Surface machining method for single crystal sic substrate, manufacturing method thereof, and grinding plate for surface machining single crystal sic substrate
Номер патента: US20170178919A1
Опубликовано: 22-06-2017
Автор(ы): Takanori Kido, Tomohisa Kato
Принадлежит: Showa Denko KK
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-06-2017
Автор(ы): Takanori Kido, Tomohisa Kato
Принадлежит: Showa Denko KK
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Surface machining method for single crystal SiC substrate, manufacturing method thereof, and grinding plate for surface machining single crystal SiC substrate
Номер патента: US09960048B2. Автор: Tomohisa Kato,Takanori Kido. Владелец: Showa Denko KK. Дата публикации: 2018-05-01.