Россия, г. Королев.

eburdiyg@gmail.com

8 (903) 781-84-63

  • Главная
  • BLANKING DEVICE FOR MULTI CHARGED PARTICLE BEAMS, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM IRRADIATION APPARATUS

BLANKING DEVICE FOR MULTI CHARGED PARTICLE BEAMS, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM IRRADIATION APPARATUS

Номер патента: US20170345612A1
Опубликовано: 30-11-2017
Автор(ы): MATSUMOTO Hiroshi, MORITA Hirofumi, Ogasawara Munehiro, Touya Takanao
Принадлежит: NuFlare Technology, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Multi-charged particle beam writing apparatus and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: US09953800B2. Автор: Hideo Inoue,Hayato Kimura,Kei Hasegawa,Yoshiaki Onimaru. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-04-24.

SEMICONDUCTOR DEVICE, MULTI-CHARGED-PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS, AND MULTI-CHARGED-PARTICLE BEAM EXPOSURE APPARATUS

Номер патента: US20220270850A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi,SHIMADA Miyoko,MORITA Hirofumi,Higashi Kazuyuki,Shimooka Yoshiaki,Obara Kei,GOSHIMA Yoshikuni,Yamaguchi Hitomi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2022-08-25.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20170098524A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi,Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi,INOUE Hideo,Iijima Tomohiro. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-04-06.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20180261421A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi,Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi,INOUE Hideo,Iijima Tomohiro. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-09-13.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING METHOD

Номер патента: US20180350552A1. Автор: IIZUKA Osamu,MORITA Hirofumi,NANAO Tsubasa. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-12-06.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM BLANKING APPARATUS

Номер патента: US20170301506A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-10-19.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EVALUATION METHOD AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING DEVICE

Номер патента: US20210074510A1. Автор: Nishimura Rieko. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2021-03-11.

Blanking aperture array and charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09530616B2. Автор: Hiroshi Yamashita,Hiroshi Matsumoto,Kazuhiro Chiba. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-12-27.

Charged particle beam writing apparatus, method of adjusting beam incident angle to target object surface, and charged particle beam writing method

Номер патента: US09824849B2. Автор: Takahito Nakayama,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-11-21.

Charged particle beam writing apparatus, method of adjusting beam incident angle to target object surface, and charged particle beam writing method

Номер патента: US20180076002A1. Автор: Takahito Nakayama,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-03-15.

Charged particle beam writing apparatus, method of adjusting beam incident angle to target object surface, and charged particle beam writing method

Номер патента: US20160071682A1. Автор: Takahito Nakayama,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-03-10.

Charged particle beam writing apparatus, method of adjusting beam incident angle to target object surface, and charged particle beam writing method

Номер патента: US20190115185A1. Автор: Takahito Nakayama,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-04-18.

Charged particle beam writing apparatus, and method for detecting irregularities in dose of charged particle beam

Номер патента: US20150325407A1. Автор: Hideo Inoue,Hironori Mizoguchi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-11-12.

Charged particle beam writing method and charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20180269034A1. Автор: Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-09-20.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20170103869A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-04-13.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US20160284513A1. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-09-29.

Charged particle-optical apparatus

Номер патента: EP4421843A1. Автор: Henricus Petrus Maria Pellemans,Duygu Akbulut,Marco Jan-Jaco Wieland,Vincent Sylvester KUIPER,Erwin Slot,Ezgi Sahin,Jorn Paul VAN ENGELEN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-08-28.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM BLANKING APPARATUS, MULTI CHARGED PARTICLE BEAM BLANKING METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20170271118A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-09-21.

Charged particle-optical apparatus

Номер патента: WO2024088718A1. Автор: Henricus Petrus Maria Pellemans,Duygu Akbulut,Marco Jan-Jaco Wieland,Vincent Sylvester KUIPER,Erwin Slot,Ezgi Sahin,Jorn Paul VAN ENGELEN. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-05-02.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20150041672A1. Автор: KAMIKUBO Takashi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2015-02-12.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20170076912A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-03-16.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20170103869A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-04-13.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20190035603A1. Автор: IIZUKA Osamu. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2019-01-31.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20190043693A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2019-02-07.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20180114673A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-04-26.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20170207056A1. Автор: MORITA Hirofumi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-07-20.

MULTI-CHARGED-PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI-CHARGED-PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20200258716A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2020-08-13.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20190066975A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2019-02-28.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20150348741A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2015-12-03.

Blanking device for multi charged particle beams, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09543120B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-10.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20160155608A1. Автор: INOUE Hideo. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2016-06-02.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE APPARATUS

Номер патента: US20170352520A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-12-07.

Blanking device for multi charged particle beams, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20160064178A1. Автор: HIROFUMI Morita,Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-03-03.

Multi charged particle beam evaluation method, multi charged particle beam writing method, inspection method for aperture array substrate for multi charged particle beam irradiation apparatus, and computer-readable recording medium

Номер патента: US20230402253A1. Автор: HIROFUMI Morita,Yoshikuni GOSHIMA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-12-14.

Blanking system for multi charged particle beams, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09697981B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-07-04.

Method and device for rastering source redundancy

Номер патента: WO2004044653A3. Автор: David Aviel,Jimmy Vishnipolsky,Radel Ben-Av. Владелец: Radel Ben-Av. Дата публикации: 2004-07-29.

Method and device for rastering source redundancy

Номер патента: WO2004044653A2. Автор: David Aviel,Jimmy Vishnipolsky,Radel Ben-Av. Владелец: Applied Materials Israel, Ltd.. Дата публикации: 2004-05-27.

Multiple charged particle beam lithography apparatus and multiple charged particle beam pattern writing method

Номер патента: US09601315B2. Автор: Yasuo Kato,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-03-21.

Beam irradiation apparatus and beam irradiation method

Номер патента: US09449791B2. Автор: Mitsukuni Tsukihara,Noriyasu Ido,Noriyuki Suetsugu. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09715993B2. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-07-25.

Charged-particle beam exposure apparatus and method of manufacturing article

Номер патента: US20120126136A1. Автор: Hirohito Ito. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-05-24.

Method for correcting drift of charged particle beam, and charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09536705B2. Автор: Osamu Iizuka. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-03.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US20160155608A1. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-06-02.

Multi-charged-particle-beam writing apparatus and multi-charged-particle-beam writing method

Номер патента: US11901156B2. Автор: Satoru Hirose,Ryosuke Ueba,Rieko Nishimura,Shunsuke Isaji. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-02-13.

Method of generation of charged particle beam exposure data and charged particle beam exposure method using a block mask

Номер патента: US20060033048A1. Автор: Takashi Maruyama,Manabu Ohno. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2006-02-16.

Charged particle beam writing apparatus, charged particle beam writing method, and shot correction method of charged particle beam writing method

Номер патента: US09583310B2. Автор: Tomoo Motosugi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-02-28.

Arrangement for masked beam lithography by means of electrically charged particles

Номер патента: US5742062A. Автор: Gerhard Stengl,Alfred Chalupka,Herbert Vonach,Hans Loeschner. Владелец: Ims Ionen Mikrofabrikations Systems GmbH. Дата публикации: 1998-04-21.

Charged particle beam exposure method and charged particle beam exposure device

Номер патента: US20060019199A1. Автор: Yasushi Takahashi. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2006-01-26.

Charged particle beam exposure method and charged particle beam exposure device

Номер патента: US20090288060A1. Автор: Yasushi Takahashi. Владелец: Fujitsu Semiconductor Ltd. Дата публикации: 2009-11-19.

Charged particle beam exposure method and charged particle beam exposure device

Номер патента: US7582884B2. Автор: Yasushi Takahashi. Владелец: Fujitsu Semiconductor Ltd. Дата публикации: 2009-09-01.

Charged-particle beam exposure apparatus and method of manufacturing article

Номер патента: US8618516B2. Автор: Hirohito Ito. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2013-12-31.

Charged-particle beam exposure apparatus and method of manufacturing article

Номер патента: US8981321B2. Автор: Hirohito Ito. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2015-03-17.

Charged particle beam writing apparatus, and charged particle beam writing method

Номер патента: US20150060690A1. Автор: Jun Yashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-03-05.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09721756B2. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-08-01.

Charged particle beam writing apparatus, and charged particle beam writing method

Номер патента: US09548183B2. Автор: Jun Yashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-17.

Charged particle beam writing apparatus, and charged particle beam writing method

Номер патента: US09484185B2. Автор: Yasuo Kato,Noriaki Nakayamada,Mizuna Suganuma. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-11-01.

Techniques for controlling a charged particle beam

Номер патента: WO2009036267A2. Автор: Anthony Renau,Joseph C. Olson,Russell J. Low,Piotr R. Lubicki. Владелец: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.. Дата публикации: 2009-03-19.

Techniques for controlling a charged particle beam

Номер патента: WO2009036267A3. Автор: Anthony Renau,Joseph C Olson,Russell J Low,Piotr R Lubicki. Владелец: Piotr R Lubicki. Дата публикации: 2009-06-11.

Charged particle beam exposure method and apparatus

Номер патента: US5099133A. Автор: Akio Yamada. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 1992-03-24.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20190103252A1. Автор: IIZUKA Osamu,KAKEHI Ryoichi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2019-04-04.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSING METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSING APPARATUS

Номер патента: US20170207064A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-07-20.

Method for optimizing charged particle beams formed by shaped apertures

Номер патента: US09679742B2. Автор: Mostafa Maazouz,David William Tuggle,Richard Swinford,William M. Steinhardt. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2017-06-13.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09673018B2. Автор: Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-06-06.

Beam blanker and method for blanking a charged particle beam

Номер патента: US20180151327A1. Автор: Christof Baur,Michael Budach. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-05-31.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US20160336141A1. Автор: Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-11-17.

Methods and devices for detecting a distribution of charged-particle density of a charged-particle beam in charged-particle-beam microlithography systems

Номер патента: US20030111618A1. Автор: Noriyuki Hirayanagi,Jin Udagawa. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-06-19.

Charged Particle Beam Drawing Apparatus and Control Method for Charged Particle Beam Drawing Apparatus

Номер патента: US20230075825A1. Автор: Yukinori Aida. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-03-09.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20180005799A1. Автор: Hasegawa Kei,KIMURA Hayato,KAWANA Ryoh. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-01-04.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20200118791A1. Автор: YASHIMA Jun,KATO Yasuo,TEGURI Hironori,ISE Masafumi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2020-04-16.

Multi charged particle beam drawing device and multi charged particle beam drawing method

Номер патента: KR101601128B1. Автор: 타카시 가미쿠보. Владелец: 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지. Дата публикации: 2016-03-08.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US9159535B2. Автор: Takashi Kamikubo. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-10-13.

Multi-charged particle beam rendering device and multi-charged particle beam rendering method

Номер патента: TWI751477B. Автор: 松本裕史. Владелец: 日商紐富來科技股份有限公司. Дата публикации: 2022-01-01.

Multi-charged particle beam lithography apparatus and multi-charged particle beam lithography method

Номер патента: JP2023042359A. Автор: Satoru Hirose,亮介 上羽,理恵子 西村,Rieko Nishimura,Ryosuke Ueha,暁 廣瀬,俊輔 伊佐治,Shunsuke Isaji. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-03-27.

Multi - charged particle beam mapping device and multi - charged particle beam rendering method

Номер патента: TWI578379B. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-04-11.

Charged particle beam exposure apparatus, device manufacturing method, and charged particle beam applied apparatus

Номер патента: TW559883B. Автор: Shinichi Hashimoto,Masato Muraki,Yasunari Sohda. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2003-11-01.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20090302233A1. Автор: TAKASHI Ogawa. Владелец: SII NanoTechnology Inc. Дата публикации: 2009-12-10.

Chicane blanker assemblies for charged particle beam systems and methods of using the same

Номер патента: US09767984B2. Автор: N. William Parker,Charles Otis,Kevin Kagarice. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2017-09-19.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20170047194A1. Автор: YASHIMA Jun,KATO Yasuo,YOSHIKAWA Ryoichi,INOUE Hideo,KIMURA Hayato. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-02-16.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM ADJUSTING METHOD

Номер патента: US20180358203A1. Автор: MORITA Hirofumi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-12-13.

Charged particle beam device and method applied in a charged particle beam device

Номер патента: EP2001038A2. Автор: Ulrike Zeile,Dr. Andreas Schertel. Владелец: Carl Zeiss NTS GmbH. Дата публикации: 2008-12-10.

Charged particle beam device and method applied in a charged particle beam device

Номер патента: EP2001038B9. Автор: Ulrike Zeile,Andreas Schertel. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2016-10-26.

Charged particle beam device and method applied in a charged particle beam device

Номер патента: EP2001038B1. Автор: Ulrike Zeile,Andreas Schertel. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2016-08-10.

Charged particle beam device and method applied in a charged particle beam device

Номер патента: EP2001038A3. Автор: Ulrike Zeile,Dr. Andreas Schertel. Владелец: Carl Zeiss NTS GmbH. Дата публикации: 2010-09-22.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US20160181062A1. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto,Hideo Inoue,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-06-23.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09852876B2. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto,Hideo Inoue,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-12-26.

Inspection method for blanking device for blanking multi charged particle beams

Номер патента: US09880215B2. Автор: Hiroshi Yamashita. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-01-30.

Multi charged particle beam writing method and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09570267B2. Автор: Hiroshi Matsumoto,Hideo Inoue,Tomohiro Iijima,Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-02-14.

Blanking device for multi charged particle beams, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20160111246A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-04-21.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US9679748B2. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-06-13.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09679748B2. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-06-13.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09691585B2. Автор: Hiroshi Matsumoto,Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-06-27.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09805907B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-10-31.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US20170229280A1. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto,Hideo Inoue,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-08-10.

Multi charged particle beam writing method and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20180261421A1. Автор: Hiroshi Matsumoto,Hideo Inoue,Tomohiro Iijima,Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-09-13.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20150340196A1. Автор: Hiroshi Matsumoto,Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-11-26.

Multi charged particle beam exposure method, and multi charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US20170352520A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-12-07.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20200343073A1. Автор: HIROFUMI Morita,Mitsuhiro Okazawa. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-10-29.

Charged particle beam exposure method and method for producing charged particle beam exposure data

Номер патента: US20030160192A1. Автор: Atsushi Ando,Ryoichi Inanami,Shunko Magoshi. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2003-08-28.

Method of determining main deflection settling time for charged particle beam writing, method of writing with charged particle beam, and apparatus for writing with charged particle beam

Номер патента: US20100288939A1. Автор: Rieko Nishimura. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2010-11-18.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20240242922A1. Автор: HIROFUMI Morita,Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20240242920A1. Автор: HIROFUMI Morita. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Double stage charged particle beam energy width reduction system for charged particle beam system

Номер патента: WO2005024888A3. Автор: Juergen Frosien,Stefan Lanio,Ralf Degenhardt. Владелец: Ralf Degenhardt. Дата публикации: 2005-04-28.

Focusing method of charged particle beam and astigmatism adjusting method of charged particle

Номер патента: US8188443B2. Автор: Hitoshi Sunaoshi,Osamu Iizuka,Kenji Ohtoshi,Takahito Nakayama. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2012-05-29.

Mounting substrate, blanking aperture array chip, blanking aperture array system and multi charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US20240013999A1. Автор: HIROFUMI Morita,Toshiki Kimura,Kazuhiro Chiba,Hayato Kimura,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-01-11.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20240242933A1. Автор: HIROFUMI Morita,Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Charged particle device, charged particle assessment apparatus, measuring method, and monitoring method

Номер патента: US20240339292A1. Автор: Marijke SCOTUZZI,Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Yan Ren. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-10.

Multiple-charged particle-beam irradiation apparatus and multiple-charged particle-beam irradiation method

Номер патента: US20220102113A1. Автор: Mitsuhiro Okazawa. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2022-03-31.

Multiple-charged particle-beam irradiation apparatus and multiple-charged particle-beam irradiation method

Номер патента: US11574797B2. Автор: Mitsuhiro Okazawa. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-02-07.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09472372B2. Автор: Taku Yamada,Kenji Ohtoshi,Kaoru TSURUTA,Yasuyuki Taneda. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-10-18.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20200335297A1. Автор: Kazuhiro Kishi,Mitsuhiro Okazawa. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-10-22.

Blanking aperture array system and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20240029999A1. Автор: Hiroshi Yamashita. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-01-25.

Multi charged particle beam writing method and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09991086B2. Автор: HIROFUMI Morita. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-06-05.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US20150303029A1. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-10-22.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US9190246B2. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-11-17.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09437396B2. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-09-06.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09934935B2. Автор: Yasuo Kato,Hideo Inoue,Hayato Kimura,Ryoichi Yoshikawa,Jun Yashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-04-03.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US10483087B2. Автор: Hayato Kimura,Kei Hasegawa,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-11-19.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20160155604A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2016-06-02.

Method for attaching an object to a manipulator and for moving the object in a particle beam apparatus, computer program product, and particle beam apparatus

Номер патента: US20240038489A1. Автор: Endre Majorovits. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-02-01.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US09620333B2. Автор: Makoto Sato,Satoshi Tomimatsu,Tatsuya Asahata,Yo Yamamoto,Atsushi Uemoto. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-04-11.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US09741535B2. Автор: Makoto Sato,Tatsuya Asahata,Shota Torikawa,Atsushi Uemoto. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-08-22.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: EP4250331A1. Автор: Marco Jan-Jaco Wieland. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-09-27.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US09336987B2. Автор: Makoto Sato,Tatsuya Asahata,Shota Torikawa,Atsushi Uemoto. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2016-05-10.

Real time monitoring for simultaneous imaging and exposure in charged particle beam systems

Номер патента: EP1332510B1. Автор: Steve Rosenberg,Peter S. Chao. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2011-11-16.

Charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US09478396B2. Автор: Akio Yamada,Shinichi Hamaguchi,Masaki Kurokawa,Shinji Sugatani. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Charged particle device and method

Номер патента: US20240087835A1. Автор: Albertus Victor Gerardus MANGNUS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-03-14.

Charged-particle beam system

Номер патента: US7329881B2. Автор: Osamu Wakimoto. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2008-02-12.

Charged-particle beam system

Номер патента: US20050211681A1. Автор: Osamu Wakimoto. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2005-09-29.

Charged particle beam drawing apparatus and article manufacturing method using same

Номер патента: US8384051B2. Автор: Kimitaka Ozawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2013-02-26.

Charged particle beam device, field curvature corrector, and methods of operating a charged particle beam device

Номер патента: WO2020078610A1. Автор: Benjamin John Cook,Thomas Kemen,Roman BARDAY. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2020-04-23.

Method for pattern measurement, method for setting device parameters of charged particle radiation device, and charged particle radiation device

Номер патента: US09831062B2. Автор: Makoto Suzuki,Satoru Yamaguchi,Satoshi Takada,Kazuhisa Hasumi,Miki Isawa,Kei Sakai,Masami Ikota. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-11-28.

Charged particle beam system and method of operating a charged particle beam system

Номер патента: US09530611B2. Автор: Alexander Groholski,Raymond Hill,John A. Notte, IV,Mark D. DiManna,Robert Conners. Владелец: Carl Zeiss Microscopy LLC. Дата публикации: 2016-12-27.

Charged particle beam device and method of operating a charged particle beam device

Номер патента: WO2021073811A1. Автор: Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2021-04-22.

Methods and devices for determining times for maintenance activity performed on a charged-particle-beam microlithography apparatus, and microelectronic-device-manufacturing methods comprising same

Номер патента: US6545274B1. Автор: Kenji Morita. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-04-08.

Charged-particle-beam projection-exposure method exhibiting aberration reduction through multiple deflector use

Номер патента: US6027841A. Автор: Shohei Suzuki. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2000-02-22.

Charged-particle beam lithographic system

Номер патента: US9362085B2. Автор: Noriyuki Kobayashi,Yoshiaki Takizawa. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2016-06-07.

Charged particle beam writing apparatus and method for diagnosing dac amplifier unit in charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20100030522A1. Автор: Seiichi Tsuchiya,Akinori Mine. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2010-02-04.

Charged particle beam writing apparatus and method for diagnosing DAC amplifier unit in charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US8290743B2. Автор: Seiichi Tsuchiya,Akinori Mine. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2012-10-16.

Demagnification measurement method for charged particle beam exposure apparatus, stage phase measurement method for charged particle beam exposure apparatus, control method for charged particle beam exposure apparatus, and charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US20040183036A1. Автор: Shinsuke Nishimura. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-09-23.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20150206709A1. Автор: NAKAYAMADA Noriaki. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2015-07-23.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20070246651A1. Автор: Masahiro Inoue,Akira Higuchi,Masahiro Yamamoto,Hirotami Koike,Shinichi Okada,Sumio Sasaki. Владелец: Topcon Corp. Дата публикации: 2007-10-25.

Rotation angle measuring method of multi-charged particle beam image, rotation angle adjustment method of multi-charged particle beam image, and multi-charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09466461B2. Автор: Osamu Iizuka,Kenji Ohtoshi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-10-11.

Multi-beam charged particle source with alighment means

Номер патента: US20240096585A1. Автор: Pieter Kruit. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2024-03-21.

Multi-beam charged particle source with alignment means

Номер патента: EP4049300A1. Автор: Pieter Kruit. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2022-08-31.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20140225008A1. Автор: Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2014-08-14.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20140367584A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2014-12-18.

Multi-charged particle beam drawing device and multi-charged particle beam drawing method

Номер патента: JP7026554B2. Автор: 良一 吉川,英郎 井上. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2022-02-28.

Charged particle beam pattern forming device and charged particle beam apparatus

Номер патента: US20230298848A1. Автор: Tomohiro Saito,Hiroko Nakamura,Yoshiaki Shimooka. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20130252172A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2013-09-26.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20130320230A1. Автор: Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2013-12-05.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20160042908A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi,Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi,INOUE Hideo,Iijima Tomohiro. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2016-02-11.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20140187056A1. Автор: Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2014-07-03.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20150235807A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2015-08-20.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20140346369A1. Автор: MATSUMOTO Hironobu. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2014-11-27.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20140361193A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2014-12-11.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20160284513A1. Автор: INOUE Hideo. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2016-09-29.

Multi charged particle beam drawing apparatus and multi charged particle beam drawing method

Номер патента: JP2019176047A. Автор: Hideo Inoue,Ryoichi Yoshikawa,良一 吉川,英郎 井上. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-10-10.

Method and device to form image formation charged particle beam and the exposing device of charged particle beam

Номер патента: TW445489B. Автор: Kenichi Kawakami. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2001-07-11.

Charged particle beam apparatus and method for operating a charged particle beam apparatus

Номер патента: US7838830B2. Автор: Juergen Frosien,Helmut Banzhof,Dror Shemesh,Jacob Levin. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2010-11-23.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US09595421B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-03-14.

Apparatus for and method of controlling an energy spread of a charged-particle beam

Номер патента: WO2020164951A1. Автор: Shakeeb Bin HASAN,Maikel Robert GOOSEN,Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Yan Ren. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2020-08-20.

Multi charged particle beam blanking apparatus and multi charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: KR101943201B1. Автор: 히로시 마츠모토,히로후미 모리타,다카나오 도우야,무네히로 오가사와라. Владелец: 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지. Дата публикации: 2019-01-28.

Charged particle beam adjustment method, charged particle beam drawing method, and charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US20220068591A1. Автор: Takahito Nakayama,Ryoichi Kakehi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2022-03-03.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: US20240242921A1. Автор: Mans Johan Bertil OSTERBERG,Koen SCHUURBIERS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-07-18.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: EP4409617A1. Автор: Mans Johan Bertil OSTERBERG,Koen SCHUURBIERS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-08-07.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20200365368A1. Автор: Keisuke Goto,Kiyoshi Nakaso. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-11-19.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: EP4156227A1. Автор: Mans Johan Bertil OSTERBERG,Koen SCHUURBIERS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-03-29.

