Akira Fujimura,Robert C. Pack,Kazuyuki Hagiwara. Владелец: D2S Inc. Дата публикации: 2018-01-02.

Method and apparatus for processing a substrate with a focused particle beam

Номер патента: US09721754B2. Автор: Petra Spies,Thorsten Hofmann,Tristan Bret. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2017-08-01.

Method and system for reducing curtaining in charged particle beam sample preparation

Номер патента: US09488554B2. Автор: Michael Schmidt,Sang Hoon Lee,Stacey Stone,Jeffrey Blackwood,Hyun Hwa Kim. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2016-11-08.

Particle beam forming device

Номер патента: US9574984B2. Автор: Naoki Takeda,Masaya Tabaru,Kazuhiro Koizumi,Noritomo Hirayama,Nobuyuki Takegawa,Takuma Miyakawa. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 2017-02-21.

Multi charged particle beam writing apparatus and method for correcting a current distribution of groups of charged particle beams

Номер патента: US9543119B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-10.

Charged particle beam writing apparatus and method for diagnosing failure of blanking circuit

Номер патента: US10460902B2. Автор: Takahito Nakayama. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-10-29.

Charged particle beam apparatus and method for controlling charged beam apparatus

Номер патента: US20180182596A1. Автор: Hidekazu Suzuki. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2018-06-28.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US9455119B2. Автор: Makoto Sato,Masahiro Kiyohara,Tatsuya Asahata,Ikuko Nakatani. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2016-09-27.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20150270096A1. Автор: Makoto Sato,Masahiro Kiyohara,Tatsuya Asahata,Ikuko Nakatani. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2015-09-24.

Proton energy degrader devices and methods of using same

Номер патента: CA3217485A1. Автор: Maurice G. DODD,Brian Hook,Joel KUMLIN. Владелец: Artms Inc. Дата публикации: 2022-10-27.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20130105690A1. Автор: Satoshi Takada,Tatsuichi Katou. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2013-05-02.

Light guide, detector having light guide, and charged particle beam device

Номер патента: US10593512B2. Автор: Yoshifumi Sekiguchi,Shin Imamura,Hajime Kawano,Shahedul Hoque. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2020-03-17.

Charged particle beam exposure method and apparatus therefor

Номер патента: US5981960A. Автор: HIROSHI Yasuda,Hitoshi Tanaka,Akio Yamada,Yoshihisa Ooaeh. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 1999-11-09.

Method of determining an energy width of a charged particle beam

Номер патента: US11948771B2. Автор: Peter Christiaan Tiemeijer. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-04-02.

Vacuum chamber arrangement for charged particle beam generator

Номер патента: US20230386696A1. Автор: Alexander Hendrik Vincent van Veen,Willem Henk URBANUS,Marco Jan-Jaco Wieland. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2023-11-30.

Exhaust gas after-treatment system of an engine designed as gas engine or dual-fuel engine, engine and method for operating the same

Номер патента: FI131068B1. Автор: Klaus Strobl. Владелец: MAN Energy Solutions SE. Дата публикации: 2024-09-02.

Exhaust gas after-treatment system of an engine designed as gas engine or dual-fuel engine, engine and method for operating the same

Номер патента: FI20225667A1. Автор: Klaus Strobl. Владелец: MAN Energy Solutions SE. Дата публикации: 2023-05-17.

Exhaust gas after-treatment system of an engine designed as gas engine or dual-fuel engine, engine and method for operating the same

Номер патента: US11719147B2. Автор: Klaus Strobl. Владелец: MAN Energy Solutions SE. Дата публикации: 2023-08-08.

Exhaust Gas After-Treatment System Of An Engine Designed As Gas Engine Or Dual-Fuel Engine, Engine And Method For Operating The Same

Номер патента: US20230151753A1. Автор: Klaus Strobl. Владелец: MAN Energy Solutions SE. Дата публикации: 2023-05-18.

CHARACTERIZATION SYSTEM FOR A LOADED PARTICLE BEAM AND MACHINE FOR PRODUCING A LOADED PARTICLE BEAM COMPRISING SUCH A SYSTEM

Номер патента: FR3077646B1. Автор: DENIS Bernard,Bruno Boyer,Pascal Manigot,Christophe Thiebaux,Marc Verderi. Владелец: ECOLE POLYTECHNIQUE. Дата публикации: 2020-01-17.

Device for monitoring a beam treatment of a workpiece and use thereof, device for a beam treatment of a workpiece and use thereof, method for monitoring a beam treatment of a workpiece, method for a beam treatment of a workpiece

Номер патента: CN111479648A. Автор: 安德烈亚斯·吕迪. Владелец: Byson Laser Co ltd. Дата публикации: 2020-07-31.

Optical fiber clips, random access management systems including clips and methods for using the same

Номер патента: EP1949162A2. Автор: Barry W. Allen. Владелец: Tyco Electronics Corp. Дата публикации: 2008-07-30.

Optical fiber clips, random access management systems including clips and methods for using the same

Номер патента: WO2007050537A3. Автор: Barry W Allen. Владелец: Barry W Allen. Дата публикации: 2007-09-20.

The public section parking management system in city and method

Номер патента: CN105590478B. Автор: 陈昊. Владелец: 陈昊. Дата публикации: 2018-01-30.

Optical fiber clips, random access management systems including clips and methods for using the same

Номер патента: US20070104448A1. Автор: Barry Allen. Владелец: Tyco Electronics Corp. Дата публикации: 2007-05-10.

Particle beam irradiation system and particle beam irradiation facility

Номер патента: US12121754B2. Автор: Kenichi Takizawa,Hideaki Nishiuchi,Tadashi Katayose. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-10-22.

Particle beam treatment system

Номер патента: US20160346567A1. Автор: Tomoaki Hirane,Haruki ARITA,Naofumi ISHIGURO,Isao FURUSE. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2016-12-01.

Pinhole collimator systems and methods

Номер патента: US12064644B2. Автор: Flavio Poehlmann-Martins,Joshua MCNEUR,Alexander Cahill,Ognian Sabev,Reza Alibazi BEHBAHANI. Владелец: Varian Medical Systems Inc. Дата публикации: 2024-08-20.

Particle beam therapy system

Номер патента: US09687679B2. Автор: Masahiro Ikeda,Hisashi Harada,Takaaki Iwata,Yuehu Pu. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-06-27.

Systems and methods for particle portal imaging

Номер патента: US11975219B2. Автор: James Edward Baciak,Sanjiv Singh Samant,Jyothier Nimmagadda,Andreas Jon Enqvist,Thomas S. S. Samant. Владелец: University of Florida Research Foundation Inc. Дата публикации: 2024-05-07.

Particle beam treatment apparatus

Номер патента: US09610462B2. Автор: Hiroshi Ishiyama,Kentaro Matsui,Yuuji Takiguchi,Teppei Ukegawa. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2017-04-04.

Monitoring apparatus for rotating gantry, monitoring method for rotating gantry, and particle beam treatment system

Номер патента: US20240157173A1. Автор: Yasuhiro Yuguchi,Masato Misawa,Kiyohiko Kitagawa,Shinichi Takama,Kazuhito Tomita,Yoshishige Nobuoka,Michitaka ISHIWATA. Владелец: Toshiba Plant Systems and Services Corp. Дата публикации: 2024-05-16.

Beam monitoring system, particle therapy system, and beam monitoring method

Номер патента: US20230056147A1. Автор: Yuichiro Ueno,Kouichi Okada,Kota Sasaki. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2023-02-23.

Particle beam therapy system and magnetic resonance imaging apparatus

Номер патента: EP4035732A1. Автор: Manabu Aoki,Yusuke Fujii,Masumi Umezawa. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2022-08-03.

Treatment planning device, treatment planning method, control device, and particle beam treatment system

Номер патента: US20170216622A1. Автор: Shinichiro Fujitaka,Masumi Umezawa,Shusuke HIRAYAMA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-08-03.

Particle beam therapy system and magnetic resonance imaging apparatus

Номер патента: US20220355129A1. Автор: Manabu Aoki,Yusuke Fujii,Masumi Umezawa. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2022-11-10.

Particle beam scanning irradiation system

Номер патента: US20150038766A1. Автор: Masahiro Ikeda,Yuehu Pu,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2015-02-05.

System for irradiating charged particles and method for irradiating charged particles

Номер патента: US09750957B2. Автор: Kikuo Umegaki,Toru Umekawa,Naoki Miyamoto,Yusuke Fujii,Hiroki Shirato,Taeko Matsuura,Masumi Umezawa. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-09-05.

Charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US09566453B2. Автор: Masanori Tachibana. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2017-02-14.

Particle beam rotational irradiation apparatus

Номер патента: US8664620B2. Автор: Kazuo Yamamoto,Takahisa Nagayama,Nobuyuki HARUNA. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2014-03-04.

Particle beam scanning irradiation system

Номер патента: US9597530B2. Автор: Masahiro Ikeda,Yuehu Pu. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-03-21.

Particle therapy device and method for setting dose calibration factor

Номер патента: US09839793B2. Автор: Masahiro Ikeda,Osamu Takahashi,Hisashi Harada,Takaaki Iwata,Yuehu Pu,Nobuhiko Ina. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-12-12.

Particle beam scanning irradiation system

Номер патента: US09597530B2. Автор: Masahiro Ikeda,Yuehu Pu. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-03-21.

Pinhole collimator systems and methods

Номер патента: WO2023049191A1. Автор: Flavio Poehlmann-Martins,Joshua MCNEUR,Alexander Cahill,Ognian Sabev,Reza Alibazi BEHBAHANI. Владелец: Varian Medical Systems, Inc.. Дата публикации: 2023-03-30.

Particle beam therapy system

Номер патента: US20140088336A1. Автор: Takeshi Hagino,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2014-03-27.

Particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US09889319B2. Автор: Hisashi Harada,Yusuke Sakamoto,Yuehu Pu,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2018-02-13.

Particle beam treatment apparatus

Номер патента: US20190126073A1. Автор: Kiyohiko Kitagawa,Kunihiko Kinugasa,Kazutaka MAETA,Yuuji Takiguchi. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2019-05-02.

Coolant supply apparatus for rotating gantry, and particle beam treatment system

Номер патента: US20240165426A1. Автор: Yasuhiro Yuguchi,Kiyohiko Kitagawa,Shinichi Takama,Kazuhito Tomita. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2024-05-23.

Charged particle beam emitting device and method for operating a charged particle beam emitting device

Номер патента: EP1801838A1. Автор: FANG Zhou. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2007-06-27.

Particle beam treatment apparatus with cable length adjuster

Номер патента: US10525287B2. Автор: Kiyohiko Kitagawa,Kunihiko Kinugasa,Kazutaka MAETA,Yuuji Takiguchi. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2020-01-07.

Particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US09937361B2. Автор: Hisashi Harada,Yusuke Sakamoto,Yuehu Pu,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2018-04-10.

Charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US20100288946A1. Автор: Hisashi Harada,Yuehu Pu,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2010-11-18.

Particle beam treatment apparatus

Номер патента: US20230241418A1. Автор: Toshiki Kuroki. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2023-08-03.

Particle beam therapy system

Номер патента: US20130289333A1. Автор: Masahiro Ikeda,Hisashi Harada,Kengo Sugahara,Kazushi Hanakawa,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2013-10-31.

Device for remotely cross-firing particle beams

Номер патента: US09555266B2. Автор: Yoshio Hishikawa. Владелец: MEDIPOLIS MEDICAL RESEARCH INSTITUTE. Дата публикации: 2017-01-31.

Laser-driven particle beam irradiation apparatus and method

Номер патента: US8222617B2. Автор: Akira Noda,Masahiro Ikegami,Takeshi Yoshiyuki,Hiroyuki Daido,Yasushi Iseki,Mamiko Nishiuchi. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2012-07-17.

Charged-particle beam therapy apparatus and method for controlling charged-particle beam therapy apparatus

Номер патента: US20150265855A1. Автор: Masanori Tachibana,Toru Asaba,Toshiki Tachikawa. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2015-09-24.

Rapid range stacking (RRS) for particle beam therapy

Номер патента: US09597529B2. Автор: Joseph Lidestri. Владелец: Best Medical International Inc. Дата публикации: 2017-03-21.

Treatment planning system and particle therapy system

Номер патента: US11033755B2. Автор: Takahiro Yamada,Takuya Nomura,Shinichiro Fujitaka,Taisuke Takayanagi,Rintarou FUJIMOTO. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2021-06-15.

Treatment planning system and particle therapy system

Номер патента: US20180200534A1. Автор: Takahiro Yamada,Takuya Nomura,Shinichiro Fujitaka,Taisuke Takayanagi,Rintarou FUJIMOTO. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2018-07-19.

Systems and methods for particle portal imaging

Номер патента: US20230277873A1. Автор: James Edward Baciak,Sanjiv Singh Samant,Jyothier Nimmagadda,Thomas S.S. Samant,Andreas Jon Enqvist. Владелец: University of Florida Research Foundation Inc. Дата публикации: 2023-09-07.

Accessory holder for particle beam apparatus

Номер патента: US09789343B2. Автор: Sven De Roeck,Jean-Claude Amelia,Thomas Colmant. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2017-10-17.

Particle beam therapy apparatus

Номер патента: US09839794B2. Автор: Masayuki Kato. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-12-12.

Charged-particle beam irradiation device, charged-particle beam irradiation method, and computer readable medium

Номер патента: US20120049091A1. Автор: Masanori Tachibana. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2012-03-01.

Charged particle beam irradiating apparatus

Номер патента: US20100072389A1. Автор: Toshiaki Ochi,Toru Asaba,Toshiki Tachikawa. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2010-03-25.

Rotation angle measuring method of multi-charged particle beam image, rotation angle adjustment method of multi-charged particle beam image, and multi-charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09466461B2. Автор: Osamu Iizuka,Kenji Ohtoshi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-10-11.

System and method for scanning a sample using multi-beam inspection apparatus

Номер патента: US20210217582A1. Автор: Joost Jeroen Ottens,Long Ma,Xuedong Liu,Weihua Yin,Youfei JIANG,Maria Johannes MAASSEN Martinus Gerardus,Wei-Te LI. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2021-07-15.

System and method for scanning a sample using multi-beam inspection apparatus

Номер патента: US20230274906A1. Автор: Joost Jeroen Ottens,Long Ma,Xuedong Liu,Weihua Yin,Youfei JIANG,Maria Johannes MAASSEN Martinus Gerardus,Wei-Te LI. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-08-31.

Particle Beam Detector

Номер патента: US20160035536A1. Автор: Brandon W. Blackburn,Paul F. Martin,Bruce Chignola,Timothy M. Norcott,Kenneth A. Levenson. Владелец: Raytheon Co. Дата публикации: 2016-02-04.

