APERTURE SET FOR MULTI-BEAM AND MULTI-CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS
Номер патента: US20180182593A1
Опубликовано: 28-06-2018
Автор(ы): Kataoka Kenichi, MATSUMOTO Hiroshi, Yamashita Hiroshi
Принадлежит: NuFlare Technology, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-06-2018
Автор(ы): Kataoka Kenichi, MATSUMOTO Hiroshi, Yamashita Hiroshi
Принадлежит: NuFlare Technology, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Blanking device for multi charged particle beams, and multi charged particle beam writing apparatus
Номер патента: US20160064178A1. Автор: HIROFUMI Morita,Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-03-03.