Charged particle beam device for inspection of a specimen with a plurality of charged particle beamlets

Номер патента: US20240006149A1. Автор: Pieter Kruit,Erik Rene Kieft,Ali Mohammadi-Gheidari. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-01-04.

Charged particle beam device for inspection of a specimen with a plurality of charged particle beamlets

Номер патента: US11961709B2. Автор: Pieter Kruit,Erik Rene Kieft,Ali Mohammadi-Gheidari. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-04-16.

Apparatus for and method of controlling an energy spread of a charged-particle beam

Номер патента: US11881374B2. Автор: Shakeeb Bin HASAN,Maikel Robert GOOSEN,Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Yan Ren. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-01-23.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20140124684A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi,Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi,INOUE Hideo,Iijima Tomohiro. Владелец: NUFLARE TECHNOLOGY, INC. Дата публикации: 2014-05-08.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20180138013A1. Автор: IIZUKA Osamu,SHIMIZU Yukitaka. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-05-17.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20180144905A1. Автор: IIZUKA Osamu,SHIMIZU Yukitaka. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-05-24.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE METHOD AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE APPARATUS

Номер патента: US20180166254A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-06-14.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20170229280A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi,KATO Yasuo,INOUE Hideo,KAWANA Ryoh. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2017-08-10.

MULTI-CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI-CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20160322196A1. Автор: Hasegawa Kei,INOUE Hideo,KIMURA Hayato,ONIMARU Yoshiaki. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2016-11-03.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US10790115B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-09-29.

Multi charged particle beam writing method and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: TW201719295A. Автор: Hiroshi Matsumoto,Hideo Inoue,Tomohiro Iijima,Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-06-01.

Multi-charge-particle beam lithography method and multi-charge-particle beam lithography device

Номер патента: JP2014112639A. Автор: Hideo Inoue,Yasushi Matsumoto,Tomohiro Iijima,Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara,良一 吉川,裕史 松本,智浩 飯島,宗博 小笠原,英郎 井上. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2014-06-19.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20180138012A1. Автор: IIZUKA Osamu,SHIMIZU Yukitaka. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-05-17.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20150155138A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi,YOSHIKAWA Ryoichi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2015-06-04.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20150194289A1. Автор: KATO Yasuo. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2015-07-09.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS

Номер патента: US20150340196A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi,Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2015-11-26.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20200328060A1. Автор: IIZUKA Osamu. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2020-10-15.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam adjusting method

Номер патента: KR102153655B1. Автор: 히로후미 모리타. Владелец: 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지. Дата публикации: 2020-09-08.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US9275824B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-03-01.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: TWI562185B. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-12-11.

Multi - charged particle beam rendering method and multi - charged particle beam rendering device

Номер патента: TWI516876B. Автор: Hiroshi Matsumoto,Hideo Inoue,Tomohiro Iijima,Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-01-11.

Charged-particle optical systems and pattern transfer apparatus comprising same

Номер патента: US6060711A. Автор: Hiroyasu Shimizu. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2000-05-09.

Charged particle beam device, multi-beam blanker for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device

Номер патента: KR102298428B1. Автор: 디터 윙클러,벤자민 존 쿡. Владелец: 아이씨티 인티그레이티드 써킷 테스팅 게젤샤프트 퓌어 할프라이터프뤼프테크닉 엠베하. Дата публикации: 2021-09-07.

Charged particle beam device, interchangeable multi-aperture arrangement for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device

Номер патента: KR102375188B1. Автор: 디터 윙클러,토마스 야신스키. Владелец: 아이씨티 인티그레이티드 써킷 테스팅 게젤샤프트 퓌어 할프라이터프뤼프테크닉 엠베하. Дата публикации: 2022-03-16.

Charged particle beam device, interchangeable multi-aperture arrangement for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device

Номер патента: US10978270B2. Автор: Dieter Winkler,Thomas Jasinski. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2021-04-13.

Charged particle beam device and method for operating a charged particle beam device

Номер патента: CN111341634A. Автор: 温克勒·迪特尔,杰辛斯基·托马斯. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2020-06-26.

Charged particle optical device, assessment apparatus, method of assessing a sample

Номер патента: WO2024110489A1. Автор: Willem Henk URBANUS,Marco Jan-Jaco Wieland,Johan Joost Koning,Laura DEL TIN,Johannes Cornelis Jacobus DE LANGEN. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-05-30.

Charged particle optical device, assessment apparatus, method of assessing a sample

Номер патента: EP4376048A1. Автор: Willem Henk URBANUS,Marco Jan-Jaco Wieland,Johan Joost Koning,Laura DEL TIN,Johannes Cornelis Jacobus DE LANGEN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-05-29.

Charged particle device, charged particle irradiation method, and analysis device

Номер патента: US20180174795A1. Автор: Teruo Kohashi. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2018-06-21.

Techniques for narrowing zero loss peaks in monochromated charged particles sources

Номер патента: US20240249905A1. Автор: Alexander Henstra,Ali Mohammadi-Gheidari. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-07-25.

Charged-particle apparatus

Номер патента: WO2023110316A1. Автор: Marijke SCOTUZZI,Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Yan Ren. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-06-22.

Device for irradiation with rays of charged particles has irradiation module for irradiation of photoresist films on which antistatic film adheres through radiation of rays of charged particles

Номер патента: DE102006006793A1. Автор: Hideaki Komami. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2006-09-21.

Multi charged particle beam exposure method and multi charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US10134565B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-11-20.

Charged particle optics, charged particle beam apparatus, and method for scanning a charged particle beam

Номер патента: US20240290571A1. Автор: Pieter Kruit,Benjamin Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2024-08-29.

Charged particle beam apparatus and image forming method of charged particle beam apparatus

Номер патента: US09859094B2. Автор: Wen Li,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Kazuki Ikeda,Takuma NISHIMOTO. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

Charged particle beam device, system for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device

Номер патента: US09666406B1. Автор: Stefan Lanio,Matthias FIRNKES,Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-05-30.

A computer-aided defect correction method of a charged particle beam device, defect correction device of a charged particle beam device and a computer program

Номер патента: WO2024146664A1. Автор: Stanislav Petras,Jan SOPOUSEK. Владелец: Tescan Group, A.S.. Дата публикации: 2024-07-11.

Multi charged particle beam exposure method and multi charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US20180166254A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-06-14.

Charged particle beam device and aberration correction method for charged particle beam device

Номер патента: US20190214222A1. Автор: Hideyuki Kazumi,Takeyoshi Ohashi,Zhaohui Cheng,Kotoko Urano. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-07-11.

Charged particle beam apparatus and trajectory correction method in charged particle beam apparatus

Номер патента: US09484181B2. Автор: Akira Ikegami,Hideyuki Kazumi,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-11-01.

Magnetic multipole device, charged particle beam apparatus, and method of influencing a charged particle beam propagating along an optical axis

Номер патента: US20240087837A1. Автор: Benjamin Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2024-03-14.

Charged particle beam apparatus, image forming method using a charged particle beam apparatus, and image processing apparatus

Номер патента: US09633818B2. Автор: Wen Li,Makoto Suzuki,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Kazuki Ikeda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-04-25.

Lens for a charged particle beam apparatus, charged particle beam apparatus, and method of focusing a charged particle beam

Номер патента: US20240212968A1. Автор: Pieter Kruit,Benjamin Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2024-06-27.

Multi charged particle beam irradiation apparatus, multi charged particle beam irradiation method, and multi charged particle beam adjustment method

Номер патента: US09916962B2. Автор: HIROFUMI Morita,Shinsuke Nishimura,Munehiro Ogasawara,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-03-13.

Multi charged particle beam irradiation apparatus, multi charged particle beam irradiation method, and multi charged particle beam adjustment method

Номер патента: US20170309440A1. Автор: HIROFUMI Morita,Shinsuke Nishimura,Munehiro Ogasawara,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-10-26.

Method and system for the removal and/or avoidance of contamination in charged particle beam systems

Номер патента: US20240017301A1. Автор: Marc Smits,Johan Joost Koning,Chris Franciscus Jessica Lodewijk,Hindrik Willem Mook,Ludovic Lattard. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2024-01-18.

Multi-charged particle beam writing apparatus and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: KR102057929B1. Автор: 오사무 이이즈카,유키타카 시미즈. Владелец: 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지. Дата публикации: 2019-12-20.

Multi-charged particle beam writing apparatus and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: JP6577787B2. Автор: 靖雄 加藤,良一 吉川,英郎 井上,加藤　靖雄,純 八島,隼人 木村. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-09-18.

Multi-charged particle beam writing apparatus and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: JP7210991B2. Автор: 靖雄 加藤,弘典 手操,純 八島,誠史 伊勢. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-01-24.

Multi charged particle beam writing apparatus, and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US20150303029A1. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-10-22.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US10937629B2. Автор: Yasuo Kato,Hironori Teguri,Jun Yashima,Masafumi Ise. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2021-03-02.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US10504696B2. Автор: Osamu Iizuka,Yukitaka Shimizu. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-12-10.

Multi-charged particle beam drawing apparatus and multi-charged particle beam drawing method

Номер патента: JP6545437B2. Автор: 裕信 松本. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-07-17.

Charged particle beam device, aperture arrangement for a charged particle beam device and method for operating a charged particle beam device

Номер патента: CN109427524B. Автор: 于尔根·弗洛森. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2021-12-28.

A device for providing an energy filtered charged particle image

Номер патента: WO1986007188A1. Автор: David Warren Turner. Владелец: KRATOS ANALYTICAL LIMITED. Дата публикации: 1986-12-04.

Charged particle beam lithography apparatus and charged particle beam pattern writing method

Номер патента: US20200266033A1. Автор: Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-08-20.

Charged particle beam lithography apparatus and charged particle beam pattern writing method

Номер патента: US20190198293A1. Автор: Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-06-27.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: US20240128043A1. Автор: Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Tom Van Zutphen,Jurgen VAN SOEST,Roy Ramon VEENSTRA. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-04-18.

Charged particle beam apparatus and sample manufacturing method

Номер патента: US20060097166A1. Автор: Koichiro Takeuchi,Mitsugu Sato,Tohru Ishitani,Tsuyoshi Ohnishi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2006-05-11.

Charged particle multi-beam apparatus including a manipulator device for manipulation of one or more charged particle beams

Номер патента: US09607806B2. Автор: Pieter Kruit,Aernout Christiaan Zonnevylle. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2017-03-28.

Data generation method, charged particle beam irradiation device, and computer-readable recording medium

Номер патента: US20230053272A1. Автор: Kenichi Yasui. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-02-16.

Apparatus for multiple charged-particle beams

Номер патента: US12080515B2. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Zong-Wei Chen. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-09-03.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20230317399A1. Автор: Shunsuke Mizutani,Toshimasa Kameda,Tomoyo Sasaki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-10-05.

Aperture body, flood column and charged particle tool

Номер патента: US20230005699A1. Автор: Christiaan OTTEN,Jurgen VAN SOEST,Christian Teunissen,Boudewjin Weijert Herman Jan VAN DER KROON. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-01-05.

Method and system for forming a pattern on a surface using multi-beam charged particle beam lithography

Номер патента: WO2015138362A1. Автор: Akira Fujimura. Владелец: D2S, INC.. Дата публикации: 2015-09-17.

Stage devices including linear motors that produce reduced beam-perturbing stray magnetic fields, and charged-particle-beam microlithography systems comprising same

Номер патента: US20030111614A1. Автор: Keiichi Tanaka. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-06-19.

Composite charged particle beam apparatus

Номер патента: US20210151283A1. Автор: Hiroyuki Suzuki,Shinya Kitayama. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2021-05-20.

Charged particle apparatus and method

Номер патента: EP4352773A1. Автор: Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Tom Van Zutphen,Jurgen VAN SOEST,Roy Ramon VEENSTRA. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-04-17.

Charged particle beam system and control method therefor

Номер патента: EP4167267A1. Автор: Takeshi Kaneko,Isamu Ishikawa,Eiji Okunishi. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-04-19.

Data generation method, charged particle beam irradiation device, and computer-readable recording medium

Номер патента: US11942305B2. Автор: Kenichi Yasui. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-03-26.

Apparatus and method for irradiating a surface of a sample using charged particle beams

Номер патента: NL2016853B1. Автор: KRUIT Pieter,Wouter Hagen Cornelis,Scotuzzi Marijke. Владелец: Univ Delft Tech. Дата публикации: 2017-12-11.

Apparatus and methods for reducing Coulombic blur in charged-particle-beam microlithography

Номер патента: US6545282B2. Автор: Hiroyasu Simizu. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-04-08.

Multi-beam current quantity measuring method, multi-charged particle drawing control device, and multi-charged particle beam drawing device

Номер патента: US09734984B2. Автор: Hideyuki Iwata. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Charged particle source arrangement for a charged particle beam device, charged particle beam device for sample inspection, and method for providing a primary charged particle beam for sample inspection in a charged particle beam

Номер патента: US09666404B2. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-05-30.

Shot data generation method and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US9514914B2. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-12-06.

Shot data generation method and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US09514914B2. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-12-06.

Beam detector, multi charged particle beam irradiation apparatus, and beam detector adjustment method

Номер патента: US20240071714A1. Автор: Yasutaka Sato,Kiminobu Akeno. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-02-29.

Charged particle beam device and method for inspecting and/or imaging a sample

Номер патента: EP4154291A1. Автор: Dieter Winkler,Bernd Wöllert,Birgit Schabinger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-03-29.

Charged particle beam system and method of operating a charged particle beam system

Номер патента: US09627172B2. Автор: Shawn Mcvey,John A. Notte, IV,Weijie Huang,FHM-Faridur Rahman. Владелец: Carl Zeiss Microscopy LLC. Дата публикации: 2017-04-18.

Charged particle beam writing method, charged particle beam writing apparatus, and computer-readable recording medium

Номер патента: US11804361B2. Автор: Munehiro Ogasawara,Haruyuki NOMURA,Noriaki Nakayamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-10-31.

Charged particle beam device and method for inspecting and/or imaging a sample

Номер патента: WO2021233584A1. Автор: Dieter Winkler,Bernd Wöllert,Birgit Schabinger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2021-11-25.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US20210305008A1. Автор: Taku Yamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2021-09-30.

Charged particle radiation apparatus

Номер патента: US9153418B2. Автор: Yoshihiro Kimura,Akihiro Miura,Fumihiro Sasajima. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-10-06.

Charged particle radiation apparatus

Номер патента: US20150076349A1. Автор: Yoshihiro Kimura,Akihiro Miura,Fumihiro Sasajima. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-03-19.

Charged particle beam writing method, computer-readable recording medium, and charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20140166869A1. Автор: Osamu Iizuka,Hideyuki Tsurumaki,Sumito NAKADA,Hikaru YAMAMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2014-06-19.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS, AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20160181062A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi,KATO Yasuo,INOUE Hideo,KAWANA Ryoh. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2016-06-23.

Charged particle lithography system and beam generator

Номер патента: US09653261B2. Автор: Alexander Hendrik Vincent van Veen,Willem Henk URBANUS. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2017-05-16.

Charged particle gun and charged particle beam device

Номер патента: GB2605035A. Автор: Sasaki Tomoyo. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-09-21.

Electron source and charged particle beam device

Номер патента: US11929230B2. Автор: Souichi Katagiri,Takashi Doi,Kazuhiro Honda,Akira Ikegami,Aki Takei,Masahiro Fukuta,Keigo Kasuya,Soichiro Matsunaga. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-03-12.

Methods and devices for measuring and adjusting illumination uniformity obtained from a charged-particle illumination-optical system

Номер патента: US20030096179A1. Автор: Takehisa Yahiro. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2003-05-22.

Methods and devices for measuring and adjusting illumination uniformity obtained from a charged-particle illumination-optical system

Номер патента: US20010016294A1. Автор: Takehisa Yahiro. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2001-08-23.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20190362938A1. Автор: Chikako ABE,Hitoshi SUGAHARA. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-11-28.

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, INTERCHANGEABLE MULTI-APERTURE ARRANGEMENT FOR A CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND METHOD FOR OPERATING A CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Номер патента: US20200203116A1. Автор: Winkler Dieter,JASINSKI Thomas. Владелец: . Дата публикации: 2020-06-25.

Charged Particle Source and Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20230238205A1. Автор: Kazuhiro Honda,Masahiro Fukuta. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-07-27.

Charged Particle Source and Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210296076A1. Автор: Kazuhiro Honda,Masahiro Fukuta. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-09-23.

Charged particle beam device and phase plate

Номер патента: US10504695B2. Автор: Arthur Malcolm Blackburn. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-12-10.

Charged particle source and charged particle beam device

Номер патента: US11990311B2. Автор: Kazuhiro Honda,Masahiro Fukuta. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-05-21.

Charged particle beam device and phase plate

Номер патента: US20180330916A1. Автор: Arthur Malcolm Blackburn. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-11-15.

Multi-charged particle beam image acquisition apparatus and multi-charged particle beam image acquisition method

Номер патента: US20210005422A1. Автор: Kazuhiro Nakashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2021-01-07.

Spatial phase manipulation of charged particle beam

Номер патента: US20200258712A1. Автор: Johan VERBEECK,Armand Béché. Владелец: UNIVERSITEIT ANTWERPEN. Дата публикации: 2020-08-13.

Spatial phase manipulation of charged particle beam

Номер патента: EP3698394A1. Автор: Johan VERBEECK,Armand Béché. Владелец: UNIVERSITEIT ANTWERPEN. Дата публикации: 2020-08-26.

Data generation method and charged particle beam irradiation device

Номер патента: US11749499B2. Автор: Kenichi Yasui. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-09-05.

Device and method for calibrating a charged-particle beam

Номер патента: EP4428896A1. Автор: Elmar Platzgummer. Владелец: IMS Nanofabrication GmbH. Дата публикации: 2024-09-11.

Device and Method for Calibrating a Charged-Particle Beam

Номер патента: US20240304407A1. Автор: Elmar Platzgummer. Владелец: IMS Nanofabrication GmbH. Дата публикации: 2024-09-12.

Charged particle beam writing apparatus, aperture unit, and charged particle beam writing method

Номер патента: US09449792B2. Автор: Tetsuro Nishiyama. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-09-20.

Multi charged particle beam apparatus, and shape adjustment method of multi charged particle beam image

Номер патента: US9966228B2. Автор: Osamu Iizuka. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-05-08.

Composite Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20150221468A1. Автор: Toshihide Agemura,Tsunenori Nomaguchi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-08-06.

Charged particle beam apparatus and method of controlling the charged particle beam apparatus

Номер патента: DE112014004025B4. Автор: Tsutomu Saitou,Kenji Aoki,Mitsuhiro Nakamura,Kunji Shigeto,Kotaro Hosoya. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-01-21.

A charged particle beam device and method for controlling the charged particle beam device

Номер патента: DE112014004025T5. Автор: Tsutomu Saitou,Kenji Aoki,Mitsuhiro Nakamura,Kunji Shigeto,Kotaro Hosoya. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2016-07-28.

Particle beam system and the use thereof for flexibly setting the current intensity of individual particle beams

Номер патента: US12119204B2. Автор: Dirk Zeidler,Hans Fritz,Georgo Metalidis,Stefan Schubert,Ralf Lenke. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-10-15.

Charged particle beam substrate inspection using both vector and raster scanning

Номер патента: US09620332B1. Автор: Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam,Cong Tran,Enden David Liu. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2017-04-11.

Charged particle beam substrate inspection using both vector and raster scanning

Номер патента: US09466463B1. Автор: Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam,Cong Tran,Enden David Liu. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2016-10-11.

CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM AND METHOD OF OPERATING A CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM

Номер патента: US20150008332A1. Автор: Groholski Alexander,McVey Shawn,Notte,IV John A.,Hill Raymond,Rahman FHM-Faridur,Huang Weijie. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-08.

Charged Particle Beam System and Method of Operating a Charged Particle Beam System

Номер патента: US20160104598A1. Автор: McVey Shawn,Notte,IV John A.,Rahman FHM-Faridur,Huang Weijie. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-14.

Charged Particle Beam System and Method of Operating a Charged Particle Beam System

Номер патента: US20160111243A1. Автор: McVey Shawn,Notte,IV John A.,Rahman FHM-Faridur,Huang Weijie. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-21.

Charged particle beam system and method of operating a charged particle beam system

Номер патента: US9530612B2. Автор: Alexander Groholski,Raymond Hill,John A. Notte, IV,Mark D. DiManna,Robert Conners. Владелец: Carl Zeiss Microscopy LLC. Дата публикации: 2016-12-27.

Charged particle beam system and method of operating a charged particle beam system

Номер патента: US9640364B2. Автор: Shawn Mcvey,John A. Notte, IV,Weijie Huang,FHM-Faridur Rahman. Владелец: Carl Zeiss Microscopy LLC. Дата публикации: 2017-05-02.

Charged particle beam system and method of operating a charged particle beam system

Номер патента: US9536699B2. Автор: Shawn Mcvey,Alexander Groholski,Raymond Hill,John A. Notte, IV,Weijie Huang,FHM-Faridur Rahman. Владелец: Carl Zeiss Microscopy LLC. Дата публикации: 2017-01-03.

Charged particle beam device and dome detection method for charged particle beam device

Номер патента: TWI576887B. Автор: 佛意森傑根. Владелец: Ｉｃｔ積體電路測試股份有限公司. Дата публикации: 2017-04-01.

Method of generating write data, multi charged particle beam writing apparatus, and pattern inspection apparatus

Номер патента: US20160103945A1. Автор: Kenichi Yasui,Shigehiro Hara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-04-14.

High throughput multi-beam charged particle inspection system with dynamic control

Номер патента: EP4411782A2. Автор: Michael Behnke,Ingo Müller,Ulrich Bihr,Dirk Zeidler,Andreas Adolf,Nicolas Kaufmann. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-08-07.

Method of generating write data, multi charged particle beam writing apparatus, and pattern inspection apparatus

Номер патента: US09558315B2. Автор: Kenichi Yasui,Shigehiro Hara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-31.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US20180061614A1. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-03-01.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US20190122857A1. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-04-25.

Method and system for forming a pattern on a surface using multi-beam charged particle lithography

Номер патента: US20150254393A1. Автор: Akira Fujimura. Владелец: D2S Inc. Дата публикации: 2015-09-10.

Charged Particle Gun and Charged Particle Beam System

Номер патента: US20230178325A1. Автор: Noriaki Arai,Masahiro Fukuta,Keigo Kasuya. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-06-08.

Method for inspecting a specimen and charged particle beam device

Номер патента: WO2021078352A1. Автор: Dieter Winkler,Jürgen Frosien,Pieter Kruit,Ralf Schmid,Benjamin John Cook,Ron Naftali,Roman BARDAY. Владелец: Applied Materials Israel Ltd.. Дата публикации: 2021-04-29.

Charged particle beam device

Номер патента: WO2004086452A2. Автор: Juergen Frosien. Владелец: Ict, Integrated Circuit Testing Gesellschaft Für Halbleiterprüftechnik Mbh. Дата публикации: 2004-10-07.

Charged particle assessment tool, inspection method

Номер патента: US20240249912A1. Автор: Marco Jan-Jaco Wieland. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-07-25.

Charged particle beam lens apparatus, charged particle beam column, and charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US20170213689A1. Автор: Shinichi Kojima,Tomohiko Abe. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2017-07-27.

Charged particle beam apparatus and control method for charged particle beam apparatus

Номер патента: EP4246551A1. Автор: Takeo Sasaki,Kazuki Yagi,Kanako Noguchi. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-09-20.

Charged Particle Beam Apparatus and Control Method for Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20230290607A1. Автор: Takeo Sasaki,Kazuki Yagi,Kanako Noguchi. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-09-14.

Charged particle beam lens apparatus, charged particle beam column, and charged particle beam exposure apparatus

Номер патента: US10049854B2. Автор: Shinichi Kojima,Tomohiko Abe. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2018-08-14.