Focused particle beam systems and methods using a tilt column

Номер патента: US20020170675A1. Автор: Billy Ward,Charles Libby. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-11-21.

Method for calibrating deflectors of a charged particle beam device, and charged particle beam device

Номер патента: WO2023232257A1. Автор: Bernhard G. Mueller,Robert TRAUNER,Ludwig Ledl,Axel Wenzel. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-12-07.

Charged-particle beam apparatus with large field-of-view and methods thereof

Номер патента: WO2023198397A1. Автор: Weiming Ren,Xiaoyu JI. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-10-19.

Charged particle beam device

Номер патента: EP4365926A1. Автор: Hajime Kawano,Toshiyuki Yokosuka,Hideyuki Kotsuji. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-05-08.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20240321543A1. Автор: Hajime Kawano,Toshiyuki Yokosuka,Hideyuki Kotsuji. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-09-26.

Method for operating a multi-beam particle beam microscope

Номер патента: US20240312759A1. Автор: Dirk Zeidler,Gregor Dellemann,Gunther Scheunert. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-09-19.

Method for operating a multi-beam particle beam microscope

Номер патента: US12094683B2. Автор: Dirk Zeidler,Gregor Dellemann,Gunther Scheunert. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-09-17.

Charged-particle-beam device and method for correcting aberration

Номер патента: US9484182B2. Автор: Takaho Yoshida,Hisanao Akima. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-11-01.

Charged particle beam apparatus, scanning electron microscope, and method of operating a charged particle beam apparatus

Номер патента: EP4295385A1. Автор: Pavel Adamec. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-12-27.

Charged particle beam column and method for directing a charged particle beam

Номер патента: WO2003100815A2. Автор: Juergen Frosien,Igor Petrov,Zvika Rosenberg,Pavel Adamec,Ralf Degenhardt,Igor KRYVITZ. Владелец: Applied Materials Israel, Ltd.. Дата публикации: 2003-12-04.

Method for measuring a distance of a component from an object and for setting a position of a component in a particle beam device

Номер патента: US09496116B2. Автор: Andreas Schmaunz,Holger Doemer. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2016-11-15.

System and methods for thermally conditioning a wafer in a charged particle beam apparatus

Номер патента: US11804358B2. Автор: Martijn Petrus Christianus VAN HEUMEN,Jeroen Gerard Gosen. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-10-31.

Multi-beam particle beam system and method for operating same

Номер патента: US20210217577A1. Автор: Yanko Sarov,Ulrich Bihr,Dirk Zeidler,Georgo Metalidis,Stefan Schubert,Christof Riedesel,Joerg Jacobi,Arne Thoma,Ralf Lenke,Georg Kurij. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2021-07-15.

Systems and methods for thermally conditioning a wafer in a charged particle beam apparatus

Номер патента: US20240079202A1. Автор: Martijn Petrus Christianus VAN HEUMEN,Jeroen Gerard Gosen. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-03-07.

Charged particle beam system

Номер патента: US20230093287A1. Автор: Hirokazu Tamaki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-03-23.

Scanning type charged particle beam microscope

Номер патента: US20020017606A1. Автор: Masayuki Maruo. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-02-14.

Charged particle beam apparatus having particular electrostatic objective lens and vacuum pump systems

Номер патента: US5254856A. Автор: Kazue Takahashi,Tadashi Otaka,Kenji Odaka,Toshiaki Kobari,Mikio Ichihashi,Hironobu Matsui,Shinjiroo Ueda. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1993-10-19.

Method and system for the removal and/or avoidance of contamination in charged particle beam systems

Номер патента: US20240017301A1. Автор: Marc Smits,Johan Joost Koning,Chris Franciscus Jessica Lodewijk,Hindrik Willem Mook,Ludovic Lattard. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2024-01-18.

Compensated location specific processing apparatus and method

Номер патента: US20180197715A1. Автор: Michael Graf,Martin D. Tabat,Matthew C. Gwinn,Kenneth Regan,Allen J. Leith. Владелец: TEL Epion Inc. Дата публикации: 2018-07-12.

Method for inspecting a specimen and charged particle beam device

Номер патента: WO2021078352A1. Автор: Dieter Winkler,Jürgen Frosien,Pieter Kruit,Ralf Schmid,Benjamin John Cook,Ron Naftali,Roman BARDAY. Владелец: Applied Materials Israel Ltd.. Дата публикации: 2021-04-29.

Charged particle beam exposure apparatus and method of cleaning the same

Номер патента: US5401974A. Автор: HIROSHI Yasuda,Yasushi Takahashi,Moritaka Nakamura,Soichiro Arai,Kiichi Sakamoto,Takamasa Satoh,Yoshihisa Oae. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 1995-03-28.

Method for operating a multiple particle beam system with a mirror mode of operation and associated computer program product

Номер патента: NL2028949B1. Автор: SCHUBERT Stefan. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2023-12-14.

Charged particle beam device

Номер патента: US20190108970A1. Автор: Hironori Ogawa,Motohiro Takahashi,Shuichi Nakagawa,Takanori Kato. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-04-11.

Charged particle source arrangement for a charged particle beam device, charged particle beam device for sample inspection, and method for providing a primary charged particle beam for sample inspection in a charged particle beam

Номер патента: US20160240345A1. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2016-08-18.

Charged particle beam device

Номер патента: US20210217580A1. Автор: Tsunenori Nomaguchi,Yuta Imai,Kazuo Ootsuga. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-07-15.

Charged particle beam exposure apparatus suitable for drawing on line patterns, and exposure method using the same

Номер патента: US20160133438A1. Автор: Akio Yamada,Tatsuro Okawa,Masahiro Seyama,Masaki Kurokawa. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2016-05-12.

Charged particle beam exposure apparatus suitable for drawing on line patterns, and exposure method using the same

Номер патента: US9607807B2. Автор: Akio Yamada,Tatsuro Okawa,Masahiro Seyama,Masaki Kurokawa. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2017-03-28.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20150083910A1. Автор: Toshihide Agemura,Tsunenori Nomaguchi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-03-26.

Charged particle beam systems, dispersion devices for the charged particle beam systems, and methods for controlling dispersion in the charged particle beam systems

Номер патента: TWI747099B. Автор: 任偉明,劉學東,胡學讓,羅希楠,仲瑋 陳. Владелец: 荷蘭商Ａｓｍｌ荷蘭公司. Дата публикации: 2021-11-21.

Charged particle gun and charged particle beam device

Номер патента: GB2605035A. Автор: Sasaki Tomoyo. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-09-21.

Particle beam system.

Номер патента: NL2014113B1. Автор: KEMEN Thomas,Zeidler Dirk. Владелец: Zeiss Carl Microscopy Gmbh. Дата публикации: 2016-05-18.

Particle beam system.

Номер патента: NL2007053C2. Автор: Dirk Zeidler,Thomas Kemen. Владелец: Zeiss Carl Nts Gmbh. Дата публикации: 2014-04-14.

PARTICLE BEAM SYSTEM FOR AZIMUTHAL DEFLECTION OF INDIVIDUAL PARTICLE BEAMS AND METHOD FOR AZIMUTH CORRECTION IN A PARTICLE BEAM SYSTEM

Номер патента: US20220102104A1. Автор: Major Andras G.,Zeidler Dirk,Jacobi Joerg,Thoma Arne,Fritz Hans. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

Drawing apparatus, and method of manufacturing article

Номер патента: US9245715B2. Автор: Masato Muraki,Tomoyuki Morita. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2016-01-26.

Charged-particle-beam microlithography methods exhibiting reduced thermal deformation of mark-defining member

Номер патента: US20010052578A1. Автор: Teruaki Okino. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-12-20.

Charged particle beam apparatus and vibration damper for charged particle beam apparatus

Номер патента: US20170250054A1. Автор: Yoshimasa Fukushima,Motohiro Takahashi,Katsunori Onuki,Tetsuya NIIBORI. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-08-31.

Charged particle beam drawing data production apparatus and charged particle beam drawing system

Номер патента: GB9600335D0. Автор: . Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 1996-03-13.

Particle beam system for azimuthal deflection of individual particle beams and method for azimuth correction in a particle beam system

Номер патента: TWI747301B. Автор: 迪瑞克 列德雷,漢斯 弗瑞茲,安卓斯Ｇ 瑪喬,艾琳 湯瑪,喬治 傑寇博. Владелец: 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司. Дата публикации: 2021-11-21.

Method of determining main deflection settling time for charged particle beam writing, method of writing with charged particle beam, and apparatus for writing with charged particle beam

Номер патента: US20100288939A1. Автор: Rieko Nishimura. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2010-11-18.

Drawing apparatus, and method of manufacturing article

Номер патента: US20140106279A1. Автор: Masato Muraki,Tomoyuki Morita. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2014-04-17.

Method for measuring a distance of a component from an object and for setting a position of a component in a particle beam device

Номер патента: US20160118216A1. Автор: Andreas Schmaunz,Holger Doemer. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2016-04-28.

System for imaging a signal charged particle beam, method for imaging a signal charged particle beam, and charged particle beam device

Номер патента: US9666405B1. Автор: Jürgen Frosien,Stefan Lanio,Matthias FIRNKES,Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-05-30.

Charged particle beam control element, method of fabricating charged particle beam control element, and charged particle beam apparatus

Номер патента: US6781123B2. Автор: Yukiharu Okubo. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2004-08-24.

Charged particle beam microscope, sample holder for a charged particle beam microscope and charged particle beam microscopy

Номер патента: DE112013000437B4. Автор: Shunta KASHIMA,c/o Hitachi Ltd. Tsuneta Ruriko,c/o Hitachi High-Technologies Co Kikuchi Hideki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2018-07-26.

Method of imaging a sample with a charged particle beam device, method of calibrating a charged particle beam device, and charged particle beam device

Номер патента: US20230253177A1. Автор: Bernhard Schuler,Bernhard G. Mueller,Kulpreet Singh VIRDI. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-08-10.

Charged particle beam microscope, sample holder for a charged particle beam microscope and charged particle beam microscopy

Номер патента: DE112013000437B8. Автор: Hideo Kashima,Hideki Kikuchi,Ruriko Tsuneta. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2018-10-18.

Charged particle beam device, composite charged particle beam device, and control method for charged particle beam device

Номер патента: JP2021068529A. Автор: Koji Nagahara,安彦 杉山,Yasuhiko Sugiyama,杉山　安彦,幸児 永原. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2021-04-30.

How to Image a Sample with a Charged Particle Beam Device, How to Calibrate a Charged Particle Beam Device, and a Charged Particle Beam Device

Номер патента: KR20230041806A. Автор: 베른하르트 슐러,쿨프리트 싱 버디,베른하르트 쥐. 뮐러. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2023-03-24.

Charged particle beam control element, method of fabricating charged particle beam control element, and charged beam apparatus

Номер патента: US6566658B1. Автор: Yukiharu Okubo. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-05-20.

MULTI-CHARGED PARTICLE BEAM IMAGE ACQUISITION APPARATUS AND MULTI-CHARGED PARTICLE BEAM IMAGE ACQUISITION METHOD

Номер патента: US20210005422A1. Автор: NAKASHIMA Kazuhiro. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2021-01-07.

Charged Particle Beam Device, Autofocus Processing Method of Charged Particle Beam Device, and Detector

Номер патента: US20220044906A1. Автор: Nakamura Mitsuhiro,Hatano Michio. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-10.

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND CONTROL METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Номер патента: US20180151328A1. Автор: Kobayashi Hiroshi,Sato Norio,KARAKAMA Akira. Владелец: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION. Дата публикации: 2018-05-31.

Charged Particle Beam Apparatus and Control Method of Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20200168431A1. Автор: Kaneyama Toshikatsu. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-28.

CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS, APERTURE UNIT, AND CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20140273536A1. Автор: NISHIYAMA Tetsuro. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2014-09-18.

Charged Particle Beam Apparatus and Adjustment Method for Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20210233739A1. Автор: Yamazaki Kazuya. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-29.

Charged Particle Beam Device and Sample Holder for Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20160217971A1. Автор: Yaguchi Toshie,Nagakubo Yasuhira,IWAHORI Toshiyuki. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-28.

CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS AND VIBRATION DAMPER FOR CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS

Номер патента: US20170250054A1. Автор: Onuki Katsunori,Niibori Tetsuya,Fukushima Yoshimasa,TAKAHASHI Motohiro. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-31.

Charged particle beam chromatic aberration correction apparatus and charged particle beam apparatus equipped with the aberration correction apparatus

Номер патента: JP4276929B2. Автор: 高穂 吉田,猛 川崎. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2009-06-10.

Charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: WO2005024890A1. Автор: Jürgen Frosien,Stefan Lanio,Ralf Degenhardt. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2005-03-17.

Double stage charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: WO2005024888A2. Автор: Jürgen Frosien,Stefan Lanio,Ralf Degenhardt. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2005-03-17.

Single stage charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: WO2005024889A1. Автор: Jürgen Frosien,Stefan Lanio,Ralf Degenhardt,Gerald Schönecker. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2005-03-17.

Single stage charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: EP1521289A1. Автор: Ralf Degenhardt,Gerald Schönecker,Jürgen Dr. Frosien,Stefan Dr. Lanio. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Ges fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2005-04-06.

Charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: US7507956B2. Автор: Jürgen Frosien,Stefan Lanio,Ralf Degenhardt. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Ges fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2009-03-24.

Double stage charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: EP1517354A3. Автор: Ralf Degenhardt,Jürgen Dr. Frosien,Stefan Dr. Lanio. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Ges fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2005-04-13.

Charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: EP1517353A2. Автор: Ralf Degenhardt,Jürgen Dr. Frosien,Stefan Dr. Lanio. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Ges fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2005-03-23.

Double stage charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: EP1517354A2. Автор: Ralf Degenhardt,Jürgen Dr. Frosien,Stefan Dr. Lanio. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Ges fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2005-03-23.

Double stage charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: US7679054B2. Автор: Jürgen Frosien,Stefan Lanio,Ralf Degenhardt. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Ges fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2010-03-16.

Method and device to form image formation charged particle beam and the exposing device of charged particle beam

Номер патента: TW445489B. Автор: Kenichi Kawakami. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2001-07-11.

Particle beam target with improved heat transfer and related apparatus and methods

Номер патента: EP2425686A4. Автор: Matthew Hughes Stokely,Bruce W Wieland. Владелец: BTI Targetry LLC. Дата публикации: 2016-05-18.

