Beam blanker and method for blanking a charged particle beam
Номер патента: US20180151327A1
Опубликовано: 31-05-2018
Автор(ы): Christof Baur, Michael Budach
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 31-05-2018
Автор(ы): Christof Baur, Michael Budach
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Apparatus for and method of controlling an energy spread of a charged-particle beam
Номер патента: WO2020164951A1. Автор: Shakeeb Bin HASAN,Maikel Robert GOOSEN,Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Yan Ren. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2020-08-20.