Charged Particle Beam Writing Apparatus and Charged Particle Beam Writing Method

Номер патента: US20190027340A1. Автор: Satoru Hirose,Ryosuke Ueba,Rieko Nishimura. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-01-24.

Charged particle beam writing apparatus and method utilizing a sum of the weighted area density of each figure pattern

Номер патента: US09837247B2. Автор: Yasuo Kato,Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-12-05.

Charged particle beam drawing apparatus and charged particle beam drawing method

Номер патента: US09812284B2. Автор: Hideki Matsui. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-11-07.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US7928414B2. Автор: Takayuki Abe. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2011-04-19.

Multiple charged particle beam writing method, and multiple charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20190198294A1. Автор: Hideo Inoue. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-06-27.

Method for evaluating charged particle beam drawing apparatus

Номер патента: US9812289B2. Автор: Satoru Hirose,Takayuki Ohnishi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-11-07.

Method for evaluating charged particle beam drawing apparatus

Номер патента: US9514915B2. Автор: Satoru Hirose,Takayuki Ohnishi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-12-06.

Method for evaluating charged particle beam drawing apparatus

Номер патента: US20160365223A1. Автор: Satoru Hirose,Takayuki Ohnishi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-12-15.

Method for evaluating charged particle beam drawing apparatus

Номер патента: US20160233052A1. Автор: Satoru Hirose,Takayuki Ohnishi. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-08-11.

PARTICLE BEAM SYSTEM FOR AZIMUTHAL DEFLECTION OF INDIVIDUAL PARTICLE BEAMS AND METHOD FOR AZIMUTH CORRECTION IN A PARTICLE BEAM SYSTEM

Номер патента: US20220102104A1. Автор: Major Andras G.,Zeidler Dirk,Jacobi Joerg,Thoma Arne,Fritz Hans. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

Charged Particle Beam System and Control Method Therefor

Номер патента: US20230343550A1. Автор: Takamitsu Saito. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-10-26.

Charged particle beam system and control method therefor

Номер патента: EP4266346A1. Автор: Takamitsu Saito. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-10-25.

Focusing apparatus for uniform application of charged particle beam

Номер патента: US4276477A. Автор: Harald A. Enge. Владелец: Varian Associates Inc. Дата публикации: 1981-06-30.

Data generation method and charged particle beam irradiation device

Номер патента: US20220093360A1. Автор: Kenichi Yasui. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2022-03-24.

Methods and systems for forming a pattern on a surface using multi-beam charged particle beam lithography

Номер патента: US20200051781A1. Автор: Akira Fujimura,Michael J. Meyer,Thang Nguyen,Ajay Baranwal,Suhas Pillai. Владелец: D2S Inc. Дата публикации: 2020-02-13.

Device for spot size measurement at wafer level using a knife edge and a method for manufacturing such a device.

Номер патента: NL2011209A. Автор: Paul IJmert SCHEFFERS,Jan Andries Meijer,Abdou Sarr. Владелец: Mapper Lithography Ip Bv. Дата публикации: 2013-09-25.

Charged-particle-beam microlithography apparatus and methods including optical corrections made during subfield exposures

Номер патента: US20010052579A1. Автор: Kazuaki Suzuki,Teruaki Okino,Noriyuki Hirayanagi,Shintaro Kawata. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2001-12-20.

Charged particle beam drawing data production apparatus and charged particle beam drawing system

Номер патента: US5796408A. Автор: Makoto Kanno,Koichi Moriizumi,Kinya Kamiyama,Hironobu Taoka. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 1998-08-18.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09875876B2. Автор: Jun Yashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-01-23.

Method and system for dimensional uniformity using charged particle beam lithography

Номер патента: US09859100B2. Автор: Akira Fujimura,Robert C. Pack,Kazuyuki Hagiwara. Владелец: D2S Inc. Дата публикации: 2018-01-02.

Charged particle beam system and method of operating thereof

Номер патента: US9305740B2. Автор: Jürgen Frosien,Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2016-04-05.

Apparatus and method for controlling the beam current of a charged particle beam

Номер патента: WO2004088709A1. Автор: Josef Sellmair. Владелец: Ict, Integrated Circuit Testing Gesellschaft Für Halbleiterprüftechnik Mbh. Дата публикации: 2004-10-14.

Apparatus and method for controlling the beam current of a charged particle beam

Номер патента: US7345436B2. Автор: Josef Sellmair. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2008-03-18.

Device for spot size measurement at wafer level using a knife edge and a method for manufacturing such a device

Номер патента: US20150001423A1. Автор: Paul IJmert SCHEFFERS,Jan Andries Meijer,Abdou Sarr. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2015-01-01.

Generation and acceleration of charged particles using compact devices and systems

Номер патента: US09867272B2. Автор: Yue Shi,Amit Lal,Serhan Ardanuc,June-Ho HWANG,Farhan RANA. Владелец: CORNELL UNIVERSITY. Дата публикации: 2018-01-09.

Generation and acceleration of charged particles using compact devices and systems

Номер патента: US20180343734A1. Автор: Yue Shi,Amit Lal,Serhan Ardanuc,June-Ho HWANG,Farhan RANA. Владелец: CORNELL UNIVERSITY. Дата публикации: 2018-11-29.

Apparatus for chopping a charged particle beam

Номер патента: US4626690A. Автор: Hideo Todokoro,Tsutomu Komoda. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1986-12-02.

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, MULTI-BEAM BLANKER FOR A CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND METHOD FOR OPERATING A CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Номер патента: US20200027687A1. Автор: Winkler Dieter,Cook Benjamin John. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-23.

Divergent charged particle implantation for improved transistor symmetry

Номер патента: US20080206971A1. Автор: James D. Bernstein,Lance S. Robertson,Jiejie Xu,Said Ghneim,Jeffrey Loewecke. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2008-08-28.

Divergent charged particle implantation for improved transistor symmetry

Номер патента: US7385202B2. Автор: James D. Bernstein,Lance S. Robertson,Jiejie Xu,Said Ghneim,Jeffrey Loewecke. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2008-06-10.

Divergent Charged Particle Implantation for Improved Transistor Symmetry

Номер патента: US20080142724A1. Автор: James D. Bernstein,Lance S. Robertson,Jiejie Xu,Said Ghneim,Jeffrey Loewecke. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2008-06-19.

Blanking device for multi-beam of charged particle writing apparatus using multi-beam of charged particle and defective beam blocking method for multi-beam of charged particle

Номер патента: US09805905B2. Автор: Hiroshi Yamashita,Hiroshi Matsumoto,Kazuhiro Chiba,Ryoichi Yoshikawa. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-10-31.

Multi charged particle beam exposing method, and multi charged particle beam exposing apparatus

Номер патента: US20170207064A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-07-20.

Multi charged particle beam exposing method, and multi charged particle beam exposing apparatus

Номер патента: US09881770B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-01-30.

Charged particle beam device and image processing method in charged particle beam device

Номер патента: US20200066484A1. Автор: Yoshinobu Hoshino,Masashi Watanabe,Yuichi Sakurai,Shigeru Kawamata,Katsunori Hirano,Masato Kamio. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2020-02-27.

Charged particle beam device and image processing method in charged particle beam device

Номер патента: US10522325B2. Автор: Yoshinobu Hoshino,Masashi Watanabe,Yuichi Sakurai,Shigeru Kawamata,Katsunori Hirano,Masato Kamio. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-12-31.

Charged particle beam column and method for directing a charged particle beam

Номер патента: WO2003100815A2. Автор: Juergen Frosien,Igor Petrov,Zvika Rosenberg,Pavel Adamec,Ralf Degenhardt,Igor KRYVITZ. Владелец: Applied Materials Israel, Ltd.. Дата публикации: 2003-12-04.

Charged Particle Beam Device and Sample Observation Method in Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20180068826A1. Автор: Takashi Kubo. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-03-08.

Charged particle beam device and evaluation method using the charged particle beam device

Номер патента: US20120070066A1. Автор: Hiroyuki Kitsunai,Masaru Matsushima,Shuichi Nakagawa,Go Miya,Seiichiro Kanno. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2012-03-22.

Charged particle beam device and method for inspecting and/or imaging a sample

Номер патента: WO2021233583A1. Автор: Dieter Winkler,Bernd Wöllert,Birgit Schabinger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2021-11-25.

Charged particle beam device and method for inspecting and/or imaging a sample

Номер патента: EP4154290A1. Автор: Dieter Winkler,Bernd Wöllert,Birgit Schabinger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-03-29.

Method of operating a particle beam system, particle beam system and computer program product

Номер патента: US11087957B2. Автор: Daniel Fischer,Josef Biberger,Pedro Besteiro. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2021-08-10.

Charged-particle apparatus, multi-device apparatus, method of using charged-particle apparatus and control method

Номер патента: US20240331968A1. Автор: Marijke SCOTUZZI,Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Yan Ren. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-03.

Composite charged particle detector, charged particle beam device, and charged particle detector

Номер патента: US09761409B2. Автор: Toshihide Agemura,Tsunenori Nomaguchi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-09-12.

Multi-charged-particle-beam writing method, multi-charged-particle-beam writing apparatus, and computer-readable recording medium

Номер патента: US12046447B2. Автор: Taku Yamada,Takahito Nakayama. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-23.

Method for analyzing disturbing influences in a multi-beam particle microscope, associated computer program product and multi-beam particle microscope

Номер патента: US20240203684A1. Автор: David Disterheft. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-06-20.

Alignment and registration targets for multiple-column charged particle beam lithography and inspection

Номер патента: US09478395B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Multi charged particle beam writing apparatus and method for correcting a current distribution of groups of charged particle beams

Номер патента: US9543119B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-10.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US11908659B2. Автор: HIROFUMI Morita,Toshiki Kimura,Mitsuhiro Okazawa,Takanao TOUYA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-02-20.

Adjustment method for charged particle beam drawing apparatus and charged particle beam drawing method

Номер патента: US09659746B2. Автор: Takashi Nakamura,Rieko Nishimura. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-05-23.

Method for detecting substrate position of charged particle beam photolithography apparatus and charged particle beam photolithography apparatus

Номер патента: US8237139B2. Автор: Yoshiro Yamanaka,Michihiro Kawaguchi,Kazuhiro Shiba,Kota Fujiwara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2012-08-07.

Method for detecting substrate position of charged particle beam photolithography apparatus and charged particle beam photolithography apparatus

Номер патента: US20100290023A1. Автор: Yoshiro Yamanaka,Michihiro Kawaguchi,Kazuhiro Shiba,Kota Fujiwara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2010-11-18.

Control device, charged particle beam apparatus, program and method for producing processed product

Номер патента: US20170278673A1. Автор: Hideo Sakai,Satoshi Tomimatsu,Hiroki Kawada,Tsuyoshi OONISHI. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-09-28.

Control device, charged particle beam apparatus, program and method for producing processed product

Номер патента: US9934940B2. Автор: Hideo Sakai,Satoshi Tomimatsu,Hiroki Kawada,Tsuyoshi OONISHI. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2018-04-03.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09734981B2. Автор: Hitoshi Higurashi,Saori GOMI. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Apparatus for controlling a charged particle beam and a lithographic process in which the apparatus is used

Номер патента: US5663568A. Автор: Warren Kazmir Waskiewicz. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 1997-09-02.

On-axis illumination and alignment for charge control during charged particle beam inspection

Номер патента: US20180364564A1. Автор: Stefan Lanio,Alex Goldenshtein. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2018-12-20.

Composite Charged Particle Beam Detector, Charged Particle Beam Device, and Charged Particle Beam Detector

Номер патента: US20170358421A1. Автор: Toshihide Agemura,Tsunenori Nomaguchi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-12-14.

Multiple charged particle beam writing method and multiple charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20230420217A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-12-28.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US7449692B2. Автор: Takashi Onishi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2008-11-11.

Charged particle beam writing apparatus, and apparatus and method for correcting dimension error of pattern

Номер патента: US20090200488A1. Автор: Takayuki Abe,Jun Yashima. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2009-08-13.

Particle beam irradiation apparatus for irradiating a subject with an arbitrary number of particles

Номер патента: US09847210B2. Автор: Hiroshi Inoue,Kazuo Yamamoto,Yusuke Sakamoto. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-12-19.

Charged particle beam device

Номер патента: US09697987B2. Автор: Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Hideyuki Kazumi,Toshiyuki Yokosuka,Kumiko Shimizu,Shahedul Hoque,Chahn Lee. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-07-04.

Charged Particle Beam Device and Method for Controlling Same

Номер патента: US20240242928A1. Автор: Koichi Kuroda. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-07-18.

Charged-particle beam apparatus for voltage-contrast inspection and methods thereof

Номер патента: EP4437577A1. Автор: Chia Wen Lin,Xuedong Liu,Weiming Ren,Xiaoyu JI,Datong ZHANG. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-02.

Charged particle beam apparatus and image acquiring method

Номер патента: EP4099359A1. Автор: Takeshi Otsuka. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2022-12-07.

Charged particle beam apparatus and image acquiring method

Номер патента: US12148594B2. Автор: Takeshi Otsuka. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2024-11-19.

Charged particle beam device

Номер патента: US11798780B2. Автор: Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Hideyuki Kazumi,Toshiyuki Yokosuka,Kumiko Shimizu,Shahedul Hoque,Chahn Lee. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-10-24.

Multi-beam particle beam system

Номер патента: US20240234080A9. Автор: Thomas Schmid,Dirk Zeidler. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-07-11.

Charged particle beam column and method of operating same

Номер патента: US8558190B2. Автор: Dirk Preikszas. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2013-10-15.

Charged particle beam column and method of operating same

Номер патента: US20100327179A1. Автор: Dirk Preikszas. Владелец: Carl Zeiss NTS GmbH. Дата публикации: 2010-12-30.

Charged particle beam device

Номер патента: US8212224B2. Автор: Hiroyuki Kobayashi,Akiko Fujisawa,Eiko Nakazawa. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2012-07-03.

Charged particle beam application device

Номер патента: US20150364290A1. Автор: Akira Ikegami,Naomasa Suzuki,Hideyuki Kazumi,Momoyo Enyama,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-12-17.

Charged particle beam application device

Номер патента: US09704687B2. Автор: Akira Ikegami,Naomasa Suzuki,Hideyuki Kazumi,Momoyo Enyama,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-07-11.

Method for positioning objects in a particle beam microscope with the aid of a flexible particle beam barrier

Номер патента: US20220375714A1. Автор: Josef Biberger,Michal Postolski,Miriam Tabea Kaefer,Holger Ehm. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2022-11-24.

Charged Particle Beam Device and Control Method of Optical System of Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20200343072A1. Автор: Yuko Shimizu,Kazuya Yamazaki,Hirofumi Iijima,Tomohiro NAKAMICHI,Naoki Hosogi,Takuma FUKUMURA. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2020-10-29.

Method for inspecting a specimen and charged particle multi-beam device

Номер патента: US09922796B1. Автор: Jürgen Frosien,Pieter Kruit. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2018-03-20.

Charged particle beam device

Номер патента: US09997326B2. Автор: Akira Ikegami,Hideyuki Kazumi,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-06-12.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20190035600A1. Автор: Satoru Yamaguchi,Kumiko Shimizu,Kei Sakai,Hideki ITAI,Yasunori Takasugi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-01-31.

Sample Base, Charged Particle Beam Device and Sample Observation Method

Номер патента: US20150318143A1. Автор: Yusuke Ominami,Takashi Ohshima,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-11-05.

Sample base, charged particle beam device and sample observation method

Номер патента: US09508527B2. Автор: Yusuke Ominami,Takashi Ohshima,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-11-29.

Charged particle beam column, charged particle beam chromatic aberration corrector, and method of correcting charged particle beam chromatic aberration

Номер патента: US20240222063A1. Автор: Pieter Kruit,John Breuer. Владелец: Ict Integrated Circuit Testing Gesellschaft Fuer Halbleiterpueftechnik Mbh. Дата публикации: 2024-07-04.

Charged-particle beam apparatus with large field-of-view and methods thereof

Номер патента: WO2023198397A1. Автор: Weiming Ren,Xiaoyu JI. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-10-19.

Operation methods of 2d pixelated detector for an apparatus with plural charged-particle beams and mapping surface potentials

Номер патента: US20240079204A1. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Oleg Krupin,Yongxin Wang. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-03-07.

Apparatus and method for directing charged particle beam towards a sample

Номер патента: US20230326706A1. Автор: Marco Jan-Jaco Wieland. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-10-12.

Charged Particle Beam Apparatus and Image Acquiring Method

Номер патента: US20220392738A1. Автор: Takeshi Otsuka. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2022-12-08.

Charged particle beam device

Номер патента: US20090218507A1. Автор: Hiroyuki Kobayashi,Akiko Fujisawa,Eiko Nakazawa. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2009-09-03.

Charged particle beam column and method of operating same

Номер патента: US20120025095A1. Автор: Dirk Preikszas. Владелец: Carl Zeiss NTS GmbH. Дата публикации: 2012-02-02.

Charged particle beam inspection apparatus and method

Номер патента: WO2024132808A1. Автор: Weiming Ren,Xiaoyu JI,Xuechen ZHU,Datong ZHANG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-06-27.

Charged Particle Detector and Charged Particle Beam Device Using the Same

Номер патента: US20180261425A1. Автор: Makoto Sakakibara,Yasuhiro Shirasaki,Momoyo Enyama,Kaori Shirahata. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2018-09-13.

Charged particle beam device and sample observation method

Номер патента: GB2519038A. Автор: Yusuke Ominami,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2015-04-08.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210175047A1. Автор: Ichiro Fujimura,Hiroki Kannami,Hironori Itabashi. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-06-10.

Charged particle microscope device and image capturing method

Номер патента: US09460889B2. Автор: Kenji Nakahira,Atsushi Miyamoto. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-10-04.

Multi-charged particle beam writing apparatus and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: KR102303435B1. Автор: 히로시 마츠모토. Владелец: 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지. Дата публикации: 2021-09-23.

Multi-charged particle beam writing apparatus and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: KR102026648B1. Автор: 오사무 이이즈카,유키타카 시미즈. Владелец: 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지. Дата публикации: 2019-10-04.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20130240750A1. Автор: Touya Takanao,Tamamushi Shuichi,Ogasawara Munehiro. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2013-09-19.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20130252145A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2013-09-26.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US20160161849A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-06-09.

MULTI-CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI-CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20210257185A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2021-08-19.

Multi Charged Particle Beam Inspection Apparatus, and Multi Charged Particle Beam Inspection Method

Номер патента: US20180286630A1. Автор: TAKEKOSHI Hidekazu. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2018-10-04.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US8907306B2. Автор: Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2014-12-09.

Multi-charged particle beam writing apparatus and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: TW201830151A. Автор: 飯修,清水幸毅. Владелец: 日商紐富來科技股份有限公司. Дата публикации: 2018-08-16.

Multi-charged particle beam drawing device and multi-charged particle beam drawing method

Номер патента: CN110794650A. Автор: 松本裕史. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-02-14.

Multi-charged particle beam drawing device and multi-charged particle beam drawing method

Номер патента: CN111812947A. Автор: 饭塚修. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-10-23.

Microscopy imaging method for 3D tomography with predictive drift tracking for multiple charged particle beams

Номер патента: US11923168B2. Автор: Ken Guillaume Lagarec,Michael William Phaneuf. Владелец: Fibics Inc. Дата публикации: 2024-03-05.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20140021366A1. Автор: Akira Ikegami,Hideyuki Kazumi,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2014-01-23.

Charged-particle-beam device and method for correcting aberration

Номер патента: US9484182B2. Автор: Takaho Yoshida,Hisanao Akima. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-11-01.

Charged particle microscope apparatus and image acquisition method of charged particle microscope apparatus

Номер патента: US20140319341A1. Автор: Maki Tanaka. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2014-10-30.

Apparatus and method for projecting an array of multiple charged particle beamlets on a sample

Номер патента: US12123841B2. Автор: Andries Pieter Johan EFFTING. Владелец: Delmic IP BV. Дата публикации: 2024-10-22.

Charged Particle Beam Drawing Device and Method of Controlling Charged Particle Beam Drawing Device

Номер патента: US20220051869A1. Автор: Iwanaga Masakazu. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-17.

CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS AND SAMPLE PROCESSING METHOD USING CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS

Номер патента: US20140291511A1. Автор: UEMOTO Atsushi,ASAHATA Tatsuya,MAN Xin. Владелец: HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION. Дата публикации: 2014-10-02.

Charged Particle Beam Apparatus, Image Forming Method Using a Charged Particle Beam Apparatus, and Image Processing Apparatus

Номер патента: US20160276128A1. Автор: Takahashi Hiroyuki,Ikeda Kazuki,Li Wen,SUZUKI Makoto,KAWANO Hajime. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-22.

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND IMAGE PROCESSING METHOD IN CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Номер патента: US20180301316A1. Автор: WATANABE Masashi,Hoshino Yoshinobu,Kawamata Shigeru,Sakurai Yuichi,Kamio Masato,HIRANO Katsunori. Владелец: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION. Дата публикации: 2018-10-18.

INTERFERENCE OPTICAL SYSTEM UNIT, CHARGED PARTICLE BEAM INTERFERENCE APPARATUS, AND METHOD FOR OBSERVING CHARGED PARTICLE BEAM INTERFERENCE IMAGE

Номер патента: US20190295816A1. Автор: SHIMADA KEIKO,HARADA Ken,IWASAKI Yoh. Владелец: . Дата публикации: 2019-09-26.

Charged particle beam device and trajectory correction method in charged particle beam device

Номер патента: JP2014143096A. Автор: Akira Ikegami,Hideyuki Kazumi,秀之 数見,明 池上,Hideto Doi,英登 土肥. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2014-08-07.

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND ABERRATION CORRECTION METHOD FOR CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Номер патента: US20190214222A1. Автор: Ohashi Takeyoshi,Urano Kotoko,Kazumi Hideyuki,Cheng Zhaohui. Владелец: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION. Дата публикации: 2019-07-11.

Charged Particle Beam Apparatus and Trajectory Correction Method in Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20150357155A1. Автор: Kazumi Hideyuki,Dohi Hideto,Ikegami Akira. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-10.

Charged particle beam device and method for adjusting the charged particle beam device

Номер патента: DE112017006885B4. Автор: Masaki Hasegawa,Tomohiko Ogata,Hisaya Murakoshi,Noriyuki Kaneoka,Katsunori Onuki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-07-14.

Apparatus and method for projecting an array of multiple charged particle beamlets on a sample

Номер патента: WO2021144468A1. Автор: Andries Pieter Johan EFFTING. Владелец: Delmic Ip B.V.. Дата публикации: 2021-07-22.

Apparatus and method for projecting an array of multiple charged particle beamlets on a sample

Номер патента: EP4090955A1. Автор: Andries Pieter Johan EFFTING. Владелец: Delmic IP BV. Дата публикации: 2022-11-23.

Setting position of a particle beam device component

Номер патента: US11837434B2. Автор: Gero Walter,Andreas Schmaunz,Bernd Stenke. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2023-12-05.

Particle beam system for the azimuthal deflection of individual particle beams and method for azimuth correction in a particle beam system

Номер патента: DE102019004124A1. Автор: András G. MAJOR,Dirk Zeidler,Hans Fritz,Arne Thoma,Jörg Jacobi. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2020-12-17.

Particle beam system for azimuthal deflection of individual particle beams and method for azimuth correction in a particle beam system

Номер патента: TWI747301B. Автор: 迪瑞克 列德雷,漢斯 弗瑞茲,安卓斯Ｇ 瑪喬,艾琳 湯瑪,喬治 傑寇博. Владелец: 德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司. Дата публикации: 2021-11-21.