Battery management system, electronic apparatus and method for charging battery

Номер патента: CN101286649B. Автор: 许建平,卢纯,余永强,斯蒂芬·美瑞努,雷晓华,雷志同. Владелец: O2Micro China Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-13.

Battery management system, battery module and method of balancing a plurality of battery modules

Номер патента: TWI474577B. Автор: Guoxing Li,Jingbo Ke. Владелец: O2Micro Int Ltd. Дата публикации: 2015-02-21.

Thermal management system, powertrain, vehicle, and method of heating a battery in a vehicle

Номер патента: DE102021108855B4. Автор: Björn Kylefors. Владелец: SCANIA CV AB. Дата публикации: 2022-10-27.

System and method for inspection by failure mechanism classification and identification in a charged particle system

Номер патента: US20240319123A1. Автор: Antonio Corradi,Hermanus Adrianus Dillen,Pioter Nikolski,Younghoon Song,Achim WOESSNER,Yun A SUNG. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-09-26.

Devices and methods for spectroscopic analysis

Номер патента: US09927361B2. Автор: Nico Correns,Michael Rode. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2018-03-27.

Neutral particle beam based injector based on negative ions

Номер патента: RU2741793C2. Автор: Александр Александрович Иванов,Владимир Иванович Давыденко,Юрий Иванович Бельченко,Александр Владимирович Бурдаков,Геннадий Иванович Димов,Валерий Васильевич Кобец,Артем Николаевич СМИРНОВ,Михль В. БИНДЕРБАУЭР,Дональд Л. СЕВИЕР,Теренс Э. РИЧАРДСОН. Владелец: Таэ Текнолоджиз, Инк.. Дата публикации: 2021-01-28.

System to inspect, modify or analyze a region of interest of a sample by charged particles, set of systems to inspect, modify or analyze a region of interest of a sample and method to inspect, modify or analyze a region of interest of a sample by charged particles

Номер патента: US12044638B2. Автор: John A. Notte,Mark D. DiManna,Terry Griffin,Jeff Sauer. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-07-23.

Spin detector arrangement for measuring the vector component of a spin vector predominating in a particle beam

Номер патента: US09453893B2. Автор: Oliver Schaff. Владелец: SPECS SURFACE NANO ANALYSIS GMBH. Дата публикации: 2016-09-27.

Substrate and method for modifying at least one region of a surface or a portion of a substrate

Номер патента: US20230102394A1. Автор: Clemens Ottermann,Stefan WEIDLICH,Frederick Bachhuber. Владелец: SCHOTT AG. Дата публикации: 2023-03-30.

Mask for charged particle beam exposure, and method of forming the same

Номер патента: US20050008946A1. Автор: Kenichi Morimoto,Yoshinori Kinase,Yuki Aritsuka. Владелец: DAI NIPPON PRINTING CO LTD. Дата публикации: 2005-01-13.

Energy exchange between a laser beam and charged particles using inverse transition radiation and method for its use

Номер патента: US5737354A. Автор: Wayne D. Kimura,Richard D. Romea,Loren C. Steinhauer. Владелец: STI Optronics Inc. Дата публикации: 1998-04-07.

Particle beam generating system and method with measurement of the beam spot of the particle beam

Номер патента: US20090314969A1. Автор: Eike Rietzel. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 2009-12-24.

Method and apparatus for determining the spatial profile of a flux generated by a charged particle beam

Номер патента: WO2016020769A2. Автор: Leonello SERVOLI,Paola TUCCERI. Владелец: ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEARE. Дата публикации: 2016-02-11.

Method and apparatus for determining the spatial profile of a flux generated by a charged particle beam

Номер патента: WO2016020769A3. Автор: Leonello SERVOLI,Paola TUCCERI. Владелец: ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEARE. Дата публикации: 2016-04-07.

Atmospheric electron particle beam generator

Номер патента: US09443634B2. Автор: Thomas Edward Fairbairn. Владелец: FRIPRO ENERGY LLC. Дата публикации: 2016-09-13.

System and method for detection using high-energy particle beams

Номер патента: RU2428681C2. Автор: Питер ЧОЙ. Владелец: Саж Инновасьон Инк.. Дата публикации: 2011-09-10.

Device and method for the determination of the size and electric charge distribution of an ensemble of particles

Номер патента: EP4303561A1. Автор: Loren BAN. Владелец: Eidgenoessische Technische Hochschule Zurich ETHZ. Дата публикации: 2024-01-10.

Device and method for the determination of the size and electric charge distribution of an ensemble of particles

Номер патента: WO2024009203A1. Автор: Loren BAN. Владелец: ETH Zurich. Дата публикации: 2024-01-11.

Atmospheric electron particle beam generator

Номер патента: US9443634B2. Автор: Thomas Edward Fairbairn. Владелец: FRIPRO ENERGY LLC. Дата публикации: 2016-09-13.

Atmospheric electron particle beam generator

Номер патента: US20100043729A1. Автор: Thomas Edward Fairbairn. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-02-25.

Automatic sample-changing device and method for particle beam radiation samples

Номер патента: US12013505B2. Автор: Xin Li,Wenjie JIN,Zhiguo Xu,Wenjian Li,Yan Du,Yucong Chen,Libin Zhou,Ruishi MAO,Xincai KANG,Zulong ZHAO,Kun Wei. Владелец: Institute of Modern Physics of CAS. Дата публикации: 2024-06-18.

Systems And Methods For Detecting Beam Displacement

Номер патента: US20240110881A1. Автор: James B. McGinn. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-04-04.

Additive manufacturing using a particle beam

Номер патента: WO2024003264A1. Автор: Ulf Ackelid. Владелец: Freemelt AB. Дата публикации: 2024-01-04.

Devices and methods for measuring residual stress in a membrane region of a segmented reticle blank

Номер патента: US20020131036A1. Автор: Shin-Ich Takahashi. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2002-09-19.

Charged-particle-beam analysis device and analysis method

Номер патента: US09752997B2. Автор: Masanari Koguchi,Yoshihiro Anan. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-09-05.

Method for producing image on material, sensitive to used type of emission, method for producing binary hologram (variants) and method for producing image with use of hologram

Номер патента: RU2262126C1. Автор: Н.В. Иванова,Ю.А. Толмачев,В.В. Керженцев,Н.В. Иванова (RU),Ю.А. Толмачев (RU),В.В. Керженцев (RU). Владелец: Иванова Наталия Викторовна. Дата публикации: 2005-10-10.

Continuous fusion due to energy concentration through focusing of converging fuel particle beams

Номер патента: CA2832753C. Автор: Xian-Jun Zheng. Владелец: Zheng Xian Jun. Дата публикации: 2020-07-14.

Deflection system for charged-particle beam

Номер патента: US4409486A. Автор: Terence Bates. Владелец: US Philips Corp. Дата публикации: 1983-10-11.

Charged-particle beam apparatus for voltage-contrast inspection and methods thereof

Номер патента: EP4437577A1. Автор: Chia Wen Lin,Xuedong Liu,Weiming Ren,Xiaoyu JI,Datong ZHANG. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-02.

Beam transport system and method for linear accelerators

Номер патента: EP2158796A1. Автор: Scott Nelson,George J. Caporaso,Yu-Jiuan Chen. Владелец: Lawrence Livermore National Security LLC. Дата публикации: 2010-03-03.

Beam transport system and method, accelerator including beam transport system, and ion source including the accelerator

Номер патента: US20240196511A1. Автор: Koichi Miyazaki,Takayoshi Seki,Kazuya Nagashima,Takamichi AOKI,Sakiko ASHIKAGA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-06-13.

Apparatus for multiple charged-particle beams

Номер патента: US12080515B2. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Zong-Wei Chen. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-09-03.

Pulsed ion beam to pulsed neutral particle beam slow wave converter device and method for use thereof

Номер патента: US11991814B1. Автор: Mark Bennahmias,Michael J. Zani. Владелец: NEXGEN SEMI HOLDING Inc. Дата публикации: 2024-05-21.

Electron beam generation method for electron beam treatment of metal materials surface

Номер патента: RU2746265C1. Автор: Тамара Васильевна Коваль,Николай Николаевич Коваль,Павел Владимирович Москвин,Антон Дмитриевич Тересов,Максим Сергеевич Воробьёв,Владислав Игоревич Шин,Сергей Юрьевич Дорошкевич,Елизавета Алексеевна Петрикова,Владислав Викторович Яковлев,Камилла Тахировна Ашурова. Владелец: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН). Дата публикации: 2021-04-12.

Systems and methods for chromatic aberration mitigation

Номер патента: WO2021122862A1. Автор: Yan Ren. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2021-06-24.

Charged Particle Beam System and Method of Aberration Correction

Номер патента: US20170365442A1. Автор: Shigeyuki Morishita. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2017-12-21.

Particle beam system comprising a multi-beam deflection device and a beam stop, method for operating the particle beam system and associated computer program product

Номер патента: EP4066270A1. Автор: Ingo Müller,Dieter Schumacher,Dirk Zeidler,Wilhelm Bolsinger,Stefan Schubert,Arne Thoma,Erik Essers,Jörg Jacobi. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2022-10-05.

Molecular beam etching system and method

Номер патента: WO1988007261A1. Автор: Harry P. Gillis. Владелец: Hughes Aircraft Company. Дата публикации: 1988-09-22.

Charged particle beam system and method of aberration correction

Номер патента: US09892886B2. Автор: Shigeyuki Morishita. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2018-02-13.

Chicane blanker assemblies for charged particle beam systems and methods of using the same

Номер патента: US09767984B2. Автор: N. William Parker,Charles Otis,Kevin Kagarice. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2017-09-19.

Charged particle beam device and method for inspecting and/or imaging a sample

Номер патента: EP4154291A1. Автор: Dieter Winkler,Bernd Wöllert,Birgit Schabinger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-03-29.

Charged particle beam device and method for inspecting and/or imaging a sample

Номер патента: WO2021233584A1. Автор: Dieter Winkler,Bernd Wöllert,Birgit Schabinger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2021-11-25.

Charged particle beam apparatus, charged particle beam irradiation method, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20040211925A1. Автор: Hideaki Abe. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-10-28.

Multi-beam lens device, charged particle beam device, and method of operating a multi-beam lens device

Номер патента: US09984848B2. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2018-05-29.

Charged particle beam device and method for inspecting and/or imaging a sample

Номер патента: US09601303B2. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-03-21.

Multi-beam particle microscope and method for operating same

Номер патента: US09536702B2. Автор: Uwe Lang,Christof Riedesel,Nico Kaemmer,Christian Crueger. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2017-01-03.

Charged Particle Beam Device and Control Method of Optical System of Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20200343072A1. Автор: Yuko Shimizu,Kazuya Yamazaki,Hirofumi Iijima,Tomohiro NAKAMICHI,Naoki Hosogi,Takuma FUKUMURA. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2020-10-29.

Particle beam assisted fused deposition modeling

Номер патента: WO2023164006A1. Автор: Aaron Sauers. Владелец: Fermi Research Alliance, LLC. Дата публикации: 2023-08-31.

Charged particle beam device, system for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device

Номер патента: US09666406B1. Автор: Stefan Lanio,Matthias FIRNKES,Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-05-30.

Method for analyzing and/or processing an object as well as a particle beam device for carrying out the method

Номер патента: US09558911B2. Автор: Lorenz Lechner,Josef Biberger,Ralph Pulwey,Michal Postolski,Marcin Janaszewski. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2017-01-31.

Charged particle beam device and aberration correction method for charged particle beam device

Номер патента: US20190214222A1. Автор: Hideyuki Kazumi,Takeyoshi Ohashi,Zhaohui Cheng,Kotoko Urano. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-07-11.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: US20240242921A1. Автор: Mans Johan Bertil OSTERBERG,Koen SCHUURBIERS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-07-18.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: US20240128043A1. Автор: Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Tom Van Zutphen,Jurgen VAN SOEST,Roy Ramon VEENSTRA. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-04-18.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: EP4409617A1. Автор: Mans Johan Bertil OSTERBERG,Koen SCHUURBIERS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-08-07.

Charged particle beam system

Номер патента: US20200411274A1. Автор: Ingo Mueller,Dirk Zeidler,Stefan Schubert,Christof Riedesel,Joerg Jacobi,Antonio Casares,Mario Muetzel. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2020-12-31.

Particle beam system and method for operating the same

Номер патента: US20140217303A1. Автор: Volker Wieczorek,Josef Biberger,Ralph Pulwey. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2014-08-07.

System and method for fast discharging of an inspected object

Номер патента: US20130026362A1. Автор: Efim Kerner,Tuvia Biber. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2013-01-31.

Particle beam system and the use thereof for flexibly setting the current intensity of individual particle beams

Номер патента: US12119204B2. Автор: Dirk Zeidler,Hans Fritz,Georgo Metalidis,Stefan Schubert,Ralf Lenke. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-10-15.

Particle beam apparatus and method for operating a particle beam apparatus

Номер патента: US09947504B2. Автор: Dirk Preikszas,Michel Aliman,Michael Schnell,Edgar Fichter,Christian Hendrich,Momme MOMMSEN,Klaus Hegele,Kai Schubert. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2018-04-17.

Particle beam microscope and method for operating a particle beam microscope

Номер патента: US09859092B2. Автор: Dirk Preikszas. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2018-01-02.

Charged particle lithography system and beam generator

Номер патента: US09653261B2. Автор: Alexander Hendrik Vincent van Veen,Willem Henk URBANUS. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2017-05-16.

High resolution charged particle beam device and method of operating the same

Номер патента: US09595417B2. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-03-14.

System and method for scanning an object

Номер патента: US09490101B2. Автор: Yuval Gronau,Ishai Schwarzband,Benzion Sender,Dror Shemesh,Ofir Greenberg,Ran Schleyen. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2016-11-08.

System and method for high throughput defect inspection in a charged particle system

Номер патента: EP4118675A1. Автор: Long Ma,Zhonghua Dong,Te-Yu Chen. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-01-18.

Extraction system and particle accelerator having a foil holder

Номер патента: US20160050742A1. Автор: Tomas Eriksson,Jonas Ove Norling,Oskar Svedberg,Peter Askebro. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2016-02-18.

Extraction system and particle accelerator having a foil holder

Номер патента: US9723706B2. Автор: Tomas Eriksson,Jonas Ove Norling,Oskar Svedberg,Peter Askebro. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2017-08-01.

Charged particle beam device and charged particle beam device noise source determination method

Номер патента: US20190341225A1. Автор: Wen Li,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Takuma NISHIMOTO,Wataru Mori. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-11-07.

Charged particle optics, charged particle beam apparatus, and method for scanning a charged particle beam

Номер патента: US20240290571A1. Автор: Pieter Kruit,Benjamin Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2024-08-29.