Charged particle tool, calibration method, inspection method

Номер патента: EP4256601A1. Автор: Marijke SCOTUZZI,Erwin Paul SMAKMAN,Albertus Victor Gerardus MANGNUS,Yan Ren,Erwin Slot. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-10-11.

Multi-beam charged particle microscope design with mirror for field curvature correction

Номер патента: NL2035277A. Автор: Singer Wolfgang,Schmid Thomas,Zeidler Dirk. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-01-23.

Multi-beam charged particle microscope design with mirror for field curvature correction

Номер патента: WO2024008329A1. Автор: Wolfgang Singer,Thomas Schmid,Dirk Zeidler. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-01-11.

Electron beam irradiation method and scanning electron microscope

Номер патента: US09640366B2. Автор: Minoru Yamazaki,Hideyuki Kazumi,Toshiyuki Yokosuka,Kazutami Tago. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-05-02.

Charged-particle beam device for irradiating a charged particle beam on a sample

Номер патента: US09543113B2. Автор: Masashi Fujita,Seiichiro Kanno,Naoya Ishigaki,Yasushi Ebizuka. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-01-10.

Housing device for magnetic shielding, housing arrangement for magnetic shielding, charged particle beam device, and method of manufacturing a housing device

Номер патента: US09673017B1. Автор: Pavel Adamec. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-06-06.

Charged particle beam device

Номер патента: EP4365926A1. Автор: Hajime Kawano,Toshiyuki Yokosuka,Hideyuki Kotsuji. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-05-08.

Charged practicles beam apparatus and charged particles beam apparatus design method

Номер патента: US20140097352A1. Автор: Mamoru Nakasuji. Владелец: Individual. Дата публикации: 2014-04-10.

Non-invasive charged particle beam monitor

Номер патента: EP3047502A1. Автор: Tomas Plettner,John Gerling. Владелец: KLA Tencor Corp. Дата публикации: 2016-07-27.

Non-invasive charged particle beam monitor

Номер патента: WO2015042051A1. Автор: Tomas Plettner,John Gerling. Владелец: KLA-TENCOR CORPORATION. Дата публикации: 2015-03-26.

Mask defect repair system and method which controls a dose of a particle beam

Номер патента: US6028953A. Автор: Haruki Komano,Kazuyoshi Sugihara,Hiroko Nakamura. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2000-02-22.

Charged particle beam source and charged particle beam system

Номер патента: EP4254465A1. Автор: Keiichi Yamamoto,Yasuyuki Okano,Norikazu Arima,Tomohisa Fukuda,Kyouichi KAMINO. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-10-04.

Charged Particle Beam Source and Charged Particle Beam System

Номер патента: US20230317400A1. Автор: Keiichi Yamamoto,Yasuyuki Okano,Norikazu Arima,Tomohisa Fukuda,Kyouichi KAMINO. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Charged particle beam device and charged particle beam device control method

Номер патента: US09881769B2. Автор: Tsutomu Saitou,Kenji Aoki,Mitsuhiro Nakamura,Kunji Shigeto,Kotaro Hosoya. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-01-30.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210391143A1. Автор: Shuhei Yabu,Kazuki ISHIZAWA,Michio Hatano,Anoru SUGA. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-12-16.

System and method for resolution improvement of charged particles microscopy

Номер патента: US20240186102A1. Автор: Raphael Dahan,Ido KAMINER,Tal Fishman,Michael YANNAI. Владелец: Technion Research and Development Foundation Ltd. Дата публикации: 2024-06-06.

Charged particle beam apparatus, scanning electron microscope, and method of operating a charged particle beam apparatus

Номер патента: EP4295385A1. Автор: Pavel Adamec. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-12-27.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20160013010A1. Автор: Go Miya,Seiichiro Kanno,Takafumi Miwa,Yasushi Ebizuka. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-01-14.

Multi-charged particle beam writing apparatus, and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: US12087543B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-09-10.

Multi-charged particle beam writing apparatus, and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: US20240242932A1. Автор: Yasuo Kato,Ryoh Kawana,Masao HAYAMI. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US8969837B2. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-03-03.

Multi charged particle beam writing method, and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20140361193A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2014-12-11.

Combined aperture holder, beam blanker and vacuum feed through for electron beam, ion beam charged particle devices

Номер патента: US20070069149A1. Автор: Earl Weltmer. Владелец: SCANSERVICE Corp. Дата публикации: 2007-03-29.

Particle beam system and method for operating the same

Номер патента: US20140217303A1. Автор: Volker Wieczorek,Josef Biberger,Ralph Pulwey. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2014-08-07.

Charged particle beam device provided with ion pump

Номер патента: US20180158648A1. Автор: Fujio Onishi,Masazumi Tone,Hiroshi Touda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-06-07.

Charged particle beam emitting device and method for operating a charged particle beam emitting device

Номер патента: EP1801838A1. Автор: FANG Zhou. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2007-06-27.

Method for adjusting charged particle beam device and adjusting beam aperture based on a selected emission condition and charged particle beam device for same

Номер патента: US10176968B2. Автор: Tsutomu Saito,Mitsugu Sato,Kunji Shigeto,Tohru Ando,Yoshihiro Takahoko,Kohtaro Hosoya. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-01-08.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20230290606A1. Автор: Yusuke Nakamura,Shunsuke Mizutani,Muneyuki Fukuda,Yusuke Abe. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-14.

Charged Particle Beam Device and Method for Adjusting Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20160118218A1. Автор: Tsutomu Saito,Mitsugu Sato,Kunji Shigeto,Tohru Ando,Yoshihiro Takahoko,Kohtaro Hosoya. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-04-28.

Charged particle beam device

Номер патента: US20210217580A1. Автор: Tsunenori Nomaguchi,Yuta Imai,Kazuo Ootsuga. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-07-15.

CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM AND METHOD OF OPERATING A CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM

Номер патента: US20150008342A1. Автор: Groholski Alexander,DiManna Mark D.,Notte,IV John A.,Hill Raymond,Conners Robert. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-08.

Charged particle beam apparatus and method for stably acquiring charged particle beam image

Номер патента: JP5174750B2. Автор: 琢磨 山本,憲史 谷本,誠 鈴木. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2013-04-03.

Charged particle beam apparatus and method for stably obtaining charged particle beam image

Номер патента: US20120126118A1. Автор: Kenji Tanimoto,Makoto Suzuki,Takuma Yamamoto. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2012-05-24.

Charged Particle Beam System and Method of Operating a Charged Particle Beam System

Номер патента: US20150008333A1. Автор: McVey Shawn,Notte,IV John A.,Rahman FHM-Faridur,Huang Weijie. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-08.

CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM AND METHOD OF OPERATING A CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM

Номер патента: US20150008341A1. Автор: Groholski Alexander,DiManna Mark D.,Notte,IV John A.,Hill Raymond,Conners Robert. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-08.

CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS AND IMAGE FORMING METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS

Номер патента: US20170207061A1. Автор: Takahashi Hiroyuki,Ikeda Kazuki,Li Wen,KAWANO Hajime,NISHIMOTO Takuma. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-20.

Charged particle beam source and method for assembling a charged particle beam source

Номер патента: CN111712899A. Автор: 盖伊·伊坦,伊泰·阿苏林,奥弗·尤利,拉维·沙维特,纳坦·施利莫夫,伊戈尔·克里夫茨(克莱维茨),雅各布·莱文,伊斯拉埃尔·阿夫内里,约拉姆·乌兹尔. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2020-09-25.

Energy band-pass filtering for improved high landing energy backscattered charged particle image resolution

Номер патента: EP4416752A1. Автор: Weiming Ren,Xuechen ZHU,Farshid TAZESH,Datong ZHANG. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-08-21.

A device for providing an energy filtered charged particle image

Номер патента: GB2201832A. Автор: David Warren Turner. Владелец: Kratos Analytical Ltd. Дата публикации: 1988-09-07.

Device and method for generating charged particle beam pulses

Номер патента: US20190096630A1. Автор: Pieter Kruit,Izaak Gerrit Cornelis WEPPELMAN. Владелец: Technische Universiteit Delft. Дата публикации: 2019-03-28.

Device and method for generating charged particle beam pulses

Номер патента: WO2016076718A2. Автор: Pieter Kruit,Izaak Gerrit Cornelis WEPPELMAN. Владелец: Technische Universiteit Delft. Дата публикации: 2016-05-19.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20240321543A1. Автор: Hajime Kawano,Toshiyuki Yokosuka,Hideyuki Kotsuji. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-09-26.

Charged particle beam generating apparatus, charged particle beam apparatus, high voltage generating apparatus, and high potential apparatus

Номер патента: US09548182B2. Автор: Takashi Onishi,Shunichi Watanabe,Minoru Kaneda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-01-17.

Multi charged particle beam writing apparatus and adjusting method for multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20180247788A1. Автор: Yukitaka Shimizu,Eita FUJISAKI. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-08-30.

Charged particle beam generator, charged particle irradiation system, method for operating charged particle beam generator and method for operating charged particle irradiation system

Номер патента: US09596746B2. Автор: Takashi Iga,Kazunori Tsubuku,Masumi Umezawa,Kouji TOBINAGA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-03-14.

Charged particle beam apparatus, charged particle beam irradiation method, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20040211925A1. Автор: Hideaki Abe. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-10-28.

Charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US09343265B2. Автор: Hisayuki Takasu,Asako Kaneko,Hirobumi Mutou. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-05-17.

Charged particle beam device and method for inspecting and/or imaging a sample

Номер патента: US09601303B2. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-03-21.

Charged particle beam generator, charged particle irradiation system, method for operating charged particle beam generator and method for operating charged particle irradiation system

Номер патента: US20160150630A1. Автор: Takashi Iga,Kazunori Tsubuku,Masumi Umezawa,Kouji TOBINAGA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2016-05-26.

Charged particle beam irradiation apparatus and irradiation method using the apparatus

Номер патента: US6323498B1. Автор: Kaneo Kageyama. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2001-11-27.

Multi-beam lens device, charged particle beam device, and method of operating a multi-beam lens device

Номер патента: US09984848B2. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2018-05-29.

Multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20240242919A1. Автор: HIROFUMI Morita. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Charged-particle beam device for diffraction analysis

Номер патента: US20240355577A1. Автор: Harald Niebel,Günther STEINFELD,Tomi Tuohimaa,Christiaan Van Den Berg,Alexander Van Veen. Владелец: Eldico Scientific AG. Дата публикации: 2024-10-24.

Charged particle beam device

Номер патента: US11817289B2. Автор: Ryuji Yoshida,Tsunenori Nomaguchi,Shunichi Motomura,Takeharu Kato,Tadahiro KAWASAKI. Владелец: Japan Fine Ceramics Center. Дата публикации: 2023-11-14.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210118641A1. Автор: Ryuji Yoshida,Tsunenori Nomaguchi,Shunichi Motomura,Takeharu Kato,Tadahiro KAWASAKI. Владелец: Japan Fine Ceramics Center. Дата публикации: 2021-04-22.

Charged particle beam apparatus and processing method

Номер патента: US09793092B2. Автор: Fumio Aramaki,Tomokazu Kozakai,Masashi Muramatsu. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-10-17.

Method of determining an energy spectrum or energy width of a charged particle beam, and charged particle beam imaging device

Номер патента: US20240371600A1. Автор: John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2024-11-07.

Charged particle beam system

Номер патента: US20200411274A1. Автор: Ingo Mueller,Dirk Zeidler,Stefan Schubert,Christof Riedesel,Joerg Jacobi,Antonio Casares,Mario Muetzel. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2020-12-31.

Charged particle device and charged particle apparatus

Номер патента: EP4391009A1. Автор: Erwin Paul SMAKMAN,Yan Ren,Roy Ramon VEENSTRA. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-06-26.

Charged particle device and charged particle apparatus

Номер патента: WO2024132486A1. Автор: Erwin Paul SMAKMAN,Yan Ren,Roy Ramon VEENSTRA. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-06-27.

A beam manipulator in charged particle-beam apparatus

Номер патента: CA3242123A1. Автор: Vincent Claude BEUGIN,German AKSENOV,Pieter Lucas Brandt. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-07-06.

Beam manipulator in charged particle-beam apparatus

Номер патента: US20240355575A1. Автор: Vincent Claude BEUGIN,German AKSENOV,Pieter Lucas Brandt. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-24.

A beam manipulator in charged particle-beam apparatus

Номер патента: EP4457851A1. Автор: Vincent Claude BEUGIN,German AKSENOV,Pieter Lucas Brandt. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-11-06.

Charged particle beam lithography apparatus and charged particle beam lithography method

Номер патента: US20180197717A1. Автор: Seiji WAKE. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-07-12.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US11791124B2. Автор: Akira Ikegami,Yasushi Ebizuka,Yuta Kawamoto,Nobuo FUJINAGA. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2023-10-17.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US11784023B2. Автор: Akira Ikegami,Yasushi Ebizuka,Yuta Kawamoto,Nobuo FUJINAGA. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2023-10-10.

Electrostatic multipole device, electrostatic multipole arrangement, charged particle beam device, and method of operating an electrostatic multipole device

Номер патента: US09620328B1. Автор: Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-04-11.

Charged Particle Beam Apparatus and Image Forming Method

Номер патента: US20150221471A1. Автор: Zhigang Wang,Yusuke Abe,Michio Hatano. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-08-06.

High resolution charged particle beam device and method of operating the same

Номер патента: US09595417B2. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-03-14.

Beam separator device, charged particle beam device and methods of operating thereof

Номер патента: US09472373B1. Автор: Jürgen Frosien,Stefan Lanio,Matthias FIRNKES,John Breuer,Johannes Hopster. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2016-10-18.

Method and system for fine focusing secondary beam spots on detector for multi-beam inspection apparatus

Номер патента: WO2024013145A1. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Oleg Krupin,Xiaoyu JI,Zizhou GONG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-01-18.

Beam deflection device, aberration corrector, monochromator, and charged particle beam device

Номер патента: US12062519B2. Автор: Pieter Kruit,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-08-13.

Beam optical component having a charged particle lens

Номер патента: WO2005071709A2. Автор: Juergen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2005-08-04.

Method for analyzing an object and a charged particle beam device for carrying out this method

Номер патента: US09905394B1. Автор: Lorenz Lechner,Sreenivas Bhattiprolu. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2018-02-27.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20220238296A1. Автор: Tsunenori Nomaguchi,Shunichi Motomura. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-07-28.

Charged particle-beam device

Номер патента: US09653256B2. Автор: Akira Ikegami,Akio Takaoka,Yoichi Ose,Naomasa Suzuki,Hideyuki Kazumi,Ryuji Nishi,Momoyo Enyama,Hideto Dohi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-05-16.

Charged particle beam apparatus and sample observation method

Номер патента: US11393658B2. Автор: Kenji Aoki,Kunji Shigeto,Yuki Tani. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-07-19.

Circuit pattern design method,exposure method, charged-particle beam exposure system

Номер патента: US20020010906A1. Автор: Ryoichi Inanami,Shunko Magoshi. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2002-01-24.

Charged particle beam device and detection method using said device

Номер патента: US09799483B2. Автор: Hajime Kawano,Yasunari Sohda,Tomoyasu Shojo. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-10-24.

Method for analyzing and/or processing an object as well as a particle beam device for carrying out the method

Номер патента: US09558911B2. Автор: Lorenz Lechner,Josef Biberger,Ralph Pulwey,Michal Postolski,Marcin Janaszewski. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2017-01-31.

Method for calibrating deflectors of a charged particle beam device, and charged particle beam device

Номер патента: WO2023232257A1. Автор: Bernhard G. Mueller,Robert TRAUNER,Ludwig Ledl,Axel Wenzel. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-12-07.

Method of influencing a charged particle beam, multipole device, and charged particle beam apparatus

Номер патента: WO2022184387A3. Автор: Dieter Winkler,Benjamin John Cook,Bernd Wöllert. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2022-12-01.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US11749497B2. Автор: Makoto Suzuki,Shunsuke Mizutani,Shahedul Hoque,Uki Ikeda. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-05.

Charged particle beam reflector device and electron microscope

Номер патента: EP2048690A3. Автор: Hirotami Koike,Shinichi Okada. Владелец: Topcon Corp. Дата публикации: 2010-12-15.

Charged-particle beam microscopy

Номер патента: US09997331B1. Автор: Christopher Su-Yan OWN,Matthew Francis Murfitt. Владелец: Mochii Inc. Дата публикации: 2018-06-12.

Charged-particle-beam device, specimen-image acquisition method, and program recording medium

Номер патента: US09741530B2. Автор: Kenji Nakahira,Maki Tanaka,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-08-22.

Charged particle beam apparatus and image generation method

Номер патента: US09478392B2. Автор: Wen Li,Makoto Suzuki,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Ryo Kadoi,Kazuki Ikeda,Hisaaki Kanai. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Charged-particle analyzer

Номер патента: US4135088A. Автор: Isao Ishikawa,Katsuhisa Usami,Michiyasu Itoh. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1979-01-16.

Method for operating a multi-beam particle microscope in a contrast operating mode with defocused beam guiding, computer program product and multi-beam particle microscope

Номер патента: US20240222069A1. Автор: Stefan Schubert. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-07-04.

Multi-beam charged particle microscope design with detection system for fast charge compensation

Номер патента: WO2024125816A1. Автор: Thomas Schmid,Markus Koch,Dirk Zeidler,Thomas Dieterle,Bjoern Miksch,Felix MENKE. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-06-20.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20150221473A1. Автор: Makoto Sato,Tatsuya Asahata,Shota Torikawa,Atsushi Uemoto. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2015-08-06.

Charged particle beam device and axis adjustment method thereof

Номер патента: US12027342B2. Автор: Yuta Imai,Masahiro Sasajima,Yoshihiro Takahoko. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-07-02.

Charged particle beam device and axis adjustment method thereof

Номер патента: US11764028B2. Автор: Yuta Imai,Masahiro Sasajima,Yoshihiro Takahoko. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-19.

Charged particle beam device and charged particle beam device noise source determination method

Номер патента: US20190341225A1. Автор: Wen Li,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Takuma NISHIMOTO,Wataru Mori. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-11-07.

Charged particle beam writing device and charged particle beam writing method

Номер патента: US20220301818A1. Автор: Junpei YASUDA,Naoto WAKUI. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2022-09-22.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US09941095B2. Автор: Akira Ikegami,Yuko Sasaki,Ryota Watanabe. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-04-10.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20200035450A1. Автор: Makoto Suzuki,Minoru Yamazaki,Shunsuke Mizutani,Yuuji Kasai. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2020-01-30.

Improvements in and relating to charged particle beam devices

Номер патента: GB201017342D0. Автор: . Владелец: Carl Zeiss Microscopy Ltd. Дата публикации: 2010-11-24.

Charged particle beam apparatus and sample image acquiring method

Номер патента: US09741526B2. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Masako Nishimura. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-08-22.

Charged particle beam device and sample observation method

Номер патента: US09418818B2. Автор: Yusuke Ominami,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-08-16.

Charged particle beam apparatus and charged particle beam irradiation method

Номер патента: US6956211B2. Автор: Takashi Doi,Yoichi Ose,Hideo Todokoro,Mitsugu Sato,Makoto Ezumi,Noriaki Arai. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2005-10-18.

Method for examining a sample by using a charged particle beam

Номер патента: US20120273678A1. Автор: Wei Fang,YAN Zhao,Jack Jau. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2012-11-01.

Method for examining a sample by using a charged particle beam

Номер патента: US8937281B2. Автор: Wei Fang,YAN Zhao,Jack Jau. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2015-01-20.

Charged Particle Beam System and Method of Aberration Correction

Номер патента: US20170365442A1. Автор: Shigeyuki Morishita. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2017-12-21.

Scanning charged particle microscope

Номер патента: US20110254944A1. Автор: Tohru Ishitani,Isao Nagaoki. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2011-10-20.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20170271121A1. Автор: Wen Li,Hiroyuki Takahashi,Hajime Kawano,Ryo Kadoi,Kazuki Ikeda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-09-21.

Platform for charged particle apparatus and components within a charged particle apparatus

Номер патента: US20240312756A1. Автор: Hans Butler,Peter Paul HEMPENIUS,Niels Johannes Maria BOSCH,Willem Henk URBANUS,Jasper Hendrik GRASMAN,Joan SANS MERCADER,Patrick Peter Hubert Helena PHILIPS,Gerardus Wilhelmus SARS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-09-19.

Charged particle beam system and method of aberration correction

Номер патента: US09892886B2. Автор: Shigeyuki Morishita. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2018-02-13.

Charged particle beam device

Номер патента: US09627171B2. Автор: Hiroshi Makino,Minoru Yamazaki,Hideyuki Kazumi,Yuzuru MIZUHARA,Miki Isawa. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-04-18.

Charged particle beam device with dynamic focus and method of operating thereof

Номер патента: US09431210B2. Автор: Dieter Winkler,Igor Petrov. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2016-08-30.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20190362931A1. Автор: Makoto Suzuki,Minoru Yamazaki,Yuko Sasaki,Wataru Mori,Ryota Watanabe,Kazunari Asao. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-11-28.

Charged Particle Beam Device, Sample Stage Unit, and Sample Observation Method

Номер патента: US20150311033A1. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Mami Konomi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-10-29.

Charged particle beam device with dark field detector

Номер патента: EP2560185A3. Автор: Kaname Takahashi,Mine Nakagawa,Atsushi Muto,Mitsugu Sato,Akinari Morikawa,Yuusuke Tanba,Shunya Watanabe. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2013-09-04.

Charged particle beam device, sample stage unit, and sample observation method

Номер патента: US09472375B2. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Mami Konomi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-10-18.

Particle beam system and method for the particle-optical examination of an object

Номер патента: US10535494B2. Автор: Dirk Zeidler,Stefan Schubert. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2020-01-14.

Method for depositing a film using a charged particle beam, method for performing selective etching using the same, and charged particle beam equipment therefor

Номер патента: US20070252092A1. Автор: Hiroyasu Shichi,Muneyuki Fukuda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2007-11-01.

Charged particle beam device

Номер патента: US6963069B2. Автор: Kaname Takahashi,Mine Nakagawa,Atsushi Muto,Mitsugu Sato,Akinari Morikawa,Yuusuke Tanba,Shunya Watanabe. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2005-11-08.

Method and device for distance measurement

Номер патента: US20070164215A1. Автор: Gero Walter,Rainer Härle. Владелец: Carl Zeiss NTS GmbH. Дата публикации: 2007-07-19.

Electrostatic multipole device, electrostatic multipole arrangement, charged particle beam device, and method of manufacturing an electrostatic multipole device

Номер патента: US09620329B1. Автор: Dieter Winkler,Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-04-11.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210027977A1. Автор: Ryuji Yoshida,Tsunenori Nomaguchi,Shunichi Motomura,Takeharu Kato,Tadahiro KAWASAKI. Владелец: Japan Fine Ceramics Center. Дата публикации: 2021-01-28.

Method and apparatus for charged particle beam inspection

Номер патента: US8497475B2. Автор: CHANG CHUN YEH,Shih-Tsuan CHANG. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2013-07-30.

Method of operation of a charged particle beam device

Номер патента: WO2022028633A1. Автор: FILIP Vojtech. Владелец: Tescan Brno. Дата публикации: 2022-02-10.

Method and apparatus for charged particle beam inspection

Номер патента: US20120043462A1. Автор: CHANG CHUN YEH,Shih-Tsuan CHANG. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2012-02-23.

Charged particle beam device

Номер патента: US20040238752A1. Автор: Kaname Takahashi,Mine Nakagawa,Atsushi Muto,Mitsugu Sato,Akinari Morikawa,Yuusuke Tanba,Shunya Watanabe. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2004-12-02.

Charged particle optical apparatus having a selectively positionable differential pressure module

Номер патента: US20150348742A1. Автор: Michael Albiez,Stefan Meyer,Stewart Bean,Daniel Kirsten. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2015-12-03.

Multiple charged particle beam system with a mirror mode of operation, method for operating a multi-beam charged particle microscope system with a mirror mode of operation and associated computer program product

Номер патента: US20240371596A1. Автор: Ingo Mueller,Yanko Sarov,Stefan Schubert,Claudia Lumpp. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-11-07.

Charged particle optical apparatus having a selectively positionable differential pressure module

Номер патента: US09741528B2. Автор: Michael Albiez,Stefan Meyer,Erik Essers,Stewart Bean,Daniel Kirsten. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2017-08-22.

Environmental cell for charged particle beam system

Номер патента: US09679741B2. Автор: William Parker,Marcus Straw,Mark Emerson,Libor Novak,Milos Toth,Marek Uncovský,Martin Cafourek. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2017-06-13.

Method of determining the beam convergence of a focused charged particle beam, and charged particle beam system

Номер патента: US11791128B2. Автор: Matthias FIRNKES,John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-10-17.

Method of determining the beam convergence of a focused charged particle beam, and charged particle beam system

Номер патента: WO2023061650A1. Автор: Matthias FIRNKES,John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2023-04-20.

Method of determining the beam convergence of a focused charged particle beam, and charged particle beam system

Номер патента: US20230116466A1. Автор: Matthias FIRNKES,John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-04-13.

Energy Filter, and Energy Analyzer and Charged Particle Beam Device Provided with Same

Номер патента: US20230298845A1. Автор: Hiroyuki Ito,Takashi Doi,Kazuhiro Honda,Soichiro Matsunaga. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-21.

Aligning charged particle beams

Номер патента: WO2010039339A3. Автор: Raymond Hill. Владелец: Carl Zeiss Smt Inc.. Дата публикации: 2010-06-10.

Charged particle beam apparatus and aberration corrector

Номер патента: US20170162362A1. Автор: Takaho Yoshida. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-06-08.

Charged particle beam device enabling facilitated EBSD detector analysis of desired position and control method thereof

Номер патента: US09741531B2. Автор: Tsutomu Saito,Kazuyuki Takeda,Tohru Ando. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-08-22.

Charged particle beam device

Номер патента: US12142457B2. Автор: Makoto Suzuki,Yuji Takagi,Takuma Yamamoto,Takahiro Nishihata,Mayuka Osaki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-11-12.

Charged particle beam apparatus having particular electrostatic objective lens and vacuum pump systems

Номер патента: US5254856A. Автор: Kazue Takahashi,Tadashi Otaka,Kenji Odaka,Toshiaki Kobari,Mikio Ichihashi,Hironobu Matsui,Shinjiroo Ueda. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1993-10-19.

Signal charged particle deflection device, signal charged particle detection system, charged particle beam device and method of detection of a signal charged particle beam

Номер патента: US9805908B2. Автор: Stefan Lanio,Matthias FIRNKES. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-10-31.

Method for analyzing an object and a charged particle beam device for carrying out this method

Номер патента: EP3364443A3. Автор: Lorenz Lechner,Sreenivas Bhattiprolu. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2019-01-09.

Charged particle beam device

Номер патента: US20190108970A1. Автор: Hironori Ogawa,Motohiro Takahashi,Shuichi Nakagawa,Takanori Kato. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-04-11.

Multiple charged-particle beam apparatus with low crosstalk

Номер патента: EP3977499A1. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Qingpo Xi. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2022-04-06.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20190355552A1. Автор: Makoto Suzuki,Shunsuke Mizutani,Shahedul Hoque,Uki Ikeda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-11-21.

Multiple charged-particle beam apparatus with low crosstalk

Номер патента: US12033830B2. Автор: Xuedong Liu,Weiming Ren,Xuerang Hu,Qingpo Xi. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-07-09.

Workpiece holder, semiconductor fabricating apparatus, semiconductor inspecting apparatus, circuit pattern inspecting apparatus, charged particle beam application apparatus, calibrating substrate, workpiece holding method, circuit pattern inspecting method, and charged particle beam application method

Номер патента: US20030146382A1. Автор: Hiroyuki Suzuki,YASUTSUGU Usami,Hiroyuki Shinada,Shuji Sugiyama,Atsuko Takafuji. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2003-08-07.

Measurement and correction of optical aberrations in charged particle beam microscopy

Номер патента: EP4235731A1. Автор: Bart Jozef Janssen,Erik Franken. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2023-08-30.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US11798776B2. Автор: Tsunenori Nomaguchi,Shunichi Motomura. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-10-24.

Charged particle beam device

Номер патента: US11823861B2. Автор: Junichi Katane,Yuta Imai. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-11-21.

A device for transforming a charged particle beam between a vortex beam condition and a plane wave beam condition

Номер патента: EP3909065A1. Автор: Vincenzo Grillo,Giulio POZZI,Rafal E. DUNIN-BORKOWSKI,Ebrahim Karimi,Amir H. TAVABI. Владелец: Consiglio Nazionale delle Richerche CNR. Дата публикации: 2021-11-17.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20210020422A1. Автор: Tsutomu Saito,Mitsuhiro Nakamura,Yohei Nakamura,Natsuki Tsuno,Masahiro Sasajima,Hironori Itabashi,Hirofumi Satou. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-01-21.

Measurement and correction of optical aberrations in charged particle beam microscopy

Номер патента: US20230274908A1. Автор: Bart Jozef Janssen,Erik Franken. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2023-08-31.

Measurement and correction of optical aberrations in charged particle beam microscopy

Номер патента: US11990315B2. Автор: Bart Jozef Janssen,Erik Franken. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-05-21.

A device for transforming a charged particle beam between a vortex beam condition and a plane wave beam condition

Номер патента: WO2020144630A1. Автор: Vincenzo Grillo,Giulio POZZI,Rafal E. DUNIN-BORKOWSKI,Ebrahim Karimi,Amir H. TAVABI. Владелец: FORSCHUNGSZENTRUM JULICH GMBH. Дата публикации: 2020-07-16.

Particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US20210090853A1. Автор: Makoto Sato,Tatsuya Asahata,Xin Man,Takuma Aso. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2021-03-25.

Multi-beam charged particle imaging system with reduced charging effects

Номер патента: WO2024099587A1. Автор: Stefan Schubert. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-05-16.

Charged particle beam apparatus and control method thereof

Номер патента: US20180350554A1. Автор: Takeshi Sunaoshi,Haruhiko Hatano,Yoshihisa Orai,Takashi MIZUO. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-12-06.

Method of investigating the wavefront of a charged-particle beam

Номер патента: US20150170876A1. Автор: Uwe Luecken,Ivan Lazic,Bart Jozef Janssen,Ross Savage,Gijs van Duinen,Stephanus H.L. van den Boom. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2015-06-18.

Cryogenic cell for mounting a specimen in a charged particle microscope

Номер патента: US20190131105A1. Автор: Gerbert Jeroen van de Water,Gijs van Duinen,Stephanus H.L. van den Boom,Roland W.P JONKERS,Fotios SAKELLARIOU. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2019-05-02.

Charged particle beam system

Номер патента: EP3901983A1. Автор: Naoki Fujimoto,Izuru Chiyo,Tomoyuki Naganuma. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2021-10-27.

Method for designing a multi-beam particle beam system having monolithic path trajectory correction plates, computer program product and multi-beam particle beam system

Номер патента: WO2024156468A1. Автор: Thomas Schmid,Dirk Zeidler,Sandra Vogel. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-08-02.

Charged Particle Beam Apparatus, Alignment Method of Charged Particle Beam Apparatus, Alignment Program, and Storage Medium

Номер патента: US20180108512A1. Автор: Hiroyuki Chiba,Kazuki ISHIZAWA,Yoshihiro Takahoko,Daichi Nara. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-04-19.

Charged Particle Beam System

Номер патента: US20210313142A1. Автор: Naoki Fujimoto,Izuru Chiyo,Tomoyuki Naganuma. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2021-10-07.

Particle beam apparatus and method for operating a particle beam apparatus

Номер патента: US09947504B2. Автор: Dirk Preikszas,Michel Aliman,Michael Schnell,Edgar Fichter,Christian Hendrich,Momme MOMMSEN,Klaus Hegele,Kai Schubert. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2018-04-17.

Charged particle beam apparatus for measuring surface potential of a sample

Номер патента: US09799486B2. Автор: Go Miya,Seiichiro Kanno,Takafumi Miwa,Yasushi Ebizuka. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-10-24.

Sample storage container, charged particle beam apparatus, and image acquiring method

Номер патента: US09564288B2. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-02-07.

Charged particle beam instrument and sample container

Номер патента: US09449784B2. Автор: Tatsuo Naruse. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Charged-particle beam device

Номер патента: US09443695B2. Автор: Hajime Kawano,Yasunari Sohda,Takeyoshi Ohashi,Noritsugu Takahashi,Osamu Komuro. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-09-13.

Charged particle-optical apparatus

Номер патента: WO2024013042A1. Автор: Marco Jan-Jaco Wieland. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-01-18.

Charged particle optical device and method

Номер патента: EP4280252A1. Автор: Petrus Wilhelmus SMORENBURG. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-11-22.

Method of axial alignment of charged particle beam and charged particle beam system

Номер патента: EP2669926A3. Автор: Mitsuru Yamada. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2016-04-27.

Charged particle optical device and method

Номер патента: WO2023202819A1. Автор: Petrus Wilhelmus SMORENBURG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-10-26.

Charged particle beam device and detection method using said device

Номер патента: US20170053777A1. Автор: Hajime Kawano,Yasunari Sohda,Tomoyasu Shojo. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-02-23.

An accelerator for electrically charged particles, especially electrons, and a method for accelerating electrically charged particles

Номер патента: WO1995024112A1. Автор: Carlos Alberto ALÉRICO. Владелец: Inepar Energética Ltda.. Дата публикации: 1995-09-08.

Charged particle beam device

Номер патента: US09786468B2. Автор: Hideyuki Kazumi,Toshiyuki Yokosuka,Chahn Lee. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-10-10.

Sample delivery, data acquisition, and analysis, and automation thereof, in charged-particle-beam microscopy

Номер патента: EP4356414A1. Автор: Chistopher Su-Yan OWN. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-04-24.

Charged-particle beam microscope with an evaporator

Номер патента: US09899186B1. Автор: Christopher Su-Yan OWN,Matthew Francis Murfitt. Владелец: Mochii Inc. Дата публикации: 2018-02-20.

Method for detecting signal charged particles in a charged particle beam device, and charged particle beam device

Номер патента: US09589763B1. Автор: Jürgen Frosien. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2017-03-07.

Charged particle apparatus

Номер патента: WO2024068252A1. Автор: Marijke SCOTUZZI,Vincent Sylvester KUIPER. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-04-04.

Charged Particle Beam Device and Image Generation Method

Номер патента: US20230072991A1. Автор: Kazuki Yagi,Bryan W. Reed,Ruth Shewmon Bloom,Hiroki HASHIGUCHI. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-03-09.

Sample delivery, data acquisition, and analysis, and automation thereof, in charged-particle-beam microscopy

Номер патента: WO2022266269A9. Автор: Christopher Su-Yan OWN. Владелец: Own Christopher Su Yan. Дата публикации: 2023-02-23.

Multi-beam particle beam system

Номер патента: US20240136146A1. Автор: Thomas Schmid,Dirk Zeidler. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-04-25.

Charged Particle Beam System

Номер патента: US20240186108A1. Автор: Hirokazu Tamaki,Hiromi MISE. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-06-06.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20230377837A1. Автор: Yuko Sasaki,Yasuhiro Shirasaki,Yohei Nakamura,Minami Shouji,Natsuki Tsuno,Shota MITSUGI. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-11-23.

Method of determining an energy width of a charged particle beam

Номер патента: US11948771B2. Автор: Peter Christiaan Tiemeijer. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-04-02.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US9455119B2. Автор: Makoto Sato,Masahiro Kiyohara,Tatsuya Asahata,Ikuko Nakatani. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2016-09-27.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20150270096A1. Автор: Makoto Sato,Masahiro Kiyohara,Tatsuya Asahata,Ikuko Nakatani. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2015-09-24.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: KR102081734B1. Автор: 히로후미 모리타,오사무 이즈카,츠바사 나나오. Владелец: 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지. Дата публикации: 2020-02-26.

Multi-charged particle beam drawing device and multi-charged particle beam drawing method

Номер патента: JP6772962B2. Автор: 博文 森田,修 飯塚,森田　博文,翼 七尾. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-10-21.

Charged particle apparatus

Номер патента: EP4345861A1. Автор: Marijke SCOTUZZI,Vincent Sylvester KUIPER. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-04-03.

Method of examining a sample using a charged particle microscope

Номер патента: EP4310485A1. Автор: Petr Hlavenka,Jan Klusacek,Marek VANATKA,Ondrej VAVERKA. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-01-24.

Charged particle beam apparatus and control method

Номер патента: US20220115203A1. Автор: Yuzuru MIZUHARA,Daisuke Bizen,Ryota Watanabe,Kaori BIZEN. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-04-14.

Method of imaging a specimen using a transmission charged particle microscope

Номер патента: US11810751B2. Автор: Peter Tiemeijer,Abhay Kotecha,Jamie McCormack,Rudolf Geurink,Evgeniia PECHNIKOVA. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2023-11-07.

A new design concept of scanning electron microscope with charged particle source

Номер патента: WO2024133328A1. Автор: Weiming Ren,Xuerang Hu,Oleg Krupin,Yongxin Wang,Zizhou GONG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-06-27.

Charged particle beam device, multi-beam blanker for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device

Номер патента: KR102130512B1. Автор: 디터 윙클러,벤자민 존 쿡. Владелец: 아이씨티 인티그레이티드 써킷 테스팅 게젤샤프트 퓌어 할프라이터프뤼프테크닉 엠베하. Дата публикации: 2020-07-06.

Charged particle beam device, multi-beam blanker for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device

Номер патента: US10483080B1. Автор: Dieter Winkler,Benjamin John Cook. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2019-11-19.

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, APERTURE ARRANGEMENT FOR A CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND METHOD FOR OPERATING A CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Номер патента: US20190066972A1. Автор: FROSIEN Jürgen. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

Sealing device for movable vacuum chamber of charged particle beam machine

Номер патента: JPS54113594A. Автор: Keenitsuhi Deiiteru,Haintsu Shiyutaigeruuar Karuru,Anderuru Peeteru,Shiefuerusu Uiruherumu,Menhi Kurausupeeteru,Katsuperusuberugeru Eruuin. Владелец: Steigerwald Strahltecknik GmbH. Дата публикации: 1979-09-05.

Charged particle beam inspection apparatus and method for inspecting charged particle beam

Номер патента: TW200912295A. Автор: Toshimichi Iwai,Keisuke Itou. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2009-03-16.

Charged Particle Beam Device and Sample Observation Method in Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20180068826A1. Автор: Takashi Kubo. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-03-08.

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND IMAGE PROCESSING METHOD IN CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Номер патента: US20200066484A1. Автор: WATANABE Masashi,Hoshino Yoshinobu,Kawamata Shigeru,Sakurai Yuichi,Kamio Masato,HIRANO Katsunori. Владелец: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION. Дата публикации: 2020-02-27.

Charged particle beam column and method for directing a charged particle beam

Номер патента: US20030218133A1. Автор: Igor Petrov,Zvika Rosenberg. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2003-11-27.

Charged particle beam inspection apparatus and inspection method using charged particle beam

Номер патента: US20100102225A1. Автор: Toshimichi Iwai,Keisuke Itou. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2010-04-29.

Charged particle beam column and method for directing a charged particle beam

Номер патента: JP2005527088A. Автор: ペトロヴ，イゴア,ローセンベルグ，ズヴィカ,リヴィッツ，イゴア,フロジエン，ユエルゲン,アダメック，ペイヴェル,デジェンハルド，ラルフ. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2005-09-08.

Charged particle beam device and image processing method in charged particle beam device

Номер патента: WO2017090204A1. Автор: 茂 川俣,吉延 星野,祐市 桜井,克典 平野,誠人 神尾,真佐志 渡辺. Владелец: 株式会社日立ハイテクノロジーズ. Дата публикации: 2017-06-01.

Generation of charged particle vortex waves

Номер патента: EP2795655A1. Автор: Johan VERBEECK,Gustaaf Van Tendeloo. Владелец: UNIVERSITEIT ANTWERPEN. Дата публикации: 2014-10-29.

Semiconductor substrate, charged particle beam apparatus, and method for determining a charged particle signal

Номер патента: TWI778667B. Автор: 王勇新,胡學讓,仲瑋 陳,蘇 汪. Владелец: 荷蘭商Ａｓｍｌ荷蘭公司. Дата публикации: 2022-09-21.

Device for measuring emission angle of particle beam

Номер патента: US20210134558A1. Автор: Lin Meng,Bin Wang,Ping Zhang,Yong Yin,Hailong Li,Tongkun ZOU,Maoyan WANG,Xuesong YUAN,Huanhuan Lu. Владелец: University of Electronic Science and Technology of China. Дата публикации: 2021-05-06.

Detecting charged particle events at high dose rates

Номер патента: EP4390462A1. Автор: Bart Janssen,Auke van der Heide,Jaap Mulder. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-06-26.

Detecting charged particle events at high dose rates

Номер патента: US20240212974A1. Автор: Bart Janssen,Auke van der Heide,Jaap Mulder. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-06-27.

Charged particle assessment system and method

Номер патента: US20240288389A1. Автор: Peter Paul HEMPENIUS,Niels Johannes Maria BOSCH,Marco Jan-Jaco Wieland,Erwin Slot. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-08-29.

Charged particle sensors including wide bandgap materials

Номер патента: EP4386811A1. Автор: Libor Novak,Jan Lásko,Radek Smolka,Petr Glajc,Branislav Straka,Vojtêch Mahel. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-06-19.

Charged particle image measuring device and imaging mass spectrometry apparatus

Номер патента: US09754772B2. Автор: Hiroyuki Hashimoto,Kota Iwasaki. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2017-09-05.

Charged particle sensors including wide bandgap materials

Номер патента: US20240194442A1. Автор: Libor Novak,Jan Lásko,Radek Smolka,Petr Glajc,Branislav Straka,Vojtêch Mahel. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-06-13.

Method and Device for Bunching a Beam of Charged Particles

Номер патента: US20150126797A1. Автор: Heid Oliver,Beasley Paul,Aptaker Peter Simon. Владелец: . Дата публикации: 2015-05-07.

Charged Particle Beam Device and Method for Setting Condition in Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20200126754A1. Автор: Shigeru Kawamata,Hirofumi Sato,Yuki Numata. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2020-04-23.

Detection apparatus for detecting charged particles, methods for detecting charged particles and mass spectrometer

Номер патента: CA2777809A1. Автор: Alexander Makarov,Anastassios Giannakopulos. Владелец: Thermo Fisher Scientific Bremen GmbH. Дата публикации: 2011-04-28.

Generation, acceleration, focusing and collection of a high-brightness, space-charge-dominated circular charged-particle beam

Номер патента: WO2008061173A3. Автор: Jing Zhou,Chiping Chen,Thomas M Bemis,Ronak J Bhatt. Владелец: Ronak J Bhatt. Дата публикации: 2008-08-21.

Generation, acceleration, focusing and collection of a high-brightness, space-charge-dominated circular charged-particle beam

Номер патента: WO2008061173A2. Автор: Jing Zhou,Chiping Chen,Thomas M. Bemis,Ronak J. Bhatt. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2008-05-22.

Charged particle beam device, image generation method, observation system

Номер патента: US09824854B2. Автор: Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Sukehiro Ito,Junichi Katane. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Non-axisymmetric charged-particle beam system

Номер патента: US7612346B2. Автор: Jing Zhou,Chiping Chen,Ronak J. Bhatt. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2009-11-03.

Non-axisymmetric charged-particle beam system

Номер патента: US20060017002A1. Автор: Jing Zhou,Chiping Chen,Ronak Bhatt. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2006-01-26.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20240014002A1. Автор: Wen Li,Hideto Dohi,Tomoyo Sasaki,Takayasu Iwatsuka. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-01-11.

Charged-particle beam apparatus with fast focus correction and methods thereof

Номер патента: WO2023237277A1. Автор: Weiming Ren,Xiaoyu JI,Wei-Yu Chang. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-12-14.

Charged particle beam device

Номер патента: US20230274907A1. Автор: Hideo Morishita,Junichi Katane,Tatsuro Ide,Teruo Kohashi. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-08-31.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US8000939B2. Автор: Atsushi Kobaru. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2011-08-16.

Charged particle-optical apparatus

Номер патента: EP4354485A1. Автор: Marco Jan-Jaco Wieland. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-04-17.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US7652249B2. Автор: Satoru Yamaguchi,Yasuhiko Ozawa,Atsushi Takane,Mitsuji Ikeda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2010-01-26.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20100102224A1. Автор: Satoru Yamaguchi,Yasuhiko Ozawa,Atsushi Takane,Mitsuji Ikeda. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2010-04-29.

Charged particle beam targets

Номер патента: WO2014091195A1. Автор: Ivan KONOPLEV. Владелец: ISIS INNOVATION LIMITED. Дата публикации: 2014-06-19.

Particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US20230317403A1. Автор: Masaru Nakakita,Takuya Fukuura. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Semiconductor device, multi-charged particle beam writing apparatus and multi-charged particle beam irradiating device

Номер патента: KR20220118927A. Автор: 히로시 마츠모토,히로후미 모리타,요시쿠니 고시마,케이 오바라,카주유키 히가시,미요코 시마다,요시아키 시모오카,히토미 야마구치. Владелец: 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지. Дата публикации: 2022-08-26.

Multi - charged particle beam rendering device and multi - charged particle beam rendering method

Номер патента: TWI457969B. Автор: Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2014-10-21.

Charged particle imaging system and use thereof

Номер патента: WO2022221948A1. Автор: Rodney HERRING. Владелец: HERRING Rodney. Дата публикации: 2022-10-27.

Charged particle beam targets

Номер патента: US20150318138A1. Автор: Ivan KONOPLEV. Владелец: Oxford University Innovation Ltd. Дата публикации: 2015-11-05.

Multi-charged particle beam writing apparatus, and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: US20200135428A1. Автор: Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-04-30.

Multi-charged particle beam writing apparatus, and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: US20230187172A1. Автор: Yasuo Kato,Ryoh Kawana,Masao HAYAMI. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-06-15.

Semiconductor device, multi-charged-particle beam writing apparatus, and multi-charged-particle beam exposure apparatus

Номер патента: US11721520B2. Автор: HIROFUMI Morita,Kazuyuki Higashi,Hiroshi Matsumoto,Yoshiaki Shimooka,Hitomi Yamaguchi,Miyoko Shimada,Yoshikuni GOSHIMA,Kei Obara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-08-08.

Charged particle beam writing apparatus, charged particle beam writing method, and a non-transitory computer-readable storage medium

Номер патента: US11961708B2. Автор: Haruyuki NOMURA,Noriaki Nakayamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-04-16.

Multi-charged particle beam writing apparatus and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: JP7189729B2. Автор: 裕史 松本. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2022-12-14.

Multi-charged particle beam writing apparatus, and multi-charged particle beam writing method

Номер патента: TW202022503A. Автор: 松本裕史. Владелец: 日商紐富來科技股份有限公司. Дата публикации: 2020-06-16.

Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method

Номер патента: US9076564B2. Автор: Ryoichi Yoshikawa,Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2015-07-07.

Charged particle beam photoetching device and photoetching process of charged particle beam

Номер патента: TW475205B. Автор: Yasuhisa Yamada. Владелец: Nippon Electric Co. Дата публикации: 2002-02-01.