Charged particle beam column and method of operating same

Номер патента: US8558190B2. Автор: Dirk Preikszas. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2013-10-15.

Charged particle beam column and method of operating same

Номер патента: US20100327179A1. Автор: Dirk Preikszas. Владелец: Carl Zeiss NTS GmbH. Дата публикации: 2010-12-30.

Charged particle beam apparatus and sample image acquiring method

Номер патента: US09741526B2. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Masako Nishimura. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-08-22.

Extraction system and particle accelerator having a foil holder

Номер патента: US09723706B2. Автор: Tomas Eriksson,Jonas Ove Norling,Oskar Svedberg,Peter Askebro. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2017-08-01.

Housing device for magnetic shielding, housing arrangement for magnetic shielding, charged particle beam device, and method of manufacturing a housing device

Номер патента: US09673017B1. Автор: Pavel Adamec. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-06-06.

Beam separator device, charged particle beam device and methods of operating thereof

Номер патента: US09472373B1. Автор: Jürgen Frosien,Stefan Lanio,Matthias FIRNKES,John Breuer,Johannes Hopster. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2016-10-18.

Charged particle beam writing apparatus, and method for detecting irregularities in dose of charged particle beam

Номер патента: US20150325407A1. Автор: Hideo Inoue,Hironori Mizoguchi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-11-12.

Device And Method For Fast Beam Current Modulation In A Particle Accelerator

Номер патента: US20100295485A1. Автор: Michel Abs. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2010-11-25.

Device and method for fast beam current modulation in a particle accelerator

Номер патента: EP2213147A1. Автор: Michel Abs. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2010-08-04.

Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements

Номер патента: US09653254B2. Автор: Anger Pascal,Dirk Zeidler,Christof Riedesel,Thomas Kemen,Antonio Casares. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2017-05-16.

Charged Particle Beam Device and Method for Setting Condition in Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20200126754A1. Автор: Shigeru Kawamata,Hirofumi Sato,Yuki Numata. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2020-04-23.

Device and method for calibrating a charged-particle beam

Номер патента: EP4428896A1. Автор: Elmar Platzgummer. Владелец: IMS Nanofabrication GmbH. Дата публикации: 2024-09-11.

Device and Method for Calibrating a Charged-Particle Beam

Номер патента: US20240304407A1. Автор: Elmar Platzgummer. Владелец: IMS Nanofabrication GmbH. Дата публикации: 2024-09-12.

Systems and methods of cleaning electron sources in charged-particle beam systems

Номер патента: EP4453989A1. Автор: Xuedong Liu,Zhidong DU. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-30.

Device and method for generating charged particle beam pulses

Номер патента: US20190096630A1. Автор: Pieter Kruit,Izaak Gerrit Cornelis WEPPELMAN. Владелец: Technische Universiteit Delft. Дата публикации: 2019-03-28.

Device and method for generating charged particle beam pulses

Номер патента: WO2016076718A2. Автор: Pieter Kruit,Izaak Gerrit Cornelis WEPPELMAN. Владелец: Technische Universiteit Delft. Дата публикации: 2016-05-19.

Charged-particle beam exposure apparatus and method of manufacturing article

Номер патента: US20120126136A1. Автор: Hirohito Ito. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-05-24.

Apparatus and method for manufacturing a light-emitting device using a neutral particle beam

Номер патента: US20140017827A1. Автор: Suk Jae Yoo,Seong Bong Kim. Владелец: Korea Basic Science Institute KBSI. Дата публикации: 2014-01-16.

Drawing apparatus, and method of manufacturing article

Номер патента: US09455124B2. Автор: Yoshihiro Hirata,Masato Muraki. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2016-09-27.

Electrostatic multipole device, electrostatic multipole arrangement, charged particle beam device, and method of operating an electrostatic multipole device

Номер патента: US09620328B1. Автор: Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-04-11.

Charged particle beam device

Номер патента: US11817289B2. Автор: Ryuji Yoshida,Tsunenori Nomaguchi,Shunichi Motomura,Takeharu Kato,Tadahiro KAWASAKI. Владелец: Japan Fine Ceramics Center. Дата публикации: 2023-11-14.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210118641A1. Автор: Ryuji Yoshida,Tsunenori Nomaguchi,Shunichi Motomura,Takeharu Kato,Tadahiro KAWASAKI. Владелец: Japan Fine Ceramics Center. Дата публикации: 2021-04-22.

Apparatus and method for inspecting a surface of a sample

Номер патента: EP2864997A1. Автор: Pieter Kruit,Yan Ren,Ali Mohammadi Gheidari. Владелец: Technische Universiteit Delft. Дата публикации: 2015-04-29.

Electrostatic multipole device, electrostatic multipole arrangement, and method of manufacturing an electrostatic multipole device

Номер патента: US09754759B2. Автор: Dieter Winkler,Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-09-05.

Apparatus and method for inspecting a surface of a sample

Номер патента: US09697985B2. Автор: Pieter Kruit,Yan Ren,Ali Mohammadi-Gheidari. Владелец: Technische Universiteit Delft. Дата публикации: 2017-07-04.

Environmental cell for charged particle beam system

Номер патента: US09679741B2. Автор: William Parker,Marcus Straw,Mark Emerson,Libor Novak,Milos Toth,Marek Uncovský,Martin Cafourek. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2017-06-13.

Electron beam microscope with improved imaging gas and method of use

Номер патента: US09633816B2. Автор: John Scott,Milos Toth,Toby Shanley. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2017-04-25.

Multi-beam particle beam system

Номер патента: US20240234080A9. Автор: Thomas Schmid,Dirk Zeidler. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-07-11.

Charged-particle beam device for diffraction analysis

Номер патента: WO2023017107A1. Автор: Harald Niebel,Günther STEINFELD,Tomi Tuohimaa,Christiaan Van Den Berg,Alexander Van Veen. Владелец: Eldico Scientific AG. Дата публикации: 2023-02-16.

Charged particle beam device

Номер патента: US8212224B2. Автор: Hiroyuki Kobayashi,Akiko Fujisawa,Eiko Nakazawa. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2012-07-03.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: EP4250331A1. Автор: Marco Jan-Jaco Wieland. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-09-27.

Charged particle beam application device

Номер патента: US20150364290A1. Автор: Akira Ikegami,Naomasa Suzuki,Hideyuki Kazumi,Momoyo Enyama,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-12-17.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20090302233A1. Автор: TAKASHI Ogawa. Владелец: SII NanoTechnology Inc. Дата публикации: 2009-12-10.

Charged-particle beam device for diffraction analysis

Номер патента: US20240355577A1. Автор: Harald Niebel,Günther STEINFELD,Tomi Tuohimaa,Christiaan Van Den Berg,Alexander Van Veen. Владелец: Eldico Scientific AG. Дата публикации: 2024-10-24.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09852876B2. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto,Hideo Inoue,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-12-26.

Charged particle beam writing apparatus and method utilizing a sum of the weighted area density of each figure pattern

Номер патента: US09837247B2. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-12-05.

Charged particle beam writing apparatus, method of adjusting beam incident angle to target object surface, and charged particle beam writing method

Номер патента: US09824849B2. Автор: Takahito Nakayama,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-11-21.

Charged particle beam substrate inspection using both vector and raster scanning

Номер патента: US09620332B1. Автор: Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam,Cong Tran,Enden David Liu. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2017-04-11.

Charged particle beam substrate inspection using both vector and raster scanning

Номер патента: US09466463B1. Автор: Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam,Cong Tran,Enden David Liu. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2016-10-11.

Method of determining an energy spectrum or energy width of a charged particle beam, and charged particle beam imaging device

Номер патента: US20240371600A1. Автор: John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2024-11-07.

Charged particle beam targets

Номер патента: WO2014091195A1. Автор: Ivan KONOPLEV. Владелец: ISIS INNOVATION LIMITED. Дата публикации: 2014-06-19.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20220238296A1. Автор: Tsunenori Nomaguchi,Shunichi Motomura. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-07-28.

Charged particle beam lithography apparatus and charged particle beam pattern writing method

Номер патента: US20200266033A1. Автор: Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-08-20.

Systems and methods for signal electron detection in an inspection apparatus

Номер патента: US20230298851A1. Автор: Bruno La Fontaine,Chien-Hung Chen,Long Ma,Datong ZHANG,Chih-Yu Jen. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-09-21.

Device and method for generating a stable high voltage

Номер патента: US20100296320A1. Автор: Jörg Fober. Владелец: Carl Zeiss NTS GmbH. Дата публикации: 2010-11-25.

Method for designing a multi-beam particle beam system having monolithic path trajectory correction plates, computer program product and multi-beam particle beam system

Номер патента: WO2024156468A1. Автор: Thomas Schmid,Dirk Zeidler,Sandra Vogel. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-08-02.

Particle beam accelerator

Номер патента: US20060250097A1. Автор: Yuichi Yamamoto,Takahisa Nagayama,Nobuhiko Ina. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2006-11-09.

Method for structuring an object and associated particle beam system

Номер патента: US09960012B2. Автор: Roland Salzer,Josef Biberger. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2018-05-01.

Charged particle beam application device

Номер патента: US09704687B2. Автор: Akira Ikegami,Naomasa Suzuki,Hideyuki Kazumi,Momoyo Enyama,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-07-11.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20200343073A1. Автор: HIROFUMI Morita,Mitsuhiro Okazawa. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-10-29.

Apparatus and methods for reducing Coulombic blur in charged-particle-beam microlithography

Номер патента: US6545282B2. Автор: Hiroyasu Simizu. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-04-08.

A computer-aided defect correction method of a charged particle beam device, defect correction device of a charged particle beam device and a computer program

Номер патента: WO2024146664A1. Автор: Stanislav Petras,Jan SOPOUSEK. Владелец: Tescan Group, A.S.. Дата публикации: 2024-07-11.

Charged-particle-beam microlithography apparatus and methods including optical corrections made during subfield exposures

Номер патента: US20010052579A1. Автор: Kazuaki Suzuki,Teruaki Okino,Noriyuki Hirayanagi,Shintaro Kawata. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2001-12-20.

Charged particle beam apparatus and sample observation method

Номер патента: US11393658B2. Автор: Kenji Aoki,Kunji Shigeto,Yuki Tani. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-07-19.

Charged particle beam extraction method using pulse voltage

Номер патента: US20120200237A1. Автор: Satoru Yamada,Kota Torikai. Владелец: Gunma University NUC. Дата публикации: 2012-08-09.

Particle beam cooling device

Номер патента: US20110074287A1. Автор: Thomas J. Roberts. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-03-31.

Charged particle beam source, surface processing apparatus and surface processing method

Номер патента: US12125664B2. Автор: David Pearson,Joao Ferreira,Sebastien POCHON. Владелец: OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LTD. Дата публикации: 2024-10-22.

Charged particle beam device and detection method using said device

Номер патента: US09799483B2. Автор: Hajime Kawano,Yasunari Sohda,Tomoyasu Shojo. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-10-24.

Charged particle-beam device

Номер патента: US09653256B2. Автор: Akira Ikegami,Akio Takaoka,Yoichi Ose,Naomasa Suzuki,Hideyuki Kazumi,Ryuji Nishi,Momoyo Enyama,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-05-16.

Method for detecting signal charged particles in a charged particle beam device, and charged particle beam device

Номер патента: US09589763B1. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-03-07.

Exposure method using control of settling times and methods of manufacturing integrated circuit devices by using the same

Номер патента: US09583305B2. Автор: SHUICHI TAMAMUSHI,Sang-Hee Lee,Jin Choi,Yong-seok JUNG,In-kyun Shin,In-Hwan NOH. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2017-02-28.

Particle beam system

Номер патента: US09552957B2. Автор: Dirk Zeidler,Christof Riedesel,Thomas Kemen,Ralf Lenke. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2017-01-24.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09472372B2. Автор: Taku Yamada,Kenji Ohtoshi,Kaoru TSURUTA,Yasuyuki Taneda. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-10-18.

Charged particle beam apparatus and image acquiring method

Номер патента: EP4099359A1. Автор: Takeshi Otsuka. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2022-12-07.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US20160284513A1. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-09-29.

Composite Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20150221468A1. Автор: Toshihide Agemura,Tsunenori Nomaguchi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-08-06.

Method of influencing a charged particle beam, multipole device, and charged particle beam apparatus

Номер патента: WO2022184387A3. Автор: Dieter Winkler,Benjamin John Cook,Bernd Wöllert. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2022-12-01.

Charged particle beam device and inspection method

Номер патента: US12057288B2. Автор: Makoto Sakakibara,Hajime Kawano,Momoyo Enyama. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-08-06.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US11749497B2. Автор: Makoto Suzuki,Shunsuke Mizutani,Shahedul Hoque,Uki Ikeda. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-05.

Charged particle beam reflector device and electron microscope

Номер патента: EP2048690A3. Автор: Hirotami Koike,Shinichi Okada. Владелец: Topcon Corp. Дата публикации: 2010-12-15.

Charged particle beam writing method, computer-readable recording medium, and charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20140166869A1. Автор: Osamu Iizuka,Hideyuki Tsurumaki,Sumito NAKADA,Hikaru YAMAMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2014-06-19.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20070246651A1. Автор: Masahiro Inoue,Akira Higuchi,Masahiro Yamamoto,Hirotami Koike,Shinichi Okada,Sumio Sasaki. Владелец: Topcon Corp. Дата публикации: 2007-10-25.

Charged-particle beam microscopy

Номер патента: US09997331B1. Автор: Christopher Su-Yan OWN,Matthew Francis Murfitt. Владелец: Mochii Inc. Дата публикации: 2018-06-12.

Method and apparatus for generation of a uniform-profile particle beam

Номер патента: US09953798B2. Автор: Brian Patrick Wilfley,Josh Star-Lack,Thomas A CASE. Владелец: Novaray Medical Inc. Дата публикации: 2018-04-24.

Charged-particle-beam device, specimen-image acquisition method, and program recording medium

Номер патента: US09741530B2. Автор: Kenji Nakahira,Maki Tanaka,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-08-22.

Multi charged particle beam writing method and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09570267B2. Автор: Hiroshi Matsumoto,Hideo Inoue,Tomohiro Iijima,Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-02-14.

Blanking device for multi charged particle beams, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09543120B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-10.

Charged particle beam apparatus and image generation method

Номер патента: US09478392B2. Автор: Wen Li,Makoto Suzuki,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Ryo Kadoi,Kazuki Ikeda,Hisaaki Kanai. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Charged particle beam apparatus and image acquiring method

Номер патента: US12148594B2. Автор: Takeshi Otsuka. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2024-11-19.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20150221473A1. Автор: Makoto Sato,Tatsuya Asahata,Shota Torikawa,Atsushi Uemoto. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2015-08-06.

Non-invasive charged particle beam monitor

Номер патента: EP3047502A1. Автор: Tomas Plettner,John Gerling. Владелец: KLA Tencor Corp. Дата публикации: 2016-07-27.

Charged-Particle Beam Device

Номер патента: US20190393014A1. Автор: Akira Ikegami,Yasushi Ebizuka,Yuta Kawamoto,Naoma Ban. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-12-26.

Operating a particle beam apparatus

Номер патента: US20240274397A1. Автор: Sebastian SCHAEDLER. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-08-15.

Charged particle beam writing apparatus and method for diagnosing DAC amplifier unit in charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US8290743B2. Автор: Seiichi Tsuchiya,Akinori Mine. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2012-10-16.

A beam manipulator in charged particle-beam apparatus

Номер патента: CA3242123A1. Автор: Vincent Claude BEUGIN,German AKSENOV,Pieter Lucas Brandt. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-07-06.

Particle beam processing apparatus

Номер патента: WO2001035438A9. Автор: Imtiaz Rangwalla,Harvey Clough,George Hannafin. Владелец: Energy Sciences Inc. Дата публикации: 2002-04-11.

Particle beam processing apparatus

Номер патента: EP1232515A1. Автор: Imtiaz Rangwalla,Harvey Clough,George Hannafin. Владелец: Energy Sciences Inc. Дата публикации: 2002-08-21.

Beam manipulator in charged particle-beam apparatus

Номер патента: US20240355575A1. Автор: Vincent Claude BEUGIN,German AKSENOV,Pieter Lucas Brandt. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-24.

Charged particle assessment system and method

Номер патента: US20240331971A1. Автор: Jurgen VAN SOEST,Vincent Sylvester KUIPER,Yinglong LI. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-03.

A beam manipulator in charged particle-beam apparatus

Номер патента: EP4457851A1. Автор: Vincent Claude BEUGIN,German AKSENOV,Pieter Lucas Brandt. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-11-06.

Charged Particle Beam System

Номер патента: US20240371601A1. Автор: Yusuke Nakamura,Kenji Tanimoto,Takeyoshi Ohashi,Yusuke Abe. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-11-07.

Charged particle beam device

Номер патента: US09997326B2. Автор: Akira Ikegami,Hideyuki Kazumi,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-06-12.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US09941095B2. Автор: Akira Ikegami,Yuko Sasaki,Ryota Watanabe. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-04-10.

Charged particle beam device

Номер патента: US09786468B2. Автор: Hideyuki Kazumi,Toshiyuki Yokosuka,Chahn Lee. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-10-10.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US09741535B2. Автор: Makoto Sato,Tatsuya Asahata,Shota Torikawa,Atsushi Uemoto. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-08-22.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09691585B2. Автор: Hiroshi Matsumoto,Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-06-27.

Electrostatic multipole device, electrostatic multipole arrangement, charged particle beam device, and method of manufacturing an electrostatic multipole device

Номер патента: US09620329B1. Автор: Dieter Winkler,Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-04-11.

Multiple charged particle beam lithography apparatus and multiple charged particle beam pattern writing method

Номер патента: US09601315B2. Автор: Yasuo Kato,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-03-21.

Charged-particle beam device for irradiating a charged particle beam on a sample

Номер патента: US09543113B2. Автор: Masashi Fujita,Seiichiro Kanno,Naoya Ishigaki,Yasushi Ebizuka. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-01-10.

System and method for calibrating charge-regulating module

Номер патента: US09536697B2. Автор: Jian Zhang,YAN Zhao,yi-xiang Wang. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2017-01-03.

Charged particle beam device and sample observation method

Номер патента: US09418818B2. Автор: Yusuke Ominami,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-08-16.

Particle beam system and method for the particle-optical examination of an object

Номер патента: US10535494B2. Автор: Dirk Zeidler,Stefan Schubert. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2020-01-14.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20200365368A1. Автор: Keisuke Goto,Kiyoshi Nakaso. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-11-19.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20240242922A1. Автор: HIROFUMI Morita,Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Non-invasive charged particle beam monitor

Номер патента: WO2015042051A1. Автор: Tomas Plettner,John Gerling. Владелец: KLA-TENCOR CORPORATION. Дата публикации: 2015-03-26.

Charged particle optical system and charged particle apparatus

Номер патента: EP4333017A1. Автор: Motofusa Ishikawa,Tomoya Uchida,Yuta Komatsu,Baku Ogasawara,Takakuni Goto,Shunta KUSU. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2024-03-06.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20190362938A1. Автор: Chikako ABE,Hitoshi SUGAHARA. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-11-28.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20200035450A1. Автор: Makoto Suzuki,Minoru Yamazaki,Shunsuke Mizutani,Yuuji Kasai. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2020-01-30.

Charged particle beam device and power supply device

Номер патента: US20220068595A1. Автор: Wen Li,Makoto Suzuki,Hiroyuki Takahashi,Yuzuru MIZUHARA. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-03-03.

Charged particle beam system

Номер патента: US12068128B2. Автор: Yusuke Nakamura,Kenji Tanimoto,Takeyoshi Ohashi,Yusuke Abe. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-08-20.

Charged particle optical system and charged particle apparatus

Номер патента: US20240212969A1. Автор: Motofusa Ishikawa,Tomoya Uchida,Yuta Komatsu,Baku Ogasawara,Takakuni Goto,Shunta KUSU. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Charged particle beam writing apparatus and method for diagnosing dac amplifier unit in charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20100030522A1. Автор: Seiichi Tsuchiya,Akinori Mine. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2010-02-04.

Method for operating a multiple particle beam system while altering the numerical aperture, associated computer program product and multiple particle beam system

Номер патента: US20240347316A1. Автор: Ingo Mueller,Hans Fritz. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-10-17.

Method for operating a multiple particle beam system while altering the numerical aperture, associated computer program product and multiple particle beam system

Номер патента: US12057290B2. Автор: Ingo Mueller,Hans Fritz. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-08-06.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US09620333B2. Автор: Makoto Sato,Satoshi Tomimatsu,Tatsuya Asahata,Yo Yamamoto,Atsushi Uemoto. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-04-11.

Charged particle beam writing apparatus, charged particle beam writing method, and shot correction method of charged particle beam writing method

Номер патента: US09583310B2. Автор: Tomoo Motosugi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-02-28.

Charged particle beam device

Номер патента: US09543111B2. Автор: Yusuke Ominami,Masami Katsuyama,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-01-10.

Method for correcting drift of charged particle beam, and charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09536705B2. Автор: Osamu Iizuka. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-03.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US09336987B2. Автор: Makoto Sato,Tatsuya Asahata,Shota Torikawa,Atsushi Uemoto. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2016-05-10.

Charged-particle beam apparatus with fast focus correction and methods thereof

Номер патента: WO2023237277A1. Автор: Weiming Ren,Xiaoyu JI,Wei-Yu Chang. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-12-14.

Charged-particle beam apparatus with beam-tilt and methods thereof

Номер патента: US20240021404A1. Автор: Hermanus Adrianus Dillen,Xuedong Liu,Weiming Ren,Xiaoyu JI,Shahedul Hoque. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-01-18.

Method for examining a sample by using a charged particle beam

Номер патента: US8937281B2. Автор: Wei Fang,YAN Zhao,Jack Jau. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2015-01-20.

Charged particle beam device and axis adjustment method thereof

Номер патента: US12027342B2. Автор: Yuta Imai,Masahiro Sasajima,Yoshihiro Takahoko. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-07-02.

Charged Particle Beam Apparatus and Image Forming Method

Номер патента: US20150221471A1. Автор: Zhigang Wang,Yusuke Abe,Michio Hatano. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-08-06.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US20180061614A1. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-03-01.

Method for treating a material with a particle beam and material thus treated

Номер патента: EP1649481A1. Автор: Imtiaz Rangwalla,Harvey Clough,George Hannafin. Владелец: Energy Sciences Inc. Дата публикации: 2006-04-26.

Charged particle beam device and axis adjustment method thereof

Номер патента: US11764028B2. Автор: Yuta Imai,Masahiro Sasajima,Yoshihiro Takahoko. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-19.

Charged particle beam device provided with ion pump

Номер патента: US20180158648A1. Автор: Fujio Onishi,Masazumi Tone,Hiroshi Touda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-06-07.

Charged particle beam device with dark field detector

Номер патента: EP2560185A3. Автор: Kaname Takahashi,Mine Nakagawa,Atsushi Muto,Mitsugu Sato,Akinari Morikawa,Yuusuke Tanba,Shunya Watanabe. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2013-09-04.

Method of preparing exposure data and method of preparing aperture mask data

Номер патента: US6756159B2. Автор: Ryoichi Inanami. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2004-06-29.

Compact Charged Particle Beam Plasma Multi-Frequency Antenna

Номер патента: US20240275029A1. Автор: Eric N. Enig,Yil-Bong KIM. Владелец: Enig Associates Inc. Дата публикации: 2024-08-15.

Particle beam surface analyzer

Номер патента: GB9013216D0. Автор: . Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1990-08-01.

Particle beam surface analyzer

Номер патента: GB2235087B. Автор: Minoru Shimizu,Tadashi Otaka,Eiichi Hazaki. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1994-04-13.

Interface apparatus for a particle beam instrument

Номер патента: WO2024153924A3. Автор: Santokh Bhadare,Chris TYRRELL,Paul EVETTS. Владелец: Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited. Дата публикации: 2024-08-29.

Charged particle beam device, image generation method, observation system

Номер патента: US09824854B2. Автор: Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Sukehiro Ito,Junichi Katane. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Low temperature superconductor and aligned high temperature superconductor magnetic dipole system and method for producing high magnetic fields

Номер патента: US09793036B2. Автор: Ramesh Gupta,Robert Palmer,Arup K. Ghosh,Ronald Scanlan,Robert J. Weggel,Michael D. Anerella,Jesse Schmalzle. Владелец: Particle Beam Lasers Inc. Дата публикации: 2017-10-17.

Charged particle beam device

Номер патента: US09697987B2. Автор: Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Hideyuki Kazumi,Toshiyuki Yokosuka,Kumiko Shimizu,Shahedul Hoque,Chahn Lee. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-07-04.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09673018B2. Автор: Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-06-06.

Charged particle beam device

Номер патента: US09627171B2. Автор: Hiroshi Makino,Minoru Yamazaki,Hideyuki Kazumi,Yuzuru MIZUHARA,Miki Isawa. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-04-18.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US09502212B2. Автор: Hitoshi Tamura,Minoru Yamazaki,Hideyuki Kazumi,Yuzuru MIZUHARA,Miki Isawa. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-11-22.

Charged particle beam system and method of operating thereof

Номер патента: US9305740B2. Автор: Jürgen Frosien,Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2016-04-05.

Systems and methods for charged particle flooding to enhance voltage contrast defect signal

Номер патента: US20210142979A1. Автор: Zhongwei Chen,Yixiang Wang,Frank Nan Zhang,Ying Crystal SHEN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2021-05-13.

Multiple charged-particle beam apparatus with low crosstalk

Номер патента: EP3977499A1. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Qingpo Xi. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2022-04-06.

Systems and methods for charged particle flooding to enhance voltage contrast defect signal

Номер патента: US11929232B2. Автор: Zhongwei Chen,Yixiang Wang,Frank Nan Zhang,Ying Crystal SHEN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-03-12.

Charged particle beam device and method for inspecting and/or imaging a sample

Номер патента: WO2021233583A1. Автор: Dieter Winkler,Bernd Wöllert,Birgit Schabinger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2021-11-25.

Systems and methods of energy discrimination of backscattered charged-particles

Номер патента: WO2024115029A1. Автор: Weiming Ren,Xiaoyu JI. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-06-06.

Charged particle beam device and method for inspecting and/or imaging a sample

Номер патента: EP4154290A1. Автор: Dieter Winkler,Bernd Wöllert,Birgit Schabinger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-03-29.

System and method for resolution improvement of charged particles microscopy

Номер патента: US20240186102A1. Автор: Raphael Dahan,Ido KAMINER,Tal Fishman,Michael YANNAI. Владелец: Technion Research and Development Foundation Ltd. Дата публикации: 2024-06-06.

Systems, devices, and methods for initiating beam transport in a beam system

Номер патента: US12010788B2. Автор: Vladislav VEKSELMAN,Alexander Dunaevsky,Suu Duong,Igor Nikolaevich Sorokin. Владелец: TAE Technologies Inc. Дата публикации: 2024-06-11.

Multiple charged-particle beam apparatus with low crosstalk

Номер патента: US12033830B2. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Qingpo Xi. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-07-09.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20150228450A1. Автор: Hidekazu Suzuki,Tatsuya Asahata,Yo Yamamoto,Atsushi Uemoto. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2015-08-13.

Method for examining a sample by using a charged particle beam

Номер патента: US20120273678A1. Автор: Wei Fang,YAN Zhao,Jack Jau. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2012-11-01.

System and method for high power pulse generation

Номер патента: EP3578015A1. Автор: Christopher Yeckel,Richard CASSEL. Владелец: Stangenes Industries Inc. Дата публикации: 2019-12-11.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US20190122857A1. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-04-25.

Charged Particle Beam Drawing Apparatus and Control Method for Charged Particle Beam Drawing Apparatus

Номер патента: US20230075825A1. Автор: Yukinori Aida. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-03-09.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US20150303029A1. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-10-22.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US9190246B2. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-11-17.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20190362931A1. Автор: Makoto Suzuki,Minoru Yamazaki,Yuko Sasaki,Wataru Mori,Ryota Watanabe,Kazunari Asao. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-11-28.

Improvements in and relating to charged particle beam devices

Номер патента: GB201017342D0. Автор: . Владелец: Carl Zeiss Microscopy Ltd. Дата публикации: 2010-11-24.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20240242920A1. Автор: HIROFUMI Morita. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Charged Particle Beam Device, Sample Stage Unit, and Sample Observation Method

Номер патента: US20150311033A1. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Mami Konomi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-10-29.

Interface apparatus for a particle beam instrument

Номер патента: WO2024153924A2. Автор: Santokh Bhadare,Chris TYRRELL,Paul EVETTS. Владелец: Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited. Дата публикации: 2024-07-25.

Charged particle beam device

Номер патента: US20040238752A1. Автор: Kaname Takahashi,Mine Nakagawa,Atsushi Muto,Mitsugu Sato,Akinari Morikawa,Yuusuke Tanba,Shunya Watanabe. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2004-12-02.