Method for treating a material with a particle beam and material thus treated

Номер патента: EP1649481A1. Автор: Imtiaz Rangwalla,Harvey Clough,George Hannafin. Владелец: Energy Sciences Inc. Дата публикации: 2006-04-26.

CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM AND METHOD OF OPERATING A CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM

Номер патента: US20150008334A1. Автор: McVey Shawn,Notte,IV John A.,Rahman FHM-Faridur,Huang Weijie. Владелец: . Дата публикации: 2015-01-08.

Particle beam forming device

Номер патента: US9574984B2. Автор: Naoki Takeda,Masaya Tabaru,Kazuhiro Koizumi,Noritomo Hirayama,Nobuyuki Takegawa,Takuma Miyakawa. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 2017-02-21.

harged particle beam system and method of operating a charged particle beam system

Номер патента: CN104282516A. Автор: J.A.诺特四世,M.D.迪马纳,R.希尔,R.康纳斯,A.格罗霍尔斯基. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2015-01-14.

Apparatus and method for directional etch with micron zone beam and angle control

Номер патента: US11707803B2. Автор: Pinyen Lin,Li-Te Lin,Chansyun David Yang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-07-25.

Apparatus and Method for Directional Etch with Micron Zone Beam and Angle Control

Номер патента: US20200130102A1. Автор: Pinyen Lin,Li-Te Lin,Chansyun David Yang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-04-30.

Apparatus and Method for Directional Etch with Micron Zone Beam and Angle Control

Номер патента: US20220297234A1. Автор: Pinyen Lin,Li-Te Lin,Chansyun David Yang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-09-22.

Particle detector for detecting charged particles

Номер патента: EP4118425A1. Автор: Alexander Laue,Michel Aliman. Владелец: Leybold GmbH. Дата публикации: 2023-01-18.

Particle detector for detecting charged particles

Номер патента: WO2021180653A1. Автор: Alexander Laue,Michel Aliman. Владелец: Leybold GmbH. Дата публикации: 2021-09-16.

Charged particle counting device, manufacturing method thereof, and charged particle counting system

Номер патента: US20190171924A1. Автор: Changcheng JU. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2019-06-06.

Charged particle counting device, manufacturing method thereof, and charged particle counting system

Номер патента: US10872288B2. Автор: Changcheng JU. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2020-12-22.

Apparatus and method for trapping charged particles and performing controlled interactions between them

Номер патента: US8426809B2. Автор: Muir KUMPH. Владелец: UNIVERSITAET INNSBRUCK. Дата публикации: 2013-04-23.

Device for detecting and localizing particles of neutral particle beam

Номер патента: RU1804632C. Автор: Дорион Ирен,Мэтржан Серж,Русев Марио. Владелец: Шлюмберже Эндюстри. Дата публикации: 1993-03-23.

Device for stigmatic and achromatic deflection of a particle beam in a plane

Номер патента: CH519838A. Автор: Leboutet Hubert. Владелец: Thomson Csf. Дата публикации: 1972-02-29.

Non-destructive detection method of charged particles without mass limitation

Номер патента: US09989464B2. Автор: Caroline Antoinette Madeleine Champenois,Laurent Hilico,Christophe Michel Rene Jouvet,Jofre Pedregosa Gutierrez,Martina Knoop,Claude Dedonder-Lardeux. Владелец: Aix Marseille Universite. Дата публикации: 2018-06-05.

Method and apparatus for realizing air charged particle wave with required frequency

Номер патента: CA3128266C. Автор: Yanbing Liu,Qijia LIU,Qirui Liu. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-08-22.

System of mobile charged particle detectors and methods of spent nuclear fuel imaging

Номер патента: US20200144023A1. Автор: Konstantin Borozdin. Владелец: Decision Sciences International Corp. Дата публикации: 2020-05-07.

Electrostatic charged-particle analyzer

Номер патента: US4126782A. Автор: Isao Ishikawa,Katsuhisa Usami. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1978-11-21.

Device for passing a beam of charged particles out into the atmosphere

Номер патента: CH651992A5. Автор: Gennady Ivanovich Razin,Mikhail Pavlovich Sviniin. Владелец: Razin Gennady I. Дата публикации: 1985-10-15.

METHOD FOR DETERMINING RAY BEAM PARAMETERS OF A CHARGED PARTICLES, MEASURING DEVICE, AND ALSO A DEVICE FOR EMPTING A BEAM OF CHARGED PARTICLES

Номер патента: RU2014142914A. Автор: Уве РАЙСГЕН,Йенс ДЕ-ВРИС,Александер БАКХАУС,Ханс-Петер БАУЕР,Зебастиан УФЕР,Бернд РАЙХЕНБЕРГ,Торстен ШМИТЦ-КЕМПЕН. Владелец: Айксакт Зюстемс Гмбх. Дата публикации: 2016-05-20.

Charged-particle device having magnetic focus means

Номер патента: US3681651A. Автор: Kurt Schlesinger. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 1972-08-01.

Electron beam exposure apparatus, device for shaping a beam of charged particles and method for manufacturing the device

Номер патента: TW526522B. Автор: Hiroshi Yano,Harunobu Muto. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2003-04-01.

METHOD AND DEVICE FOR PACKING A BEAM OF CHARGED PARTICLES

Номер патента: RU2014144613A. Автор: Оливер ХАЙД,Питер Саймон АПТАКЕР,Пол БИСЛИ. Владелец: СИМЕНС АКЦИЕНГЕЗЕЛЛЬШАФТ. Дата публикации: 2016-07-20.

Device for emitting a beam of charged particles

Номер патента: DE102018101147A1. Автор: Makoto Sato,Masato Suzuki,Satoshi Tomimatsu. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2018-07-19.

DEVICE FOR FOCUSING A BEAM OF CHARGED PARTICLES.

Номер патента: FR2660485B1. Автор: Sudraud Pierre. Владелец: Orsay Physics SA. Дата публикации: 1992-07-31.

Hybrid standing wave/traveling wave linear accelerators for providing accelerated charged particles or radiation beams and method with the same

Номер патента: EP3427553B1. Автор: Andrey Mishin. Владелец: Varex Imaging Corp. Дата публикации: 2023-09-20.

Hybrid standing wave/traveling wave linear accelerators for providing accelerated charged particles or radiation beams and method with the same

Номер патента: EP3427553C0. Автор: Andrey Mishin. Владелец: Varex Imaging Corp. Дата публикации: 2023-09-20.

Multiple charged particle beam inspection apparatus and multiple charged particle beam inspection method

Номер патента: US20190360951A1. Автор: Riki Ogawa. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-11-28.

Tilting parameters calculating device, sample stage, charged particle beam device, and program

Номер патента: US20200066481A1. Автор: Shunsuke Taniguchi,Naoki Maruyama,Akira Taniyama,Takafumi Amino,Takashige Mori,Chie Yokoyama. Владелец: Nippon Steel Corp. Дата публикации: 2020-02-27.

Inclination angle amount calculation device, sample stand, charged particle beam device, and program

Номер патента: EP3633709A1. Автор: Shunsuke Taniguchi,Naoki Maruyama,Akira Taniyama,Takafumi Amino,Takashige Mori,Chie Yokoyama. Владелец: Nippon Steel Corp. Дата публикации: 2020-04-08.

Electron microscope and beam irradiation method

Номер патента: US20200411278A1. Автор: Takamitsu Nagai. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2020-12-31.

Particle beam irradiation system and control method therefor, and control device for particle beam irradiation system

Номер патента: EP4197591A1. Автор: Kenta Takahashi,Yuki Ito,Kohei Yamada,Satoru Okura. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2023-06-21.

Multiple charged particle beam writing apparatus, multiple charged particle beam writing method, and computer readable recording media storing program

Номер патента: US20240242931A1. Автор: Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2024-07-18.

Charged particle beam device and inspection method

Номер патента: US12057288B2. Автор: Makoto Sakakibara,Hajime Kawano,Momoyo Enyama. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-08-06.

Charged Particle Beam Irradiation Apparatus, Charged Particle Beam Image Acquisition Apparatus, and Charged Particle Beam Inspection Apparatus

Номер патента: US20190304737A1. Автор: Munehiro Ogasawara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-10-03.

Particle beam irradiation system, control method for particle beam irradiation system, and control device for particle beam irradiation system

Номер патента: US20230253175A1. Автор: Kenta Takahashi,Yuki Ito,Kohei Yamada,Satoru Okura. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2023-08-10.

System for imaging a secondary charged particle beam with adaptive secondary charged particle optics

Номер патента: US09953805B2. Автор: Dieter Winkler,Stefan Lanio,Matthias FIRNKES. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2018-04-24.

Charged particle beam device, and sample observation method employing same

Номер патента: US20240242925A1. Автор: Takeshi Ohmori,Shunya TANAKA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-07-18.

Detector supplement device for spectroscopy setup

Номер патента: US20180350556A1. Автор: Davide Bleiner,Yunieski ARBELO-PENA. Владелец: Eidgenoessische Materialprufungs und Forschungsanstalt EMPA. Дата публикации: 2018-12-06.

Method of determining a brightness of a charged particle beam, method of determining a size of a source of the charged particle beam, and charged particle beam imaging device

Номер патента: US20240126057A1. Автор: Matthias FIRNKES,John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2024-04-18.

Charged-particle beam device for diffraction analysis

Номер патента: WO2023017107A1. Автор: Harald Niebel,Günther STEINFELD,Tomi Tuohimaa,Christiaan Van Den Berg,Alexander Van Veen. Владелец: Eldico Scientific AG. Дата публикации: 2023-02-16.

Method for creating a smooth diagonal surface using a focused ion beam and an innovative scanning strategy

Номер патента: WO2024091829A1. Автор: Yehuda Zur. Владелец: Applied Materials Israel Ltd.. Дата публикации: 2024-05-02.

Charged particle beam irradiation apparatus and control method

Номер патента: US20210090855A1. Автор: Makoto Sato,Tatsuya Asahata,Xin Man,Takuma Aso. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2021-03-25.

Method for creating a smooth diagonal surface using a focused ion beam and an innovative scanning strategy

Номер патента: US20240234085A9. Автор: Yehuda Zur. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Monochromator and charged particle apparatus including the same

Номер патента: US09425022B2. Автор: TAKASHI Ogawa,Bok Lae CHO,Sang Jung Ahn,In Yong Park,Cheolsu Han. Владелец: Korea Research Institute of Standards and Science KRISS. Дата публикации: 2016-08-23.

Charged particle beam irradiation method, method of manufacturing semiconductor device and charged particle beam apparatus

Номер патента: US20050121610A1. Автор: Hideaki Abe. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-06-09.

Charged particle beam apparatus and image acquisition method

Номер патента: US10763077B2. Автор: Takeshi Otsuka. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2020-09-01.

Charged particle beam device, method for adjusting charged particle beam device, and method for inspecting or observing sample

Номер патента: US09673020B2. Автор: Yusuke Ominami,Sukehiro Ito,Tomohisa Ohtaki. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-06-06.

Charged Particle Beam Apparatus and Image Acquisition Method

Номер патента: US20190362934A1. Автор: Takeshi Otsuka. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2019-11-28.

Charged-Particle Beam Device

Номер патента: US20190393014A1. Автор: Akira Ikegami,Yasushi Ebizuka,Yuta Kawamoto,Naoma Ban. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-12-26.

Charged particle beam device and power supply device

Номер патента: US20220068595A1. Автор: Wen Li,Makoto Suzuki,Hiroyuki Takahashi,Yuzuru MIZUHARA. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-03-03.

Charged particle beam device

Номер патента: US12046446B2. Автор: Hiroyuki Chiba,Hirofumi Sato,Wei Chean TAN,Ryo KOMATSUZAKI. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-07-23.

Cross-talk cancellation in multiple charged-particle beam inspection

Номер патента: US12080513B2. Автор: Wei Fang,BO Wang,Yongxin Wang,Lingling Pu,Zhonghua Dong. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-09-03.

Detector supplement device for spectroscopy setup

Номер патента: EP3381044A1. Автор: Davide Bleiner,Yunieski ARBELO-PENA. Владелец: Eidgenoessische Materialprufungs und Forschungsanstalt EMPA. Дата публикации: 2018-10-03.

Method for analyzing an object and charged particle beam device for carrying out the method

Номер патента: US09620331B1. Автор: Edward Hill,Sreenivas Bhattiprolu. Владелец: Carl Zeiss Microscopy Ltd. Дата публикации: 2017-04-11.

Charged particle-beam device and specimen observation method

Номер патента: US09466460B2. Автор: Taku Sakazume,Yusuke Ominami,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-10-11.

Method for operating a multi-beam particle microscope with fast closed-loop beam current control, computer program product and multi-beam particle microscope

Номер патента: NL2032542B1. Автор: BEHNKE Michael,Mueller Ingo,Fritz Hans,Kaufmann Nicolas. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2023-07-28.

Charged particle beam apparatus and method of controlling charged particle beam apparatus

Номер патента: US11756764B2. Автор: Kuniyasu Nakamura,Hirokazu Tamaki,Takashi Dobashi,Hiromi MISE. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-12.

Charged-particle-beam device

Номер патента: US09960006B2. Автор: Hajime Kawano,Yuko Sasaki,Yasunari Sohda,Noritsugu Takahashi,Wataru Mori. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2018-05-01.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US11239046B2. Автор: Tatsuya Asahata,Atsushi Uemoto,Ayana MURAKI. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2022-02-01.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20210090851A1. Автор: Tatsuya Asahata,Atsushi Uemoto,Ayana MURAKI. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2021-03-25.

Method for operating a multi-beam particle microscope with fast closed-loop beam current control, computer program product and multi-beam particle microscope

Номер патента: US20240128048A1. Автор: Michael Behnke,Ingo Mueller,Hans Fritz,Nicolas Kaufmann. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-04-18.

Method for operating a multi-beam particle microscope with fast closed-loop beam current control, computer program product and multi-beam particle microscope

Номер патента: EP4374411A1. Автор: Michael Behnke,Ingo Mueller,Hans Fritz,Nicolas Kaufmann. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2024-05-29.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: EP4250330A1. Автор: Tatsuya Uchida,Kenichi Tsutsumi,Nobuyuki Ikeo,Kazushiro Yokouchi,Konomi Ikita. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-09-27.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20230307206A1. Автор: Tatsuya Uchida,Kenichi Tsutsumi,Nobuyuki Ikeo,Kazushiro Yokouchi,Konomi Ikita. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-09-28.

Apparatus and method for detecting one or more scanning charged particle beams

Номер патента: EP3977502A1. Автор: Andries Pieter Johan EFFTING,Lenard Maarten VOORTMAN. Владелец: Delmic IP BV. Дата публикации: 2022-04-06.

Scanning charged-particle-beam microscopy with energy-dispersive x-ray spectroscopy

Номер патента: US12094684B1. Автор: Christopher Su-Yan OWN,Matthew Francis Murfitt. Владелец: Mochii Inc. Дата публикации: 2024-09-17.

Diaphragm mounting member and charged particle beam device

Номер патента: US09633817B2. Автор: Hiroyuki Suzuki,Yusuke Ominami,Shinsuke Kawanishi,Masahiko Ajima. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-04-25.

Charged particle beam device

Номер патента: US12051563B2. Автор: Hiroyuki Chiba,Wei Chean TAN,Ryo KOMATSUZAKI,Hirofumi Satou. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-07-30.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20230343548A1. Автор: Takuma Yamamoto. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-10-26.

Crystal orientation figure creating device, charged particle beam device, crystal orientation figure creating method, and program

Номер патента: US20200066480A1. Автор: Naoki Maruyama,Takafumi Amino,Takashige Mori. Владелец: Nippon Steel Corp. Дата публикации: 2020-02-27.

Charged particle optics components and their fabrication

Номер патента: US20240047171A1. Автор: Alexander Henstra,Luigi Mele,Ali Mohammadi-Gheidari. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-02-08.

Charged Particle Beam Apparatus and Image Adjustment Method

Номер патента: US20230100291A1. Автор: Tomohiro Mihira. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-03-30.

Charged particle beam system

Номер патента: US12068128B2. Автор: Yusuke Nakamura,Kenji Tanimoto,Takeyoshi Ohashi,Yusuke Abe. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-08-20.

Charged Particle Beam System

Номер патента: US20240371601A1. Автор: Yusuke Nakamura,Kenji Tanimoto,Takeyoshi Ohashi,Yusuke Abe. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-11-07.

Charged Particle Beam System With Receptacle Chamber For Cleaning Sample and Sample Stage

Номер патента: US09881768B2. Автор: Shuji Kawai. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2018-01-30.

Method for alignment of a light beam to a charged particle beam

Номер патента: US20190013178A1. Автор: Steven Randolph,Jorge Filevich,Aurelien Philippe Jean Maclou Botman,Milos Toth,Dolf Timmerman,Cameron James Zachreson. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2019-01-10.

Method of operating a particle beam system and computer program product

Номер патента: US20240258065A1. Автор: Ralf Wolleschensky,Yauheni Novikau,Kai Wicker,Dirk Preikszas,Bjoern Gamm. Владелец: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH. Дата публикации: 2024-08-01.

Dual speed acquisition for drift corrected, fast, low dose, adaptive compositional charged particle imaging

Номер патента: EP4064323A1. Автор: Pavel Potocek,Bert Freitag,Maurice PEEMEN,Remco Schoenmakes. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2022-09-28.

Dual speed acquisition for drift corrected, fast, low dose, adaptive compositional charged particle imaging

Номер патента: US20230035267A1. Автор: Pavel Potocek,Remco Schoenmakers,Bert Henning Freitag,Maurice PEEMEN. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2023-02-02.

Dual speed acquisition for drift corrected, fast, low dose, adaptive compositional charged particle imaging

Номер патента: US12136532B2. Автор: Pavel Potocek,Remco Schoenmakers,Bert Henning Freitag,Maurice PEEMEN. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-11-05.

Charged particle beam exposure apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09824860B2. Автор: Akio Yamada. Владелец: Advantest Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US09502212B2. Автор: Hitoshi Tamura,Minoru Yamazaki,Hideyuki Kazumi,Yuzuru MIZUHARA,Miki Isawa. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2016-11-22.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20220230840A1. Автор: Shuntaro Ito,Hiromi MISE. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-07-21.

Charged particle beam device

Номер патента: US09543111B2. Автор: Yusuke Ominami,Masami Katsuyama,Sukehiro Ito. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-01-10.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20150228450A1. Автор: Hidekazu Suzuki,Tatsuya Asahata,Yo Yamamoto,Atsushi Uemoto. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2015-08-13.

Transmission charged particle microscope with an electron energy loss spectroscopy detector

Номер патента: US20240258067A1. Автор: Peter Christiaan Tiemeijer. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2024-08-01.

Method for acquiring simultaneous and overlapping optical and charged particle beam images

Номер патента: EP2601477A2. Автор: Thomas Moore,Cheryl Hartfield,Gregory Magel. Владелец: Omniprobe Inc. Дата публикации: 2013-06-12.

Processor System Capable of Communicating with Multicharged Particle Beam Device and Method Thereof

Номер патента: US20240212973A1. Автор: Hajime Kawano,Kaoru Sakai,Mayuka Osaki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Charged particle beam device and capturing condition adjusting method in charged particle beam device

Номер патента: US10770266B2. Автор: Tomohito Nakano,Minoru Yamazaki,Yuko Sasaki,Toshiyuki Yokosuka,Yuzuru Mochizuki. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2020-09-08.

Charged Particle Beam Device and Capturing Condition Adjusting Method in Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20200035449A1. Автор: Tomohito Nakano,Minoru Yamazaki,Yuko Sasaki,Toshiyuki Yokosuka,Yuzuru Mochizuki. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2020-01-30.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20210272768A1. Автор: Masaaki Komatsu,Shin Imamura,Shuhei Yabu,Michio Hatano. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2021-09-02.

Charged-particle beam device for diffraction analysis

Номер патента: EP4385056A1. Автор: Harald Niebel,Günther STEINFELD,Tomi Tuohimaa,Christiaan Van Den Berg,Alexander Van Veen. Владелец: Eldico Scientific AG. Дата публикации: 2024-06-19.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20150228443A1. Автор: Makoto Sakakibara,Kenichi Morita,Kenji Obara,Muneyuki Fukuda,Naomasa Suzuki,Sayaka Tanimoto. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2015-08-13.

Charged Particle Beam Device, Charged Particle Beam System, and Adjustment Method

Номер патента: US20230386781A1. Автор: Ayumi Doi,Shuichiro Takahashi,Aoi YAMAUCHI,Zhao JINYU. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-11-30.

Charged particle beam device and inspection device

Номер патента: US20240297012A1. Автор: Makoto Suzuki,Hiroki Kawada,Atsuko SHINTANI. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-09-05.

Charged particle beam apparatus and inspection method using the same

Номер патента: US09659744B2. Автор: Yoshinobu Kimura,Naomasa Suzuki,Hideyuki Kazumi,Natsuki Tsuno,Shoji Hotta. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-05-23.

Charged particle beam device and image generation method

Номер патента: EP4148766A1. Автор: Kazuki Yagi,Ruth Shewmon Bloom,Hiroki HASHIGUCHI,Bryan W Reed. Владелец: Jeol Ltd. Дата публикации: 2023-03-15.

Methods of determining aberrations of a charged particle beam, and charged particle beam system

Номер патента: US20230352268A1. Автор: John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-11-02.

Methods of determining aberrations of a charged particle beam, and charged particle beam system

Номер патента: US11810753B2. Автор: Matthias FIRNKES,John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fuer Halbleiterprueftechnik mbH. Дата публикации: 2023-11-07.

Methods of determining aberrations of a charged particle beam, and charged particle beam system

Номер патента: WO2023061651A1. Автор: Matthias FIRNKES,John Breuer,Dominik Ehberger. Владелец: ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH. Дата публикации: 2023-04-20.

Charged particle beam device

Номер патента: US20220359150A1. Автор: Makoto Sakakibara,Hajime Kawano,Momoyo Enyama,Hiroya Ohta. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-11-10.

Integrated optical and charged particle inspection apparatus

Номер патента: EP2834832A2. Автор: Pieter Kruit,Jacob Pieter Hoogenboom,Nalan M. SC LIV,Aernout Christian ZONNEVYLLE. Владелец: Delmic BV. Дата публикации: 2015-02-11.

Holder and charged particle beam apparatus

Номер патента: US20200373119A1. Автор: Kotaro Hosoya. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2020-11-26.

Thermal-aided inspection by advanced charge controller module in a charged particle system

Номер патента: US11728131B2. Автор: Jian Zhang,Jun Jiang,Ning Ye,Yixiang Wang. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-08-15.

Light guide, detector having light guide, and charged particle beam device

Номер патента: US10593512B2. Автор: Yoshifumi Sekiguchi,Shin Imamura,Hajime Kawano,Shahedul Hoque. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2020-03-17.

Scanning type charged particle beam microscope

Номер патента: US20020017606A1. Автор: Masayuki Maruo. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-02-14.

Thermal-aided inspection by advanced charge controller module in a charged particle system

Номер патента: US12125669B2. Автор: Jian Zhang,Jun Jiang,Ning Ye,Yixiang Wang. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-10-22.

Integrated optical and charged particle inspection apparatus

Номер патента: US09715992B2. Автор: Pieter Kruit,Jacob Pieter Hoogenboom,Aernout Christiaan Zonnevylle,Nalan Liv. Владелец: Delmic BV. Дата публикации: 2017-07-25.

Method for creating a smooth diagonal surface using a focused ion beam and an innovative scanning strategy

Номер патента: US20240136150A1. Автор: Yehuda Zur. Владелец: Applied Materials Israel Ltd. Дата публикации: 2024-04-25.

Method of examining a sample using a charged particle microscope

Номер патента: US20200355633A1. Автор: Tomas Tuma,Jan Klusacek,Jiri Petrek. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2020-11-12.