Charged particle beam device

Номер патента: US6963069B2. Автор: Kaname Takahashi,Mine Nakagawa,Atsushi Muto,Mitsugu Sato,Akinari Morikawa,Yuusuke Tanba,Shunya Watanabe. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2005-11-08.

Ion beam etching apparatus and method

Номер патента: US12087558B2. Автор: Po-Chin Chang,Pinyen Lin,Li-Te Lin,Jung-Hao CHANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-09-10.

Sample holder and charged particle beam system

Номер патента: US12112917B2. Автор: Shuichi YUASA. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2024-10-08.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09715993B2. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-07-25.

Method for analyzing an object and charged particle beam device for carrying out the method

Номер патента: US09620331B1. Автор: Edward Hill,Sreenivas Bhattiprolu. Владелец: Carl Zeiss Microscopy Ltd. Дата публикации: 2017-04-11.

Charged particle beam writing apparatus, and charged particle beam writing method

Номер патента: US09484185B2. Автор: Yasuo Kato,Noriaki Nakayamada,Mizuna Suganuma. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-11-01.

Charged particle beam device, sample stage unit, and sample observation method

Номер патента: US09472375B2. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Mami Konomi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-10-18.

Method of adjusting a stigmator in a particle beam apparatus and a Particle beam system

Номер патента: US09455115B2. Автор: Simon Diemer. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2016-09-27.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09437396B2. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-09-06.

Multi-beam system and multi-beam forming unit with reduced sensitivity to secondary radiation

Номер патента: WO2023247067A1. Автор: Georg Kurij,Christian Veit,Marcus Kaestner. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2023-12-28.

Multi-beam system and multi-beam forming unit with reduced sensitivity to secondary radiation

Номер патента: NL2035149A. Автор: VEIT Christian,Kurij Georg,Kaestner Marcus. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-01-08.

Charged particle beam device

Номер патента: WO2004086452A2. Автор: Juergen Frosien. Владелец: Ict, Integrated Circuit Testing Gesellschaft Für Halbleiterprüftechnik Mbh. Дата публикации: 2004-10-07.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20230290606A1. Автор: Yusuke Nakamura,Shunsuke Mizutani,Muneyuki Fukuda,Yusuke Abe. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-14.

Charged particle beam source and charged particle beam system

Номер патента: EP4254465A1. Автор: Keiichi Yamamoto,Yasuyuki Okano,Norikazu Arima,Tomohisa Fukuda,Kyouichi KAMINO. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-10-04.

Charged Particle Beam Source and Charged Particle Beam System

Номер патента: US20230317400A1. Автор: Keiichi Yamamoto,Yasuyuki Okano,Norikazu Arima,Tomohisa Fukuda,Kyouichi KAMINO. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20170271121A1. Автор: Wen Li,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Ryo Kadoi,Kazuki Ikeda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-09-21.

Techniques for controlling a charged particle beam

Номер патента: WO2009036267A2. Автор: Anthony Renau,Joseph C. Olson,Russell J. Low,Piotr R. Lubicki. Владелец: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.. Дата публикации: 2009-03-19.

Techniques for controlling a charged particle beam

Номер патента: WO2009036267A3. Автор: Anthony Renau,Joseph C Olson,Russell J Low,Piotr R Lubicki. Владелец: Piotr R Lubicki. Дата публикации: 2009-06-11.

Charged-particle-beam device

Номер патента: US09960006B2. Автор: Hajime Kawano,Yuko Sasaki,Yasunari Sohda,Noritsugu Takahashi,Wataru Mori. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-05-01.

Charged particle beam apparatus and image forming method of charged particle beam apparatus

Номер патента: US09859094B2. Автор: Wen Li,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Kazuki Ikeda,Takuma NISHIMOTO. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

Charged particle multi-beam apparatus including a manipulator device for manipulation of one or more charged particle beams

Номер патента: US09607806B2. Автор: Pieter Kruit,Aernout Christiaan Zonnevylle. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2017-03-28.

Ion Beam Etching Apparatus And Method

Номер патента: US20240379333A1. Автор: Po-Chin Chang,Pinyen Lin,Li-Te Lin,Jung-Hao CHANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-11-14.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: EP4156227A1. Автор: Mans Johan Bertil OSTERBERG,Koen SCHUURBIERS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-03-29.

Magnetic multipole device, charged particle beam apparatus, and method of influencing a charged particle beam propagating along an optical axis

Номер патента: US20240087837A1. Автор: Benjamin Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2024-03-14.

Multiple charged-particle beam apparatus and methods

Номер патента: US11854765B2. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Zhong-Wei Chen,Martinus Gerardus Johannes Maria MAASSEN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-12-26.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: EP4352773A1. Автор: Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Tom Van Zutphen,Jurgen VAN SOEST,Roy Ramon VEENSTRA. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-04-17.

Apparatus and method for directing charged particle beam towards a sample

Номер патента: US20230326706A1. Автор: Marco Jan-Jaco Wieland. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-10-12.

Multiple charged-particle beam apparatus and methods

Номер патента: US20240145214A1. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Zhong-Wei Chen,Martinus Gerardus Johannes Maria MAASSEN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-05-02.

Multiple charged-particle beam apparatus and methods

Номер патента: US20200381211A1. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Zhong-Wei Chen,Martinus Gerardus Johannes Maria MAASSEN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2020-12-03.

Charged Particle Beam Device and Method for Adjusting Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20160118218A1. Автор: Tsutomu Saito,Mitsugu Sato,Kunji Shigeto,Tohru Ando,Yoshihiro Takahoko,Kohtaro Hosoya. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-04-28.

Charged particle beam inspection apparatus and method

Номер патента: WO2024132808A1. Автор: Weiming Ren,Xiaoyu JI,Xuechen ZHU,Datong ZHANG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-06-27.

Method of operating a particle beam system and related system and computer program product

Номер патента: US20240047175A1. Автор: Andreas Schmaunz,Simon Diemer. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-02-08.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20150228443A1. Автор: Makoto Sakakibara,Kenichi Morita,Kenji Obara,Muneyuki Fukuda,Naomasa Suzuki,Sayaka Tanimoto. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-08-13.

Sample Base, Charged Particle Beam Device and Sample Observation Method

Номер патента: US20150318143A1. Автор: Yusuke Ominami,Takashi Ohshima,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-11-05.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210391143A1. Автор: Shuhei Yabu,Kazuki ISHIZAWA,Michio Hatano,Anoru SUGA. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-12-16.

Method and apparatus for charged particle beam inspection

Номер патента: US8497475B2. Автор: CHANG CHUN YEH,Shih-Tsuan CHANG. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2013-07-30.

Method for depositing a film using a charged particle beam, method for performing selective etching using the same, and charged particle beam equipment therefor

Номер патента: US20070252092A1. Автор: Hiroyasu Shichi,Muneyuki Fukuda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2007-11-01.

Energy Filter, and Energy Analyzer and Charged Particle Beam Device Provided with Same

Номер патента: US20230298845A1. Автор: Hiroyuki Ito,Takashi Doi,Kazuhiro Honda,Soichiro Matsunaga. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

Method and system for forming a pattern on a surface using multi-beam charged particle beam lithography

Номер патента: WO2015138362A1. Автор: Akira Fujimura. Владелец: D2S, INC.. Дата публикации: 2015-09-17.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: EP4250330A1. Автор: Tatsuya Uchida,Kenichi Tsutsumi,Nobuyuki Ikeo,Kazushiro Yokouchi,Konomi Ikita. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-09-27.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20230307206A1. Автор: Tatsuya Uchida,Kenichi Tsutsumi,Nobuyuki Ikeo,Kazushiro Yokouchi,Konomi Ikita. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-09-28.

Method of operation of a charged particle beam device

Номер патента: WO2022028633A1. Автор: FILIP Vojtech. Владелец: Tescan Brno. Дата публикации: 2022-02-10.

Aligning charged particle beams

Номер патента: WO2010039339A3. Автор: Raymond Hill. Владелец: Carl Zeiss Smt Inc.. Дата публикации: 2010-06-10.

Method and apparatus for charged particle beam inspection

Номер патента: US20120043462A1. Автор: CHANG CHUN YEH,Shih-Tsuan CHANG. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2012-02-23.

Charged-particle-beam projection-exposure method exhibiting aberration reduction through multiple deflector use

Номер патента: US6027841A. Автор: Shohei Suzuki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2000-02-22.

Beam deflection device, aberration corrector, monochromator, and charged particle beam device

Номер патента: US12062519B2. Автор: Pieter Kruit,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-08-13.

Charged particle beam device and charged particle beam device control method

Номер патента: US09881769B2. Автор: Tsutomu Saitou,Kenji Aoki,Mitsuhiro Nakamura,Kunji Shigeto,Kotaro Hosoya. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-01-30.

Charged particle beam drawing apparatus and charged particle beam drawing method

Номер патента: US09812284B2. Автор: Hideki Matsui. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-11-07.

Method for processing and/or for observing an object, and particle beam device for carrying out the method

Номер патента: US09685300B2. Автор: Roland Salzer,Josef Biberger,Ralph Pulwey,Katja Tsyrulin. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2017-06-20.

Charged particle beam generating apparatus, charged particle beam apparatus, high voltage generating apparatus, and high potential apparatus

Номер патента: US09548182B2. Автор: Takashi Onishi,Shunichi Watanabe,Minoru Kaneda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-01-17.

Sample base, charged particle beam device and sample observation method

Номер патента: US09508527B2. Автор: Yusuke Ominami,Takashi Ohshima,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-11-29.

Charged particle beam apparatus and trajectory correction method in charged particle beam apparatus

Номер патента: US09484181B2. Автор: Akira Ikegami,Hideyuki Kazumi,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-11-01.

Charged particle beam apparatus, specimen observation system and operation program

Номер патента: US09443694B2. Автор: Mitsugu Sato,Shotaro Tamayama,Masaki Takano,Mami Konomi,Shunya Watanabe,Masako Nishimura,Yayoi KONISHI. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-09-13.

Charged particle beam device

Номер патента: US12142457B2. Автор: Makoto Suzuki,Yuji Takagi,Takuma Yamamoto,Takahiro Nishihata,Mayuka Osaki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-11-12.

Method and device for directing neutral particles beam

Номер патента: RU2653581C2. Автор: Шон Р. КИРКПАТРИК,Сон ЧАУ. Владелец: Эксодженезис Корпорейшн. Дата публикации: 2018-05-15.

Charged particle assessment system and method

Номер патента: US20240071716A1. Автор: Marco Jan-Jaco Wieland. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-02-29.

Apparatus and method for controlling the beam current of a charged particle beam

Номер патента: WO2004088709A1. Автор: Josef Sellmair. Владелец: Ict, Integrated Circuit Testing Gesellschaft Für Halbleiterprüftechnik Mbh. Дата публикации: 2004-10-14.

Apparatus and method for controlling the beam current of a charged particle beam

Номер патента: US7345436B2. Автор: Josef Sellmair. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2008-03-18.

Particle beam couplingsystem and method

Номер патента: WO2012048166A3. Автор: Gary Guethlein. Владелец: Lawrence Livermore National Security, LLC. Дата публикации: 2012-07-05.

Beam blanker and method for blanking a charged particle beam

Номер патента: US20180151327A1. Автор: Christof Baur,Michael Budach. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-05-31.

Charged particle beam column and method of operating same

Номер патента: US20120025095A1. Автор: Dirk Preikszas. Владелец: Carl Zeiss NTS GmbH. Дата публикации: 2012-02-02.

Apparatus and method for irradiating a surface of a sample using charged particle beams

Номер патента: NL2016853B1. Автор: KRUIT Pieter,Wouter Hagen Cornelis,Scotuzzi Marijke. Владелец: Univ Delft Tech. Дата публикации: 2017-12-11.

Methods and devices for determining times for maintenance activity performed on a charged-particle-beam microlithography apparatus, and microelectronic-device-manufacturing methods comprising same

Номер патента: US6545274B1. Автор: Kenji Morita. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-04-08.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20240242933A1. Автор: HIROFUMI Morita,Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Stage devices including linear motors that produce reduced beam-perturbing stray magnetic fields, and charged-particle-beam microlithography systems comprising same

Номер патента: US20030111614A1. Автор: Keiichi Tanaka. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-06-19.

Particle beam microscope

Номер патента: US20240304412A1. Автор: Erik Essers. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-09-12.

Method for analyzing an object and a charged particle beam device for carrying out this method

Номер патента: US09905394B1. Автор: Lorenz Lechner,Sreenivas Bhattiprolu. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2018-02-27.

Charged particle beam device enabling facilitated EBSD detector analysis of desired position and control method thereof

Номер патента: US09741531B2. Автор: Tsutomu Saito,Kazuyuki Takeda,Tohru Ando. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-08-22.

Charged particle beam apparatus, image forming method using a charged particle beam apparatus, and image processing apparatus

Номер патента: US09633818B2. Автор: Wen Li,Makoto Suzuki,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Kazuki Ikeda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-04-25.

Signal charged particle deflection device, signal charged particle detection system, charged particle beam device and method of detection of a signal charged particle beam

Номер патента: US9805908B2. Автор: Stefan Lanio,Matthias FIRNKES. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-10-31.

Charged particle beam device, field curvature corrector, and methods of operating a charged particle beam device

Номер патента: WO2020078610A1. Автор: Benjamin John Cook,Thomas Kemen,Roman BARDAY. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2020-04-23.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: US20240145208A1. Автор: Erwin Slot,Bertil OSTERBERG Mans Johan. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-05-02.

Charged particle beam exposure method and method for producing charged particle beam exposure data

Номер патента: US20030160192A1. Автор: Atsushi Ando,Ryoichi Inanami,Shunko Magoshi. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2003-08-28.

Method for evaluating charged particle beam drawing apparatus

Номер патента: US9812289B2. Автор: Satoru Hirose,Takayuki Ohnishi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-11-07.

Method for evaluating charged particle beam drawing apparatus

Номер патента: US9514915B2. Автор: Satoru Hirose,Takayuki Ohnishi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-12-06.

Workpiece holder, semiconductor fabricating apparatus, semiconductor inspecting apparatus, circuit pattern inspecting apparatus, charged particle beam application apparatus, calibrating substrate, workpiece holding method, circuit pattern inspecting method, and charged particle beam application method

Номер патента: US20030146382A1. Автор: Hiroyuki Suzuki,YASUTSUGU Usami,Hiroyuki Shinada,Shuji Sugiyama,Atsuko Takafuji. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2003-08-07.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20230317399A1. Автор: Shunsuke Mizutani,Toshimasa Kameda,Tomoyo Sasaki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-10-05.