Scanning type charged particle beam microscope

Номер патента: US6683307B2. Автор: Masayuki Maruo. Владелец: Seiko Instruments Inc. Дата публикации: 2004-01-27.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US11928801B2. Автор: Ryo KOMATSUZAKI. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-03-12.

Multi-pole deflector for charged particle beam and charged particle beam imaging apparatus

Номер патента: US20210066021A1. Автор: YAN Zhao,Weiqiang SUN,Qinglang MENG. Владелец: Zhongke Jingyuan Microelectronic Technology Beijing Co Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Charged Particle Beam System

Номер патента: US20230317406A1. Автор: Satoru Yamaguchi,Yuto Kawashima,Yasunori Takasugi. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-10-05.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20220261973A1. Автор: Ryo KOMATSUZAKI. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2022-08-18.

Multi-pole deflector for charged particle beam and charged particle beam imaging apparatus

Номер патента: US11295928B2. Автор: YAN Zhao,Weiqiang SUN,Qinglang MENG. Владелец: Zhongke Jingyuan Microelectronic Technology Beijing Co Ltd. Дата публикации: 2022-04-05.

Method for area-wise inspecting a sample by means of a multi-beam particle microscope, computer program product and multi-beam particle microscope for semiconductor sample inspection

Номер патента: NL2032349B1. Автор: Zeidler Dirk,Boecker Daniel. Владелец: Carl Zeiss Multisem Gmbh. Дата публикации: 2023-09-13.

Adjusting method of charged particle beam device and charged particle beam device system

Номер патента: US12001521B2. Автор: Muneyuki Fukuda,Natsuki Tsuno,Heita KIMIZUKA. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-06-04.

Charged Particle Beam Apparatus

Номер патента: US20240177963A1. Автор: Masaru Matsushima,Go Miya,Masaki Mizuochi,Yuki UCHIOKE,Katsumi Kambe. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-05-30.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US20130105690A1. Автор: Satoshi Takada,Tatsuichi Katou. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2013-05-02.

Charged Particle Beam Apparatus and Sample Observation Method

Номер патента: US20190279838A1. Автор: Kunji Shigeto,Mitsugu Yamashita. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-09-12.

Method and system for reducing curtaining in charged particle beam sample preparation

Номер патента: US09488554B2. Автор: Michael Schmidt,Sang Hoon Lee,Stacey Stone,Jeffrey Blackwood,Hyun Hwa Kim. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2016-11-08.

Charged particle beam device and power supply device

Номер патента: US11810752B2. Автор: Wen Li,Makoto Suzuki,Hiroyuki Takahashi,Yuzuru MIZUHARA. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-11-07.

Aperture set for multi-beam and multi-charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20180182593A1. Автор: Hiroshi Yamashita,Kenichi Kataoka,Hiroshi Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-06-28.

Multi charged particle beam adjustment method, multi charged particle beam irradiation method, and multi charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US11804360B2. Автор: HIROFUMI Morita,Takanao TOUYA,Tsubasa NANAO. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-10-31.

Portable information terminal, beam irradiation system, and program

Номер патента: US10485087B2. Автор: Masato Suzuki,Tatsuya Asahata,Atsushi Uemoto,Takuma Aso. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2019-11-19.

Charged-particle beam writing apparatus and charged-particle beam writing method

Номер патента: US20190355553A1. Автор: Takashi Kamikubo,Haruyuki NOMURA. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2019-11-21.

Multi charged particle beam writing apparatus and method of adjusting same

Номер патента: US11740546B2. Автор: Hiroshi Matsumoto,Tsubasa NANAO. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-08-29.

Charged Particle Beam Device

Номер патента: US20240055220A1. Автор: Yuka II. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-02-15.

Multiple charged particle beam writing apparatus and multiple charged particle beam writing method

Номер патента: US20220107569A1. Автор: Yasuo Kato,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2022-04-07.

Writing data generating method, multi charged particle beam writing apparatus, pattern inspecting apparatus, and computer-readable recording medium

Номер патента: US11774860B2. Автор: Kenichi Yasui,Noriaki Nakayamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2023-10-03.

Writing data generating method, multi charged particle beam writing apparatus, pattern inspecting apparatus, and computer-readable recording medium

Номер патента: US20200278612A1. Автор: Kenichi Yasui,Noriaki Nakayamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-09-03.

Method and device for generating a focused strong-current charged-particle beam

Номер патента: US20150303019A1. Автор: Julien Fuchs,Bruno Albertazzi,Henri Pepin,Emmanuel D'HUMIERES. Владелец: Institut National de La Recherche Scientifique INRS. Дата публикации: 2015-10-22.

Charged particle beam source, surface processing apparatus and surface processing method

Номер патента: US12125664B2. Автор: David Pearson,Joao Ferreira,Sebastien POCHON. Владелец: OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LTD. Дата публикации: 2024-10-22.

Method and device for generating a focused strong-current charged-particle beam

Номер патента: US09514908B2. Автор: Julien Fuchs,Bruno Albertazzi,Henri Pepin,Emmanuel D'HUMIERES. Владелец: Institut National de La Recherche Scientifique INRS. Дата публикации: 2016-12-06.

Method and apparatus for generation of a uniform-profile particle beam

Номер патента: US09953798B2. Автор: Brian Patrick Wilfley,Josh Star-Lack,Thomas A CASE. Владелец: Novaray Medical Inc. Дата публикации: 2018-04-24.

Writing data generating method and multi charged particle beam writing apparatus

Номер патента: US20200117095A1. Автор: Kenichi Yasui,Noriaki Nakayamada. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2020-04-16.

Charged particle acceleration apparatus and method

Номер патента: WO2007133225A3. Автор: Jonathan Gorrell,Mark Davidson,Michael E Maines,Paul K Hart. Владелец: Virgin Islands Microsystems. Дата публикации: 2009-04-16.

Charged particle beam apparatus, thin film forming method, defect correction method and device forming method

Номер патента: US20130224889A1. Автор: Tatsuya Shimoda,Yasuo Matsuki,Yoshihiro Koyama,Anto Yasaka,Ryo Kawajiri. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2013-08-29.

Pattern writing apparatus using charged particle beam, and program-recorded readable recording medium

Номер патента: US20080067431A1. Автор: Tomoyuki Horiuchi,Takeshi Kurohori. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2008-03-20.

Charged particle beam apparatus

Номер патента: US11747292B2. Автор: Hiroyuki Chiba,Wei Chean TAN. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2023-09-05.

Multiple charged particle beam lithography apparatus and multiple charged particle beam lithography method

Номер патента: US09947509B2. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-04-17.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09478391B2. Автор: Hironobu Matsumoto. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-10-25.

Method for fracturing a pattern for writing with a shaped charged particle beam writing system using dragged shots

Номер патента: WO2011049735A2. Автор: Michael Tucker,Akira Fujimura,Harold Robert Zable. Владелец: D2S, INC.. Дата публикации: 2011-04-28.

Charged particle beam device and inspection device

Номер патента: US09824938B2. Автор: Osamu Inoue,Atsuko Yamaguchi,Hiroki Kawada. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Charged particle processing for forming pattern boundaries at a uniform thickness

Номер патента: US20020177055A1. Автор: Ryoji Hagiwara,Tomokazu Kozakai. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-11-28.

Charged-particle-beam microlithography methods exhibiting reduced coulomb effects

Номер патента: US20020187411A1. Автор: Kazuaki Suzuki,Sumito Shimizu. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2002-12-12.

Particle beam transport apparatus

Номер патента: US09818573B2. Автор: Willem Kleeven,Michel Abs,Szymon Zaremba. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2017-11-14.

Precision material modification using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US09824859B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Precision material modification using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US09822443B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Precision deposition using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US09556521B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2017-01-31.

Precision deposition using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US09453281B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2016-09-27.

Active dielectric waveguide amplifier or oscillator using a high density charged particle beam

Номер патента: US4389593A. Автор: Louis J. Jasper, Jr.,Charles M. Desantis. Владелец: US Department of Army. Дата публикации: 1983-06-21.

Particle beam mass spectrometer and particle measurement method by means of same

Номер патента: US20180286655A1. Автор: Sang Jung Ahn,Cheolsu Han,Chang Joon Park,Keu Chan Lee,Seok Rae Yoon. Владелец: Korea Research Institute of Standards and Science KRISS. Дата публикации: 2018-10-04.

Charged particle beam treatment apparatus

Номер патента: US20190027339A1. Автор: Nagaaki Kamiguchi. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2019-01-24.

Charged particle beam treatment apparatus and method of adjusting path length of charged particle beam

Номер патента: US20150270098A1. Автор: Shinji Iwanaga. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2015-09-24.

Scan strategies to minimize charging effects and radiation damage of charged particle beam metrology system

Номер патента: EP3762779A1. Автор: HONG Xiao. Владелец: KLA Tencor Corp. Дата публикации: 2021-01-13.

Scan strategies to minimize charging effects and radiation damage of charged particle beam metrology system

Номер патента: WO2019173252A1. Автор: HONG Xiao. Владелец: KLA-TENCOR CORPORATION. Дата публикации: 2019-09-12.

Precision substrate material removal using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US9673114B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2017-06-06.

Stage device and charged particle beam device

Номер патента: US20190228947A1. Автор: Hironori Ogawa,Motohiro Takahashi,Shuichi Nakagawa,Takanori Kato,Masaki Mizuochi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2019-07-25.

Multi-layer range measurement for characterizing charged particle beams

Номер патента: US09981146B2. Автор: Raymond P. Boisseau,John S. Gordon,Andrew Dart,Julia C. Nett. Владелец: PYRAMID TECHNICAL CONSULTANTS Inc. Дата публикации: 2018-05-29.

Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method

Номер патента: US09899187B2. Автор: Yasuo Kato,Masafumi Ise,Ryoh Kawana. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-02-20.

Precision substrate material removal using miniature-column charged particle beam arrays

Номер патента: US09466464B1. Автор: Michael C. Smayling,Kevin M. Monahan,Theodore A. Prescop,David K. Lam. Владелец: Multibeam Corp. Дата публикации: 2016-10-11.

Charged particle beam source, surface processing apparatus and surface processing method

Номер патента: US20220216027A1. Автор: David Pearson,Joao Ferreira,Sebastien POCHON. Владелец: OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LTD. Дата публикации: 2022-07-07.

Charged particle source from a photoionized cold atom beam

Номер патента: US20120145919A1. Автор: Jabez J. Mcclelland,Brenton J. Knuffman,Adam V. Steele. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-06-14.

Electromagnet and charged particle accelerator

Номер патента: US20240008165A1. Автор: Yujiro Tajima,Ryuki YOKOTA. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2024-01-04.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20130253688A1. Автор: MATSUMOTO Hiroshi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2013-09-26.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20150064934A1. Автор: Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2015-03-05.

Method for fracturing and forming a pattern using shaped beam charged particle beam lithography

Номер патента: US09448473B2. Автор: Michael Tucker,Akira Fujimura. Владелец: D2S Inc. Дата публикации: 2016-09-20.

Compact Charged Particle Beam Plasma Multi-Frequency Antenna

Номер патента: US20240275029A1. Автор: Eric N. Enig,Yil-Bong KIM. Владелец: Enig Associates Inc. Дата публикации: 2024-08-15.

Systems and methods for duality modulation separation of charged particle wave packets

Номер патента: US20240029913A1. Автор: Stuart Mirell,Daniel Mirell. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-01-25.

Liquid shaping with charged particle beams

Номер патента: US20220381654A1. Автор: Libor Novak,Tomás Kazda. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2022-12-01.

Liquid shaping with charged particle beams

Номер патента: EP4095940A1. Автор: Libor Novak,Tomás Kazda. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2022-11-30.

Image processing device, charged particle beam device, charged particle beam device adjustment sample, and manufacturing method thereof

Номер патента: US09702695B2. Автор: Osamu Inoue,Takashi Takahama,Naoshi Itabashi,Miyako Matsui,Takahiro Kawasaki,Hiroki Kawada,Osamu Komuro,Katsumi Setoguchi. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2017-07-11.

Method and system for stable dynamics and constant beam delivery for acceleration of charged particle beams in a non-scaling fixed field alternating gradient magnetic field accelerator

Номер патента: EP2701468A3. Автор: Carol Johnstone. Владелец: PARTICLE ACCELERATOR CORP. Дата публикации: 2014-10-29.

Charged particle emission control device, method, and program

Номер патента: US11968773B2. Автор: Takuji Furukawa,Kota Mizushima,Munemichi MATSUMOTO,Kohei KOTAKI. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2024-04-23.

Particle beam treatment system and method for renewing facilities of particle beam treatment system

Номер патента: US20190269941A1. Автор: Hidehiro Aono. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2019-09-05.

Charged-particle beam therapy apparatus and method for controlling charged-particle beam therapy apparatus

Номер патента: US20150265855A1. Автор: Masanori Tachibana,Toru Asaba,Toshiki Tachikawa. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2015-09-24.

Sampler for sampling charged particles, and apparatus for measuring charge distribution of the charged particles

Номер патента: US20060283270A1. Автор: Hiroaki Masuda,Tadashi Iwamatsu,Shuji Matsusaka. Владелец: Sharp Corp. Дата публикации: 2006-12-21.

Charged particle migration type display panel and method of manufacturing charged particle migration type display panel

Номер патента: US8400705B2. Автор: Kenichi Murakami. Владелец: Brother Industries Ltd. Дата публикации: 2013-03-19.

Particle beam irradiation system and particle beam irradiation method

Номер патента: US20240324092A1. Автор: Takuya Nomura,Mina EGUCHI. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-09-26.

High-frequency control device for accelerator and particle beam therapy system

Номер патента: US20150073199A1. Автор: Hidenobu TAKASE. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2015-03-12.

High-frequency control device for accelerator and particle beam therapy system

Номер патента: US09456487B2. Автор: Hidenobu TAKASE. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2016-09-27.

Charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: EP2073612A2. Автор: Takahide Nakayama,Kunio Moriyama,Hideaki Nishiuchi. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2009-06-24.

Particle accelerator and particle beam therapy apparatus

Номер патента: US12101869B2. Автор: Toshiyuki Shirai,Kota Mizushima. Владелец: NATIONAL INSTITUTES FOR QUANTUM SCIENCE AND TECHNOLOGY. Дата публикации: 2024-09-24.

Charged particle beam extraction method using pulse voltage

Номер патента: US20120200237A1. Автор: Satoru Yamada,Kota Torikai. Владелец: Gunma University NUC. Дата публикации: 2012-08-09.

Particle beam treatment system and beam position correcting method thereof

Номер патента: US20140235922A1. Автор: Masahiro Ikeda,Hisashi Harada,Toshihiro Otani,Kengo Sugahara,Shuhei ODAWARA,Kazushi Hanakawa,Taizo Honda,Katsuhisa Yoshida. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2014-08-21.

Accelerator for two particle beams for producing collision

Номер патента: RU2569324C2. Автор: Оливер ХАЙД. Владелец: СИМЕНС АКЦИЕНГЕЗЕЛЛЬШАФТ. Дата публикации: 2015-11-20.

Charged particle generator

Номер патента: EP2517539A1. Автор: Susan Smith,Christopher Prior,Shinji Machida,Neil Bliss,Bruno Muratori,Robert Cywinski. Владелец: Science and Technology Facilities Council. Дата публикации: 2012-10-31.

Charged particle beam extraction system and method

Номер патента: EP1732369A3. Автор: Takahide Nakayama,Takayoshi Hitachi Ltd. IPO 12F Natori,Masaki Hitachi Ltd. IPO 12F Yanagisawa. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2010-01-20.

Particle beam therapy system

Номер патента: US09776019B2. Автор: Kazuyoshi Saito,Takuya Nomura,Hideaki Nishiuchi. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-10-03.

Particle beam accelerator

Номер патента: US20060250097A1. Автор: Yuichi Yamamoto,Takahisa Nagayama,Nobuhiko Ina. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2006-11-09.

Particle beam cooling device

Номер патента: US20110074287A1. Автор: Thomas J. Roberts. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-03-31.

Induction accelerating device and acceleration method of charged particle beam

Номер патента: US20110156617A1. Автор: Kota Torikai,Ken Takayama,Yoshio Arakida,Yoshito Shimosaki. Владелец: Inter University Research Institute Corp High Energy Accelerator Research Organization. Дата публикации: 2011-06-30.

Method and apparatus for multi-pass return arc for recirculating linear accelerators

Номер патента: WO2013043833A1. Автор: Kevin BEARD,Vasiliy MOROZOV,Alex BOGACZ,Yves ROBLIN. Владелец: Muons, Inc.. Дата публикации: 2013-03-28.

Method and system of beam injection to charged particle storage ring

Номер патента: US09655226B2. Автор: Hironari Yamada. Владелец: PHOTON PRODUCTION LABORATORY Ltd. Дата публикации: 2017-05-16.

Circular accelerator and particle beam treatment system

Номер патента: US20240198138A1. Автор: Kenji Miyata,Futaro EBINA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-06-20.

Circular accelerator and particle beam treatment system

Номер патента: EP4383955A1. Автор: Kenji Miyata,Futaro EBINA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-06-12.

Pulsed ion beam to pulsed neutral particle beam slow wave converter device and method for use thereof

Номер патента: US11991814B1. Автор: Mark Bennahmias,Michael J. Zani. Владелец: NEXGEN SEMI HOLDING Inc. Дата публикации: 2024-05-21.

Beam transport system and particle beam therapy system

Номер патента: US09881711B2. Автор: Shuhei ODAWARA,Kazushi Hanakawa. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2018-01-30.

Charged particle beam radiation system, synchrotron, and beam ejection method therefor

Номер патента: US09763316B2. Автор: Takuya Nomura,Kunio Moriyama,Hideaki Nishiuchi,Satoshi Totake,Futaro EBINA. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-09-12.

Method for manufacturing particle beam therapy system and particle beam therapy system

Номер патента: US20240355497A1. Автор: Yutaka Hirata,Atsushi Miyamoto,Hiromichi RYUTO. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2024-10-24.

Charged particle beam extraction method and apparatus used in conjunction with a charged particle cancer therapy system

Номер патента: EP2283705A2. Автор: Vladimir Yegorovich Balakin. Владелец: Individual. Дата публикации: 2011-02-16.

Particle beam therapy system

Номер патента: US20160101298A1. Автор: Toshihiro Otani,Syuhei ODAWARA. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2016-04-14.

Method and apparatus for splitting and combining light and particle beams using moving mirror

Номер патента: WO2024163411A1. Автор: Stanley Pau. Владелец: Arizona Board of Regents on Behalf of the University of Arizona. Дата публикации: 2024-08-08.

Charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US09566453B2. Автор: Masanori Tachibana. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2017-02-14.

Particle beam irradiation system and particle beam irradiation facility

Номер патента: US12121754B2. Автор: Kenichi Takizawa,Hideaki Nishiuchi,Tadashi Katayose. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-10-22.

Particle beam scanning irradiation system

Номер патента: US20150038766A1. Автор: Masahiro Ikeda,Yuehu Pu,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2015-02-05.

Particle beam irradiation apparatus and particle beam therapy system

Номер патента: US20130253252A1. Автор: Takaaki Iwata. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2013-09-26.

Charged particle beam therapy and magnetic resonance imaging

Номер патента: RU2681075C2. Автор: Йоханнес Адрианус ОВЕРВЕГ. Владелец: КОНИНКЛЕЙКЕ ФИЛИПС Н.В.. Дата публикации: 2019-03-01.

Charged-particle distribution measuring apparatus

Номер патента: US4992742A. Автор: Shigeo Sasaki,Kazuo Yoshida,Yoshio Yamane,Soichiro Okuda,Fumiharu Yabunaka. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 1991-02-12.

Particle beam monitoring systems and methods

Номер патента: EP3655102A1. Автор: Juergen Heese. Владелец: Varian Medical Systems Particle Therapy GmbH and Co KG. Дата публикации: 2020-05-27.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20130157198A1. Автор: Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2013-06-20.

CHARGED-PARTICLE BEAM THERAPY APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING CHARGED-PARTICLE BEAM THERAPY APPARATUS

Номер патента: US20150265855A1. Автор: TACHIBANA Masanori,Asaba Toru,Tachikawa Toshiki. Владелец: . Дата публикации: 2015-09-24.

Particle beam therapy system

Номер патента: US20130289333A1. Автор: Masahiro Ikeda,Hisashi Harada,Kengo Sugahara,Kazushi Hanakawa,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2013-10-31.

Method for mist dispersion and device for its implementation

Номер патента: RU2734550C1. Автор: Алексей Алексеевич Палей. Владелец: Алексей Алексеевич Палей. Дата публикации: 2020-10-20.

Device for determining aim position of charged particle beam, its using method, and treatment device employing device for determining aim position

Номер патента: WO2007080981A1. Автор: Takashi Nakano,Taku Sato,Kazuo Arakawa,Takuro Sakai,Takahiro Satoh,Yasushi Horiuchi,Mitsuhiro Fukuda,Hirofumi Shimada,Hiroyuki Katoh,Masakazu Oikawa,Takashi Agematsu,Ken Yusa,Shoji Kishi. Владелец: JAPAN ATOMIC ENERGY AGENCY. Дата публикации: 2007-07-19.

Device for determining aim position of charged particle beam, its using method and treatment device employing deivce for determining aim position

Номер патента: GB0812582D0. Автор: . Владелец: Gunma University NUC. Дата публикации: 2008-08-13.

Statistical tomographic reconstruction based on charged particle measurements

Номер патента: RU2468390C2. Автор: Кристофер Л. МОРРИС,Ларри Джо ШУЛЬТЦ,Майкл Джеймс СОССОНГ,Константин Н. БОРОЗДИН,Алексей В. КЛИМЕНКО,Эндрю Маклеод ФРЕЙЗЕР,Джон Кристофер ОРУМ,Николас У. ХЕНГАРТНЕР. Владелец: ЛОС АЛАМОС НЭШНЛ СЕКЬЮРИТИ, ЭлЭлСи. Дата публикации: 2012-11-27.

Spin detecting device for measuring spin vector component predominant in particle beam

Номер патента: RU2579186C2. Автор: Оливер ШАФФ. Владелец: Спекс Сёрфейс Нано Анализис Гмбх. Дата публикации: 2016-04-10.

Charged particle trap apparatus

Номер патента: WO2024180338A1. Автор: David Allcock,Maciej MALINOWSKI,Chris BALLANCE. Владелец: Oxford Ionics Limited. Дата публикации: 2024-09-06.

Charged particle trap apparatus

Номер патента: WO2024180337A1. Автор: David Allcock,Maciej MALINOWSKI,Chris BALLANCE. Владелец: Oxford Ionics Limited. Дата публикации: 2024-09-06.

System and methods of charged particle detectors for blast furnace imaging

Номер патента: AU2022289487A1. Автор: Sean Simon,Anthony Crego. Владелец: Decision Sciences International Corp. Дата публикации: 2023-12-14.

System and methods of charged particle detectors for blast furnace imaging

Номер патента: EP4352435A1. Автор: Sean Simon,Anthony Crego. Владелец: Decision Sciences International Corp. Дата публикации: 2024-04-17.

System and methods of charged particle detectors for blast furnace imaging

Номер патента: WO2022261335A1. Автор: Sean Simon,Anthony Crego. Владелец: Decision Sciences International Corporation. Дата публикации: 2022-12-15.

System of mobile charged particle detectors and methods of spent nuclear fuel imaging

Номер патента: EP3942591A1. Автор: Konstanin BOROZDIN. Владелец: Decision Sciences International Corp. Дата публикации: 2022-01-26.

Charged particle measuring apparatus

Номер патента: US20030158678A1. Автор: Takashi Nozaki,Jun Kikuchi,Haruhisa Matsumoto,Hideki Koshiishi,Shigeru Takehisa. Владелец: MEISI ELECTRIC Co Ltd. Дата публикации: 2003-08-21.