Method for evaluating charged particle beam drawing apparatus

Номер патента: US20160365223A1. Автор: Satoru Hirose,Takayuki Ohnishi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-12-15.

Charged Particle Detector and Charged Particle Beam Device Using the Same

Номер патента: US20180261425A1. Автор: Makoto Sakakibara,Yasuhiro Shirasaki,Momoyo Enyama,Kaori Shirahata. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2018-09-13.

Charged particle beam apparatus and aberration corrector

Номер патента: US20170162362A1. Автор: Takaho Yoshida. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-06-08.

Method for evaluating charged particle beam drawing apparatus

Номер патента: US20160233052A1. Автор: Satoru Hirose,Takayuki Ohnishi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-08-11.

Charged particle beam exposure method and charged particle beam exposure device

Номер патента: US20060019199A1. Автор: Yasushi Takahashi. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2006-01-26.

Charged particle beam exposure method and charged particle beam exposure device

Номер патента: US20090288060A1. Автор: Yasushi Takahashi. Владелец: Fujitsu Semiconductor Ltd. Дата публикации: 2009-11-19.

Charged particle beam exposure method and charged particle beam exposure device

Номер патента: US7582884B2. Автор: Yasushi Takahashi. Владелец: Fujitsu Semiconductor Ltd. Дата публикации: 2009-09-01.

Precision material modification using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US09824859B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Precision material modification using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US09822443B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Blanking system for multi charged particle beams, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09697981B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-07-04.

Precision deposition using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US09556521B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2017-01-31.

Charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US09478396B2. Автор: Akio Yamada,Shinichi Hamaguchi,Masaki Kurokawa,Shinji Sugatani. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Precision deposition using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US09453281B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2016-09-27.

Charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US09343265B2. Автор: Hisayuki Takasu,Asako Kaneko,Hirobumi Mutou. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-05-17.

Apparatus and method for removal of selected particles from a charged particle beam

Номер патента: GB2446005A. Автор: Superion Limited. Владелец: Individual. Дата публикации: 2008-07-30.

Charged particle device and method

Номер патента: US20240087835A1. Автор: Albertus Victor Gerardus MANGNUS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-03-14.

Charged Particle Beam System and Control Method Therefor

Номер патента: US20230343550A1. Автор: Takamitsu Saito. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-10-26.

Multi-beam particle beam system

Номер патента: US20240136146A1. Автор: Thomas Schmid,Dirk Zeidler. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-04-25.

Charged particle beam system and control method therefor

Номер патента: EP4167267A1. Автор: Takeshi Kaneko,Isamu Ishikawa,Eiji Okunishi. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-04-19.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210027977A1. Автор: Ryuji Yoshida,Tsunenori Nomaguchi,Shunichi Motomura,Takeharu Kato,Tadahiro KAWASAKI. Владелец: Japan Fine Ceramics Center. Дата публикации: 2021-01-28.

Method for adjusting charged particle beam device and adjusting beam aperture based on a selected emission condition and charged particle beam device for same

Номер патента: US10176968B2. Автор: Tsutomu Saito,Mitsugu Sato,Kunji Shigeto,Tohru Ando,Yoshihiro Takahoko,Kohtaro Hosoya. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-01-08.

Charged particle beam system and control method therefor

Номер патента: EP4266346A1. Автор: Takamitsu Saito. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-10-25.

Methods, systems and apparatus for accelerating large particle beam currents

Номер патента: US20170032930A1. Автор: Matthew Fox Fritz. Владелец: Iso Evolutions LLC. Дата публикации: 2017-02-02.

Device for imaging and processing a sample using a focused particle beam

Номер патента: US20240062989A1. Автор: Thomas Beck,Daniel Schwarz,Michael Schnell,Florian Neuberger,David Laemmle. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-02-22.

Charged particle beam column, charged particle beam chromatic aberration corrector, and method of correcting charged particle beam chromatic aberration

Номер патента: US20240222063A1. Автор: Pieter Kruit,John Breuer. Владелец: Ict Integrated Circuit Testing Gesellschaft Fuer Halbleiterpueftechnik Mbh. Дата публикации: 2024-07-04.

Particle beam microscope

Номер патента: US20240304409A1. Автор: Erik Essers. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-09-12.

On-Axis Detector for Charged Particle Beam System

Номер патента: US20140001357A1. Автор: N. William Parker,Mark W. Utlaut,Anthony Graupera. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2014-01-02.

Charged particle beam microprobe apparatus

Номер патента: US4670652A. Автор: Masahide Okumura,Satoru Fukuhara,Mikio Ichihashi. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1987-06-02.

Method of operating a particle beam system, particle beam system and computer program product

Номер патента: US11087957B2. Автор: Daniel Fischer,Josef Biberger,Pedro Besteiro. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2021-08-10.

Electromagnets for and method of deflecting and splitting a particle beam

Номер патента: US20020148973A1. Автор: Izumi Sakai. Владелец: High Energy Accelerator Research Organization. Дата публикации: 2002-10-17.

Particle source for producing a particle beam and particle-optical apparatus

Номер патента: US10446360B2. Автор: Volker Drexel,Bernd Hafner. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2019-10-15.

Apparatus for controlling a charged particle beam and a lithographic process in which the apparatus is used

Номер патента: US5663568A. Автор: Warren Kazmir Waskiewicz. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 1997-09-02.

Method for attaching an object to a manipulator and for moving the object in a particle beam apparatus, computer program product, and particle beam apparatus

Номер патента: US20240038489A1. Автор: Endre Majorovits. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-02-01.

Charged particle beam writing apparatus, method of adjusting beam incident angle to target object surface, and charged particle beam writing method

Номер патента: US20180076002A1. Автор: Takahito Nakayama,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-03-15.

Charged particle beam writing apparatus, method of adjusting beam incident angle to target object surface, and charged particle beam writing method

Номер патента: US20160071682A1. Автор: Takahito Nakayama,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-03-10.

Charged particle beam writing apparatus, method of adjusting beam incident angle to target object surface, and charged particle beam writing method

Номер патента: US20190115185A1. Автор: Takahito Nakayama,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-04-18.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US11798776B2. Автор: Tsunenori Nomaguchi,Shunichi Motomura. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-10-24.

Charged particle optical device and method

Номер патента: EP4280252A1. Автор: Petrus Wilhelmus SMORENBURG. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-11-22.

Charged-particle beam exposure apparatus and method of manufacturing article

Номер патента: US8618516B2. Автор: Hirohito Ito. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2013-12-31.

Charged-particle beam exposure apparatus and method of manufacturing article

Номер патента: US8981321B2. Автор: Hirohito Ito. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2015-03-17.

Multiple charged-particle beam apparatus with low crosstalk

Номер патента: EP4315386A1. Автор: Weiming Ren,Qingpo Xi,Shichen GU. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-02-07.

Pulsed charged-particle beam system

Номер патента: US11942302B2. Автор: Arno Jan Bleeker,Maikel Robert GOOSEN,Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Yan Ren,Pieter Willem Herman De Jager,Adam Lassise. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-03-26.

Multi-beam charged particle beam system with anisotropic filtering for improved image contrast

Номер патента: US20240128051A1. Автор: Dirk Zeidler,Maksym Kompaniiets,Bjoern Miksch. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-04-18.

Systems and methods of cooling objective lens of a charged-particle beam system

Номер патента: US11764027B2. Автор: Sven Antoin Johan Hol,Martijn Petrus Christianus VAN HEUMEN,Jeroen Gerard Gosen,Dennis Herman Caspar Van Banning,Naseh Hosseini. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-09-19.

Drawing apparatus, method of manufacturing article, method of manufacturing deflecting apparatus, and method of manufacturing drawing apparatus

Номер патента: US8729493B2. Автор: Shinji Ohishi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2014-05-20.

Charged particle optical device and method

Номер патента: WO2023202819A1. Автор: Petrus Wilhelmus SMORENBURG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-10-26.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US20170229280A1. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto,Hideo Inoue,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-08-10.

Measurement and correction of optical aberrations in charged particle beam microscopy

Номер патента: US20230274908A1. Автор: Bart Jozef Janssen,Erik Franken. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2023-08-31.

Measurement and correction of optical aberrations in charged particle beam microscopy

Номер патента: US11990315B2. Автор: Bart Jozef Janssen,Erik Franken. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-05-21.

Charged particle beam device

Номер патента: US20090218507A1. Автор: Hiroyuki Kobayashi,Akiko Fujisawa,Eiko Nakazawa. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2009-09-03.

Charged particle blocking element, exposure apparatus comprising such an element, and method for using such an exposure apparatus

Номер патента: US20200194214A1. Автор: Alexander Hendrik Vincent van Veen,Derk Ferdinand WALVOORT. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2020-06-18.

Charged particle blocking element, exposure apparatus comprising such an element, and method for using such an exposure apparatus

Номер патента: EP3665716A1. Автор: Alexander Hendrik Vincent van Veen,Derk Ferdinand WALVOORT. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2020-06-17.

Charged particle blocking element, exposure apparatus comprising such an element, and method for using such an exposure apparatus

Номер патента: NL2021299A. Автор: Hendrik Vincent Van Veen Alexander,Ferdinand Walvoort Derk. Владелец: Mapper Lithography Ip Bv. Дата публикации: 2019-02-18.

Charged particle blocking element, exposure apparatus comprising such an element, and method for using such an exposure apparatus

Номер патента: US20230335366A1. Автор: Alexander Hendrik Vincent van Veen,Derk Ferdinand WALVOORT. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-10-19.

Charged particle blocking element, exposure apparatus comprising such an element, and method for using such an exposure apparatus

Номер патента: NL2021299B1. Автор: Hendrik Vincent Van Veen Alexander,Ferdinand Walvoort Derk. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2019-05-29.

Charged-particle beam device for diffraction analysis

Номер патента: EP4385056A1. Автор: Harald Niebel,Günther STEINFELD,Tomi Tuohimaa,Christiaan Van Den Berg,Alexander Van Veen. Владелец: Eldico Scientific AG. Дата публикации: 2024-06-19.

Charged-particle beam lithographic system

Номер патента: US9362085B2. Автор: Noriyuki Kobayashi,Yoshiaki Takizawa. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2016-06-07.

Precision substrate material removal using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US9673114B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2017-06-06.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US8000939B2. Автор: Atsushi Kobaru. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2011-08-16.

Method of controlling particle absorption on a wafer sample being inspected by a charged particle beam imaging system

Номер патента: US20120006984A1. Автор: You-Jin Wang,Chung-Shih Pan. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2012-01-12.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20240177963A1. Автор: Masaru Matsushima,Go Miya,Masaki Mizuochi,Yuki UCHIOKE,Katsumi Kambe. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-05-30.

Charged Particle Beam Apparatus and Image Adjustment Method

Номер патента: US20230100291A1. Автор: Tomohiro Mihira. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-03-30.

Charged particle beam apparatus and control method thereof

Номер патента: US20180350554A1. Автор: Takeshi Sunaoshi,Haruhiko Hatano,Yoshihisa Orai,Takashi MIZUO. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-12-06.

Apparatus for contamination reduction in charged particle beam systems

Номер патента: WO2024160448A1. Автор: Shao-Wei Fu,Yinglong LI. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-08-08.

Method of investigating the wavefront of a charged-particle beam

Номер патента: US20150170876A1. Автор: Uwe Luecken,Ivan Lazic,Bart Jozef Janssen,Ross Savage,Gijs van Duinen,Stephanus H.L. van den Boom. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2015-06-18.

Method for structuring an object with the aid of a particle beam apparatus.

Номер патента: NL2015530A. Автор: Stegmaier Simon. Владелец: Zeiss Carl Microscopy Gmbh. Дата публикации: 2016-08-25.

Method for structuring an object with the aid of a particle beam apparatus.

Номер патента: NL2015530B1. Автор: Stegmaier Simon. Владелец: Zeiss Carl Microscopy Gmbh. Дата публикации: 2018-05-24.

Structure for Particle Acceleration And Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20240242918A1. Автор: Kenji Tanimoto,Shuhei Ishikawa,Ryo Sugiyama. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-07-18.

Charged particle beam system

Номер патента: EP3901983A1. Автор: Naoki Fujimoto,Izuru Chiyo,Tomoyuki Naganuma. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2021-10-27.

Charged particle beam writing apparatus, and charged particle beam writing method

Номер патента: US20150060690A1. Автор: Jun Yashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-03-05.

Charged Particle Beam Apparatus, Alignment Method of Charged Particle Beam Apparatus, Alignment Program, and Storage Medium

Номер патента: US20180108512A1. Автор: Hiroyuki Chiba,Kazuki ISHIZAWA,Yoshihiro Takahoko,Daichi Nara. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-04-19.

Charged Particle Beam System

Номер патента: US20210313142A1. Автор: Naoki Fujimoto,Izuru Chiyo,Tomoyuki Naganuma. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2021-10-07.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20160013010A1. Автор: Go Miya,Seiichiro Kanno,Takafumi Miwa,Yasushi Ebizuka. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-01-14.

System and apparatus for stabilizing electron sources in charged particle systems

Номер патента: US20240347311A1. Автор: Bruno La Fontaine,Juying Dou,Zhidong DU,Che-Chia KUO. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-17.

Apparatus for contamination reduction in charged particle beam systems

Номер патента: EP4439623A1. Автор: Shao-Wei Fu,Yinglong LI. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-02.

Multi-charged particle beam writing apparatus and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: US09953800B2. Автор: Hideo Inoue,Hayato Kimura,Kei Hasegawa,Yoshiaki Onimaru. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-04-24.

Sample holder with light emitting and transferring elements for a charged particle beam apparatus

Номер патента: US09812288B2. Автор: Hideo Morishita,Takashi Ohshima,Kunio Harada,Minami Shouji,Yuusuke Oominami. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-11-07.

Charged particle beam apparatus for measuring surface potential of a sample

Номер патента: US09799486B2. Автор: Go Miya,Seiichiro Kanno,Takafumi Miwa,Yasushi Ebizuka. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-10-24.

Apparatus for forming gas blocking layer and method thereof

Номер патента: US09732419B2. Автор: Jun Young Lee,Munpyo Hong,You Jong Lee,Yun-Sung Jang. Владелец: KOREA UNIVERSITY RESEARCH AND BUSINESS FOUNDATION. Дата публикации: 2017-08-15.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09721756B2. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-08-01.

Sample storage container, charged particle beam apparatus, and image acquiring method

Номер патента: US09564288B2. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-02-07.

Charged particle beam writing apparatus, and charged particle beam writing method

Номер патента: US09548183B2. Автор: Jun Yashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-17.

Precision substrate material removal using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US09466464B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2016-10-11.

Charged particle beam instrument and sample container

Номер патента: US09449784B2. Автор: Tatsuo Naruse. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Charged-particle beam device

Номер патента: US09443695B2. Автор: Hajime Kawano,Yasunari Sohda,Takeyoshi Ohashi,Noritsugu Takahashi,Osamu Komuro. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-09-13.

Charged particle beam exposure method and apparatus

Номер патента: US5099133A. Автор: Akio Yamada. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 1992-03-24.

Charged particle beam lithography system and target positioning device

Номер патента: US9082584B2. Автор: Guido De Boer,Jerry Peijster. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2015-07-14.

Charged particle beam source, surface processing apparatus and surface processing method

Номер патента: US20220216027A1. Автор: David Pearson,Joao Ferreira,Sebastien POCHON. Владелец: OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LTD. Дата публикации: 2022-07-07.

Measurement and correction of optical aberrations in charged particle beam microscopy

Номер патента: EP4235731A1. Автор: Bart Jozef Janssen,Erik Franken. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2023-08-30.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20190035600A1. Автор: Satoru Yamaguchi,Kumiko Shimizu,Kei Sakai,Hideki ITAI,Yasunori Takasugi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-01-31.

Charged particle beam lithography apparatus and charged particle beam pattern writing method

Номер патента: US20190198293A1. Автор: Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-06-27.

Method of determining the beam convergence of a focused charged particle beam, and charged particle beam system

Номер патента: US11791128B2. Автор: Matthias FIRNKES,John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-10-17.

Device and method for generating charged particle beam pulses

Номер патента: EP3218920A2. Автор: Pieter Kruit,Izaak Gerrit Cornelis WEPPELMAN. Владелец: Technische Universiteit Delft. Дата публикации: 2017-09-20.

Transmission charged particle beam apparatus, and method of aligning such a transmission charged particle beam apparatus

Номер патента: US20230282443A1. Автор: Shanel Ondrej,Martin Schneider,Jan Jisa,Ondrej Baco. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-09-07.

Fastening an object to a manipulator and/or to an object holder in a particle beam apparatus

Номер патента: US20240038484A1. Автор: Andreas Schertel. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-02-01.

Dual beam systems and methods for decoupling the working distance of a charged particle beam device from focused ion beam geometry induced constraints

Номер патента: WO2023232282A1. Автор: Thomas Korb,Jens Timo NEUMANN,Eugen Foca,Alex Buxbaum,Dmitry Klochkov,Ramani Pichumani. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2023-12-07.

Charged particle beam device and detection method using said device

Номер патента: US20170053777A1. Автор: Hajime Kawano,Yasunari Sohda,Tomoyasu Shojo. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-02-23.

Multi charged particle beam evaluation method, multi charged particle beam writing method, inspection method for aperture array substrate for multi charged particle beam irradiation apparatus, and computer-readable recording medium

Номер патента: US20230402253A1. Автор: HIROFUMI Morita,Yoshikuni GOSHIMA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-12-14.

System and method for scanning an object

Номер патента: US20160276127A1. Автор: Yuval Gronau,Ishai Schwarzband,Benzion Sender,Dror Shemesh,Ofir Greenberg,Ran Schleyen. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2016-09-22.

Charged particle beam device and control method of optical system of charged particle beam device

Номер патента: EP3731256A1. Автор: Yuko Shimizu,Kazuya Yamazaki,Hirofumi Iijima,Tomohiro NAKAMICHI,Naoki Hosogi,Takuma FUKUMURA. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2020-10-28.

Method and system for stable dynamics and constant beam delivery for acceleration of charged particle beams in a non-scaling fixed field alternating gradient magnetic field accelerator

Номер патента: EP2701468A3. Автор: Carol Johnstone. Владелец: PARTICLE ACCELERATOR CORP. Дата публикации: 2014-10-29.

Method of determining the beam convergence of a focused charged particle beam, and charged particle beam system

Номер патента: US20230116466A1. Автор: Matthias FIRNKES,John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-04-13.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20190355552A1. Автор: Makoto Suzuki,Shunsuke Mizutani,Shahedul Hoque,Uki Ikeda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-11-21.

Charged particle beam device

Номер патента: US20220359150A1. Автор: Makoto Sakakibara,Hajime Kawano,Momoyo Enyama,Hiroya Ohta. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-11-10.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US20210305008A1. Автор: Taku Yamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2021-09-30.

Charged particle beam targets

Номер патента: US20150318138A1. Автор: Ivan KONOPLEV. Владелец: Oxford University Innovation Ltd. Дата публикации: 2015-11-05.

Insulated-gate semiconductor element and method for manufacturing the same

Номер патента: US20010053561A1. Автор: Takeshi Uenoyama,Kunimasa Takahashi,Masao Uchida,Makoto Kitabatake. Владелец: Matsushita Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 2001-12-20.

Charged particle beam device and sample observation method

Номер патента: GB2519038A. Автор: Yusuke Ominami,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2015-04-08.

Charged-particle optical systems and pattern transfer apparatus comprising same

Номер патента: US6060711A. Автор: Hiroyasu Shimizu. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2000-05-09.

Charged particle beam processing method

Номер патента: EP2221849A3. Автор: Katsuhiro Funabashi. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-06-13.

Composite charged particle beam apparatus

Номер патента: US20210151283A1. Автор: Hiroyuki Suzuki,Shinya Kitayama. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2021-05-20.

Charged particle beam system with optical microscope

Номер патента: US5905266A. Автор: James H. Brown,Theodore R. Lundquist,Xavier Larduinat. Владелец: Schlumberger Technologies Inc. Дата публикации: 1999-05-18.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20240014002A1. Автор: Wen Li,Hideto Dohi,Tomoyo Sasaki,Takayasu Iwatsuka. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-01-11.

Charged particle beam writing method and charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20180269034A1. Автор: Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-09-20.

Method for analyzing an object and a charged particle beam device for carrying out this method

Номер патента: EP3364443A3. Автор: Lorenz Lechner,Sreenivas Bhattiprolu. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2019-01-09.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210175047A1. Автор: Ichiro Fujimura,Hiroki Kannami,Hironori Itabashi. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-06-10.

Method of influencing a charged particle beam, multipole device, and charged particle beam apparatus

Номер патента: US20220277921A1. Автор: Dieter Winkler,Benjamin John Cook,Bernd Woellert. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2022-09-01.

Charged particle beam apparatus and image generation method

Номер патента: US20160064182A1. Автор: Wen Li,Makoto Suzuki,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Ryo Kadoi,Kazuki Ikeda,Hisaaki Kanai. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-03-03.

Combination system and method for preparing reservoir water and sea water for repeated injection into underwater oil reservoir

Номер патента: RU2747649C2. Автор: Джованни КАВАЛЬКАНТИ НУНЬЕС,Сильвио Эдегар ВЕШЕНФЕЛЬДЕР,Джойс МОНТЕЙРО САМБАДЕ. Владелец: ПЬЯШЕК БОРГЕС, Кристиано. Дата публикации: 2021-05-11.

Saline wastewater treatment system using solar-assisted heat pump

Номер патента: US12030801B2. Автор: Xiaosong Zhang,Dongxu WU,Yuanzhi GAO,Zhaofeng DAI. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2024-07-09.

Saline wastewater treatment system using solar-assisted heat pump

Номер патента: US20240083794A1. Автор: Xiaosong Zhang,Dongxu WU,Yuanzhi GAO,Zhaofeng DAI. Владелец: SOUTHEAST UNIVERSITY. Дата публикации: 2024-03-14.

Treatment system for waste liquid of wafer treatment and utilization management system for its regenerated slurry

Номер патента: JP2003230880A. Автор: 元一 堀尾,Genichi Horio. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-08-19.

Building facade system and and method of providing a building facade

Номер патента: US20230340788A1. Автор: James Jonathan White,Edward Mitry Coosaia, JR.,Jason S. Eastwood. Владелец: Ubfs Llc. Дата публикации: 2023-10-26.

The battery intelligent management system of armarium and method

Номер патента: CN103227350B. Автор: 胡海亮. Владелец: Shenzhen Comen Medical Instruments Co Ltd. Дата публикации: 2016-08-10.

Subterranean water management system for mines and method of operating this water management system

Номер патента: EP2486988B1. Автор: Holger Burkhardt,Arthur Glanzmann. Владелец: LUXIN (GREEN PLANET) AG. Дата публикации: 2013-07-31.

Luggage management system for airports, and method of transporting luggage

Номер патента: NO311928B1. Автор: Ulf Oestroem. Владелец: Ulf Oestroem. Дата публикации: 2002-02-18.

Deformation method of nanometer scale material using particle beam and nano tool thereby

Номер патента: US20080203295A1. Автор: Jinho Choi,Ki-Young Jung,Dal-Hyun Kim,Byong-Chon Park,Sang-Jung Ahn,Jae-Wan Hong. Владелец: Korea Research Institute of Standards and Science KRISS. Дата публикации: 2008-08-28.

Vibration isolated table for a charged particle beam apparatus provided with a shock protection element and shock protection element

Номер патента: US20050121592A1. Автор: Johannes Van Der Ven,Albertus Dirks. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-06-09.

CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING APPARATUS AND CONTROL METHOD THEREOF

Номер патента: US20120001097A1. Автор: . Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

Charged particle beam writing apparatus, charged particle beam beam resolution measuring method, and charged particle beam writing apparatus adjustment method

Номер патента: JP6376014B2. Автор: 翼 七尾,裕信 松本. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-08-22.

Charged particle beam device and variable formation type charged particle beam plotting device

Номер патента: JPH10239850A. Автор: Moriyuki Isobe,盛之 磯部. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 1998-09-11.

Charged particle beam device and imaging method of charged particle beam device

Номер патента: JP4927506B2. Автор: 真樹 水落,浩志 辻. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2012-05-09.

Manufacturing method of charged particle beam exposure mask and mask for charged particle beam exposure

Номер патента: JP4924135B2. Автор: 秀幸 江口,考治郎 伊藤. Владелец: Toppan Inc. Дата публикации: 2012-04-25.

Farm management system, system and method for managing real field

Номер патента: TW201128547A. Автор: Ling-Ling Su,Chun-Huei Fang. Владелец: Red Est Group. Дата публикации: 2011-08-16.

SECURITY MANAGEMENT SYSTEM, MEDICAL DEVICE AND METHOD FOR MANAGING SECURITY

Номер патента: US20120030754A1. Автор: Oowaki Naoki,Teshima Fumiaki. Владелец: . Дата публикации: 2012-02-02.

Data Management System Server Apparatus and Method for Monitoring A Wireless Communication Network

Номер патента: US20120079079A1. Автор: HOFFMAN GEORGE E.. Владелец: CARRIER IQ, INC.. Дата публикации: 2012-03-29.

LOCATION-BASED SMART ENERGY MANAGEMENT SYSTEM USING RFID AND METHOD THEREOF

Номер патента: US20120109397A1. Автор: SHIM Youn Min,Park Heung-Soo. Владелец: . Дата публикации: 2012-05-03.

WALL OUTLET DEVICE, POWER MANAGEMENT SYSTEM HAVING SAME AND METHOD FOR CONTROLLING THEREOF

Номер патента: US20120161548A1. Автор: JEONG Youn Kwae,LEE Il Woo,PARK Wan Ki,CHOI Chang-Sic,HAN Jinsoo,LEE Jeong In. Владелец: Electronics and Telecommunications Research Institute. Дата публикации: 2012-06-28.

FITNESS DEVICE, EXERCISE MANAGEMENT SYSTEM USING SAME, AND METHOD FOR MANAGING EXECISE

Номер патента: US20120329615A1. Автор: JEONG Haeryong. Владелец: DONG SUNG INDUSTRY MACHINE CO., LTD. Дата публикации: 2012-12-27.

DIGITAL CONTENT MANAGEMENT SYSTEM, DEVICE, PROGRAM AND METHOD

Номер патента: US20130024698A1. Автор: Tadano Kumiko. Владелец: NEC Corporation. Дата публикации: 2013-01-24.

Power management system, vehicular terminal and method for closing terminal equipment of vehicle

Номер патента: CN102485542B. Автор: 吴哲,李婷,张晔晖,王小华. Владелец: Shanghai Pateo Electronic Equipment Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-17.

Management system, electronic instrument, and method

Номер патента: JP2011198331A. Автор: Minoru Tanaka,実 田中,尚志 小池,Hisashi Koike. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2011-10-06.

Database query method of information management system, system and relevant equipment

Номер патента: CN101556620A. Автор: 李佳,施伟,叶坚,贾永洁,徐靓,钱昊,戚桂凤,郑骏,严志根,宋勤愉. Владелец: China Construction Bank Corp. Дата публикации: 2009-10-14.

Charged particle beam apparatus and sample processing method

Номер патента: US20120001086A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

SYSTEM AND METHOD FOR PARTICULATE MATTER FILTER REGENERATION USING A CATALYTIC CONVERTER AS A COMBUSTOR

Номер патента: US20120000180A1. Автор: JR. Michael J.,Gonze Eugene V.,Paratore,Santoso Halim G.. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

WATER TREATMENT SYSTEMS AND METHODS

Номер патента: US20120000851A1. Автор: . Владелец: DXV Water Technologies, LLC. Дата публикации: 2012-01-05.

Filter Life Pulsating Indicator and Water Filter System and Method

Номер патента: US20120000858A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

System and Method for Treating Hemorrhoids

Номер патента: US20120004546A1. Автор: Neuberger Wolfgang,Groenhoff Endrick. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

PARTICULATE FILTER REGENERATION INTERRUPTION SYSTEMS AND METHODS

Номер патента: US20120000187A1. Автор: Darr Rebecca J.,Jasinkiewicz Paul,Shetney Justin A.,Mullins Jason Daniel,Crawford Kyle E.. Владелец: GM GLOBAL TECHNOLOGY OPERATIONS, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

Wastewater Treatment System

Номер патента: US20120000859A1. Автор: Mitzlaff Theodore K.,Fletcher Jesse C.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

TISSUE VISUALIZATION DEVICE AND METHOD VARIATIONS

Номер патента: US20120004577A1. Автор: . Владелец: Voyage Medical, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

Method of injecting particles beam into accumulation ring

Номер патента: RU2012169C1. Автор: С.И. Козлов. Владелец: Объединенный Институт Ядерных Исследований. Дата публикации: 1994-04-30.

Scanning system for charged and neutral particle beams

Номер патента: CA1150422A. Автор: Anders Brahme. Владелец: INSTRUMENT SCANDITRONIX AB. Дата публикации: 1983-07-19.

Бесплатный поиск патентной информации. Построение патентных ландшафтов и отчетов.

Главная
Проекты и услуги
Контакты

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.