Charged particle measuring apparatus

Номер патента: US6710352B2. Автор: Takashi Nozaki,Jun Kikuchi,Haruhisa Matsumoto,Hideki Koshiishi,Shigeru Takehisa. Владелец: National Space Development Agency of Japan. Дата публикации: 2004-03-23.

Charged particle trap operation

Номер патента: WO2024009077A1. Автор: David Allcock,Maciej MALINOWSKI,Raghavendra Srinivas,Chris BALLANCE. Владелец: Oxford Ionics Limited. Дата публикации: 2024-01-11.

Statistical tomographic reconstruction based on measurements of charged particles

Номер патента: CA2667446C. Автор: Michael James Sossong,Larry Joe Schultz,Alexei V. Klimenko,Andrew Mcleod Fraser,Christopher L. Morris,Konstantin N. Borozdin,John Christopher Orum,Nicolas W. Hengartner. Владелец: Los Alamos National Security LLC. Дата публикации: 2018-01-23.

A gantry and apparatus for focussing beams of charged particles

Номер патента: CA3100404C. Автор: Luca BOTTURA. Владелец: European Organization for Nuclear Research CERN. Дата публикации: 2024-06-18.

Method for multi orbital engagement of surfaces by free rolling bodies and multi orbital devices based on this method

Номер патента: WO2005106265B1. Автор: Natan Bezyaiko. Владелец: Natan Bezyaiko. Дата публикации: 2005-12-08.

Gear unit utilized as electrical auxiliary unit for multi-speed gearbox of motor vehicle, has input element and multi-speed gearbox including gear branches and common output element

Номер патента: DE102009025094A1. Автор: Rene Scheucher. Владелец: Magna Powertrain GmbH and Co KG. Дата публикации: 2010-12-23.

METHOD AND DEVICE FOR SEPARATION OF MULTI-CHARGED CATION FROM MONETHYLENE GLYCOL

Номер патента: RU2014100906A. Автор: Борд КОСА. Владелец: Статойл Петролеум Ас. Дата публикации: 2015-07-20.

Method and device for separation of multi-charge cations from monoethyleneglycol

Номер патента: RU2564034C2. Автор: Борд КОСА. Владелец: Статойл Петролеум Ас. Дата публикации: 2015-09-27.

Installation for the laser beam welding or cutting of metals with a device for concentrating the flow of gas protecting the laser beam and its utilization for welding and cutting aluminum, aluminum alloy and stainless steel components.

Номер патента: FR2793179A1. Автор: Francois Bringout. Владелец: LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude. Дата публикации: 2000-11-10.

A method and a device for measuring the spatially averaged intensity of a light beam and a method and a device for regulating a light source

Номер патента: EP1240484A1. Автор: Urban Schnell,Olivier Elsenhans,Emad Sarofim,Lukas Birrer,Thomas Caratsch. Владелец: F Hoffmann La Roche AG. Дата публикации: 2002-09-18.

Device for closing opening of roof of motor vehicle, has beams and piece of roof made of strip of material, and locking parts arranged at end edges of beams for producing detachable connection with locking parts at body of vehicle

Номер патента: DE102009052230A1. Автор: Philipp Dipl.-Ing.(BA) Wolf. Владелец: MAGNA CAR TOP SYSTEMS GMBH. Дата публикации: 2011-06-01.

Construction device for prefabricating bridge deck by using steel-concrete composite beam and application method of construction device

Номер патента: CN111549684B. Автор: 刘�文,韦福堂,宾俞华,朱廷志,向宝城,李兴奎,彭先振,袁杰升. Владелец: Liuzhou OVM Machinery Co Ltd. Дата публикации: 2021-06-15.

Method and device for gluing the plies of a glued laminated timber beam, and beam thus obtained

Номер патента: FR1386491A. Автор: . Владелец: & Chantiers De Nantes Atel. Дата публикации: 1965-01-22.

Stabilising device for trailers - consists of leaf spring connected to chassis beam and maintained perpendicular to towing ball by support plate

Номер патента: FR2386443A2. Автор: . Владелец: Persyn Roland. Дата публикации: 1978-11-03.

Device for installing the sliding blocks used for thrust-launching beams and bridges

Номер патента: FR2590625A1. Автор: Jean-Louis Fernand Thibonnet. Владелец: Campenon Bernard. Дата публикации: 1987-05-29.

DEVICE FOR FASTENING A CEILING SUSPENDED ON A FLOOR WITH BEAMS AND INTERVALS

Номер патента: FR2964678B1. Автор: Sebastien Bernardi. Владелец: Rector Lesage SAS. Дата публикации: 2013-06-28.

Axle device for commercial vehicle, comprises support frame with two longitudinal beams, and axle body, which is fastened at each vehicle side by lifting unit at one of longitudinal beam

Номер патента: DE102010019292A1. Автор: Dipl.-Ing. Henze Steffen. Владелец: DAIMLER AG. Дата публикации: 2011-11-10.

Method and device for controlling a focal position of a working laser beam and laser processing head with such a device

Номер патента: DE102017107402B4. Автор: Georg Spörl,Marc Thiel. Владелец: Precitec GmbH and Co KG. Дата публикации: 2019-05-29.

Holographic device for formation of colored, polarized and angularly separated light beams and video image projector which utilizes it

Номер патента: WO1998047028A1. Автор: Alexander Galpern,Brahim Dahmani,Vitaly I. Sukhanov. Владелец: CORNING INCORPORATED. Дата публикации: 1998-10-22.

Method and device for thickening amorphous tetrahedral carbon coating by using ion beam and coating

Номер патента: CN108893711B. Автор: 李斌,张泽龙,康永锋,赵玉清. Владелец: Xian Jiaotong University. Дата публикации: 2020-03-17.

Improved lighting device for a complete and precise projection of a light beam and a method of its use

Номер патента: EP3869243B1. Автор: Peter Ameloot,Dean Skira,Paula Catalina ACUÑA RONCANCIO. Владелец: Delta Light Nv. Дата публикации: 2024-04-03.

Improved lighting device for a complete and precise projection of a light beam and a method of its use

Номер патента: EP3869243C0. Автор: Peter Ameloot,Dean Skira,Roncancio Paula Catalina Acuña. Владелец: Delta Light Nv. Дата публикации: 2024-04-03.

Windscreen wiper mechanism for e.g. wiping rear window of car, has thimble type additional electric connector connected to defrosting device for its power supply using wiring that is present between connector and multi-channel connector

Номер патента: FR2973756A1. Автор: Frédéric Guidez. Владелец: PEUGEOT CITROEN AUTOMOBILES SA. Дата публикации: 2012-10-12.

Device for applying a filament winding on a support of any shape and multi-purpose winding machine for application of same

Номер патента: CA1328442C. Автор: Jean-Louis Darrieux. Владелец: AIRBUS GROUP SAS. Дата публикации: 1994-04-12.

Particle beam irradiation apparatus and particle beam therapy system

Номер патента: US20120132826A1. Автор: Takaaki Iwata,Yuehu Pu. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2012-05-31.

Particle beam irradiation system and particle beam irradiation method

Номер патента: EP4434577A1. Автор: Takuya Nomura,Mina EGUCHI. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-09-25.

Particle beam irradiation apparatus and particle beam therapy system

Номер патента: US09770604B2. Автор: Takaaki Iwata. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-09-26.

Particle beam therapy system

Номер патента: US09687679B2. Автор: Masahiro Ikeda,Hisashi Harada,Takaaki Iwata,Yuehu Pu. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-06-27.

Charged-particle beam irradiation device

Номер патента: US20140058186A1. Автор: Kenzo SASAI. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2014-02-27.

Rotating gantry and particle beam therapy system

Номер патента: US09504854B2. Автор: Tadashi Katayose. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2016-11-29.

Charged particle beam irradiating apparatus

Номер патента: US20100072389A1. Автор: Toshiaki Ochi,Toru Asaba,Toshiki Tachikawa. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2010-03-25.

Charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US20210299480A1. Автор: Kenzo SASAI. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2021-09-30.

Charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US20100288946A1. Автор: Hisashi Harada,Yuehu Pu,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2010-11-18.

Particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US09937361B2. Автор: Hisashi Harada,Yusuke Sakamoto,Yuehu Pu,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2018-04-10.

Energy degrader and charged particle beam irradiation system equipped therewith

Номер патента: US09390826B2. Автор: Takamasa Ueda,Takuya Miyashita. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2016-07-12.

Charged particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US8941086B2. Автор: Satoru YAJIMA. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2015-01-27.

Irradiation nozzle, particle beam therapy device, particle beam therapy system, and control method for particle beam therapy system

Номер патента: EP4302823A1. Автор: Taizo Honda,Chihiro Nakashima,Tomokazu Shimakura. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2024-01-10.

Particle beam therapy system and magnetic resonance imaging apparatus

Номер патента: EP4035732A1. Автор: Manabu Aoki,Yusuke Fujii,Masumi Umezawa. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2022-08-03.

Charged-particle beam irradiation device, charged-particle beam irradiation method, and computer readable medium

Номер патента: US20120049091A1. Автор: Masanori Tachibana. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2012-03-01.

Particle beam irradiation system and particle beam therapy system

Номер патента: US20110147604A1. Автор: Takaaki Iwata. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2011-06-23.

Charged particle beam irradiation system

Номер патента: EP4052758A1. Автор: Takashi Yamaguchi,Masayuki Araya,Shouhei MIZUTANI,Yuya SUGAMA. Владелец: Sumitomo Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2022-09-07.

Particle beam rotational irradiation apparatus

Номер патента: US8664620B2. Автор: Kazuo Yamamoto,Takahisa Nagayama,Nobuyuki HARUNA. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2014-03-04.

Particle beam irradiation apparatus

Номер патента: US09889319B2. Автор: Hisashi Harada,Yusuke Sakamoto,Yuehu Pu,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2018-02-13.

Particle beam therapy system

Номер патента: US20120211667A1. Автор: Hisashi Harada,Takaaki Iwata,Kengo Sugahara. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2012-08-23.

Beam monitor system and particle beam irradiation system

Номер патента: US9044605B2. Автор: Masahiro Tadokoro,Kunio Moriyama,Yoshihito Hori,Tomohisa Iwamoto. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2015-06-02.

Particle beam therapy system

Номер патента: US20140088336A1. Автор: Takeshi Hagino,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2014-03-27.

Accessory holder for particle beam apparatus

Номер патента: US09789343B2. Автор: Sven De Roeck,Jean-Claude Amelia,Thomas Colmant. Владелец: Ion Beam Applications SA. Дата публикации: 2017-10-17.

Particle beam scanning irradiation system

Номер патента: US9597530B2. Автор: Masahiro Ikeda,Yuehu Pu. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-03-21.

Radiotherapy treatment device for cancer patients

Номер патента: WO2014195986A1. Автор: Giuseppe FELICI. Владелец: S.I.T. - Sordina IORT Technologies S.p.A.. Дата публикации: 2014-12-11.

Particle beam scanning irradiation system

Номер патента: US09597530B2. Автор: Masahiro Ikeda,Yuehu Pu. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-03-21.

Device for remotely cross-firing particle beams

Номер патента: US09555266B2. Автор: Yoshio Hishikawa. Владелец: MEDIPOLIS MEDICAL RESEARCH INSTITUTE. Дата публикации: 2017-01-31.

Laser-driven particle beam irradiation apparatus and method

Номер патента: US8222617B2. Автор: Akira Noda,Masahiro Ikegami,Takeshi Yoshiyuki,Hiroyuki Daido,Yasushi Iseki,Mamiko Nishiuchi. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2012-07-17.

System for irradiating charged particles and method for irradiating charged particles

Номер патента: US09750957B2. Автор: Kikuo Umegaki,Toru Umekawa,Naoki Miyamoto,Yusuke Fujii,Hiroki Shirato,Taeko Matsuura,Masumi Umezawa. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-09-05.

Beam monitor system and particle beam irradiation system

Номер патента: US20150041673A1. Автор: Masahiro Tadokoro,Kunio Moriyama,Yoshihito Hori,Tomohisa Iwamoto. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2015-02-12.

Energy exchange between a laser beam and charged particles using inverse transition radiation and method for its use

Номер патента: US5737354A. Автор: Wayne D. Kimura,Richard D. Romea,Loren C. Steinhauer. Владелец: STI Optronics Inc. Дата публикации: 1998-04-07.

Particle beam therapy system

Номер патента: US20130253253A1. Автор: Takaaki Iwata. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2013-09-26.

Particle beam treatment apparatus

Номер патента: US09610462B2. Автор: Hiroshi Ishiyama,Kentaro Matsui,Yuuji Takiguchi,Teppei Ukegawa. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2017-04-04.

Particle beam scanning irradiation system

Номер патента: US20150080631A1. Автор: Masahiro Ikeda,Yuehu Pu. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2015-03-19.

Method and apparatus for determining the spatial profile of a flux generated by a charged particle beam

Номер патента: WO2016020769A2. Автор: Leonello SERVOLI,Paola TUCCERI. Владелец: ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEARE. Дата публикации: 2016-02-11.

Method and apparatus for determining the spatial profile of a flux generated by a charged particle beam

Номер патента: WO2016020769A3. Автор: Leonello SERVOLI,Paola TUCCERI. Владелец: ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEARE. Дата публикации: 2016-04-07.

Crystal analysis apparatus, composite charged particle beam device, and crystal analysis method

Номер патента: US09470642B2. Автор: Toshiaki Fujii,Xin Man. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2016-10-18.

Device for diagnostics of pulsed beams of ionizing particles

Номер патента: RU2603231C1. Автор: Олег Иванович Столяров,Фархат Фагимович Валиев,Григорий Александрович Феофилов,Никодим Александрович Макаров. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (СПбГУ). Дата публикации: 2016-11-27.

Particle beam therapy apparatus

Номер патента: US20180289981A1. Автор: Kiyohiko Kitagawa,Yoshifumi Nagamoto,Kazutaka MAETA. Владелец: Toshiba Energy Systems and Solutions Corp. Дата публикации: 2018-10-11.

Vibration isolated table for a charged particle beam apparatus provided with a shock protection element and shock protection element

Номер патента: US20050121592A1. Автор: Johannes Van Der Ven,Albertus Dirks. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-06-09.

Charged-particle-beam analysis device and analysis method

Номер патента: US09752997B2. Автор: Masanari Koguchi,Yoshihiro Anan. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2017-09-05.

Gantry-type particle beam irradiation system and particle beam therapy system comprising same

Номер патента: US20150031934A1. Автор: Kengo Sugahara,Kazushi Hanakawa,Taizo Honda. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2015-01-29.

CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING APPARATUS AND CONTROL METHOD THEREOF

Номер патента: US20120001097A1. Автор: . Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20130056647A1. Автор: Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2013-03-07.

Multi-charged particle beam drawing apparatus and multi-charged particle beam drawing method

Номер патента: JP2018098242A. Автор: Takashi Kamikubo,貴司 上久保,上久保　貴司. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2018-06-21.

Multi-charged particle beam drawing device and multi-charged particle beam drawing method

Номер патента: JP6815192B2. Автор: 裕信 松本. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2021-01-20.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20130056645A1. Автор: Ogasawara Munehiro,YOSHIKAWA Ryoichi. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2013-03-07.

MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING APPARATUS AND MULTI CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

Номер патента: US20130082187A1. Автор: Ogasawara Munehiro. Владелец: NuFlare Technology, Inc.. Дата публикации: 2013-04-04.

Multi-charged particle beam alignment method and multi-charged particle beam inspection device

Номер патента: JP2021131946A. Автор: Koichi Ishii,浩一 石井. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2021-09-09.

Multi-charged particle beam writing method and multi-charged particle beam writing apparatus

Номер патента: JP7176480B2. Автор: 亮一 懸樋. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2022-11-22.

Charged Particle Beam Device, Position Specification Method Used for Charged Particle Beam Device, and Program

Номер патента: US20120211652A1. Автор: Sakamoto Kunio,Aizawa Megumi,Tomimatsu Satoshi,Sekihara Isamu. Владелец: . Дата публикации: 2012-08-23.

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND EVALUATION METHOD USING THE CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Номер патента: US20120070066A1. Автор: Kanno Seiichiro,Kitsunai Hiroyuki,Matsushima Masaru,Miya Go,NAKAGAWA Shuichi. Владелец: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION. Дата публикации: 2012-03-22.

Charged particle beam apparatus and sample observation method using charged particle beam

Номер патента: JP5285944B2. Автор: 俊哉 渡邉,義久 生頼,美音 荒木. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2013-09-11.

Method for making charged particle beam drawing data and method for converting charged particle beam drawing data

Номер патента: JP2007128933A. Автор: Shinji Sakamoto,信二 坂本,重博 原,等 日暮,Shigehiro Hara,Hitoshi Higure. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2007-05-24.

Isochronous cyclotron for accelerating several types of charged particles

Номер патента: RU2373673C1. Автор: Владимир Петрович Кухтин,Евгений Анатольевич Ламзин,Сергей Евгеньевич Сычевский,Михаил Феофанович Ворогушин,Петр Васильевич Богданов,Андрей Павлович Строкач. Владелец: Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт электрофизической аппаратуры им. Д.В. Ефремова". Дата публикации: 2009-11-20.

Charged particle accelerator

Номер патента: RU2306685C1. Автор: Дмитрий Михайлович Петров,Игорь Михайлович Олихов,Геннадий Петрович Щелкунов. Владелец: Закрытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Гамма" (ЗАО "НПП "Гамма"). Дата публикации: 2007-09-20.

Method for mass selective analysis of ions on flight time in linear rf field and device for realising said method

Номер патента: RU2367053C1. Автор: Евгений Васильевич Мамонтов,Андрей Афанасьевич Трубицын,Виктор Сергеевич Гуров,Александр Александрович Дягилев. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Рязанский государственный радиотехнический университет. Дата публикации: 2009-09-10.

Device for determining cross coordinate of charged particle beam

Номер патента: SU512688A1. Автор: В.Л. Брук,И.Г. Морозов,В.Е. Писаревский,И.Н. Терещенко,Е.Ф. Троянов. Владелец: Предприятие П/Я М-5631. Дата публикации: 1988-06-23.

Device for measuring the intensity of charged particle beams

Номер патента: SU333249A1. Автор: В.И. Артемов,Ф.А. Пеев,В.К. Емельянов,В.М. Рыбин. Владелец: В.М. Рыбин. Дата публикации: 1977-09-05.

Device for measuring the location of charged particle beams

Номер патента: SU725031A1. Автор: Юрий Александрович Быстров,Юрий Федорович Радченко,Евгений Николаевич Заграничный. Владелец: Ленинградский Ордена Ленина Электротехнический Институт Им. В.И.Ульянова (Ленина). Дата публикации: 1980-03-30.

Device for phase-grouping of accelerated charged particle beam

Номер патента: SU747394A1. Автор: Ю.Г. Басаргин. Владелец: Предприятие П/Я А-7904. Дата публикации: 1981-08-07.

Device for producing circular scanning of charged particle beam

Номер патента: SU1043761A2. Автор: Марлен Моисеевич Карлинер,Евгений Владимирович Козырев,Олег Александрович Нежевенко,Андрей Юрьевич Максимов. Владелец: Институт ядерной физики СО АН СССР. Дата публикации: 1983-09-23.

Device for measuring space characteristics of charged particle beam

Номер патента: SU818315A1. Автор: В.А. Скосарев,В.В. Ольховиков,В.Ф. Грачев. Владелец: Предприятие П/Я А-7904. Дата публикации: 1982-11-23.

Charged particle accelerator

Номер патента: RU2531808C1. Автор: Игорь Николаевич Ефимов,Евгений Александрович Морозов. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ижевский государственный технический университет имени М.Т. Калашникова. Дата публикации: 2014-10-27.

Apparatus for separating charged particles by mass

Номер патента: RU2142328C1. Автор: А.Н. Жданов,В.Т. Доронин. Владелец: Алтайский государственный технический университет им.И.И.Ползунова. Дата публикации: 1999-12-10.

Process of change of value of velocity of charged particles and device for its realization

Номер патента: RU2044421C1. Автор: Валерий Александрович Винокуров. Владелец: Валерий Александрович Винокуров. Дата публикации: 1995-09-20.

Device for measuring duration of cyclotron charged particle bunch

Номер патента: SU1111672A1. Автор: В.С. Васильев,А.К. Ваганов,В.И. Гордин. Владелец: Предприятие П/Я А-7904. Дата публикации: 1985-10-23.

Device for for multi-exposure of frames in photographic camera

Номер патента: SU985759A1. Автор: Виктор Алексеевич Гапеев. Владелец: Предприятие П/Я В-8450. Дата публикации: 1982-12-30.

Device for detecting center position of charged particles impulsed beams

Номер патента: SU639392A1. Автор: В.М. Рыбин,Е.В. Арменский,В.А. Сафоненко. Владелец: Московский Ордена Трудового Красного Знамени Инженерно-Физический Институт. Дата публикации: 1980-01-25.

Device for forming powerful beams of charged particles

Номер патента: SU283459A1. Автор: О.К. Назаренко,В.Е. Локшин. Владелец: Институт Электросварки Им.Е.О.Патона. Дата публикации: 1982-09-30.

Device for extraction of beam of charged particles on to target

Номер патента: SU1829882A1. Автор: А.М. Кокорин,Г.И. Головин,В.М. Искандарян,А.И. Стирин,Т.А. Хатков,С.В. Потураев. Владелец: Институт атомной энергетики им.И.К.Курчатова. Дата публикации: 1995-10-27.

Device for measuring band beams of charged particles

Номер патента: SU743558A1. Автор: А.С. Тищенко,И.В. Лопатин,А.С. Богач. Владелец: Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро С Опытным Производством Института Радиофизики И Электроники Ан Укрсср. Дата публикации: 1982-03-30.

Device for measuring the flow of charged particles

Номер патента: SU351465A1. Автор: Б.И. Хазанов,А.В. Богданов,О.Л. Вайсберг,Б.В. Поленов,А.А. Зерцалов. Владелец: . Дата публикации: 1974-10-05.

Device for formation of beam of charged particles with changeable form of section

Номер патента: SU1677734A1. Автор: Борис Никитович Васичев,Леонид Борисович Розенфельд,Евгений Петрович Михальцов. Владелец: Предприятие П/Я А-3726. Дата публикации: 1991-09-15.

Method and device for irradiating patients with heavy charged particles like protons

Номер патента: RU2149045C1. Автор: Б.В. Астрахан. Владелец: Астрахан Борис Владимирович. Дата публикации: 2000-05-20.

Device for connecting be used for between switch initiative roof beam and buttress roof beam

Номер патента: CN205474630U. Автор: 刘平,石建文,郭志勇,秦超,盛勇,章致,郑洪�,黄登,刘一平,靖仕元. Владелец: China Railway Siyuan Survey and Design Group Co Ltd. Дата публикации: 2016-08-17.

Device for preventing slurry leakage at protruding bar of T-beams and box beam wing plates

Номер патента: CN202323735U. Автор: 王琪,王万通,李同健. Владелец: First Engineering Co Ltd of China Railway No 12 Bureau Group Co Ltd. Дата публикации: 2012-07-11.

Charged particle beam apparatus and sample processing method

Номер патента: US20120001086A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

TREATMENT PLANNING SYSTEM, DEVICE FOR CALCULATING A SCANNING PATH AND PARTICLE THERAPY SYSTEM

Номер патента: US20120001085A1. Автор: Fujii Yusuke,UMEKAWA Toru,FUJIMOTO Rintaro,NAGAMINE Yoshihiko,UMEZAWA Masumi,AKIYAMA Hiroshi. Владелец: Hitachi, Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

Charged particle accelerating device

Номер патента: RU2236094C1. Автор: А.С. Богомолов. Владелец: Богомолов Алексей Сергеевич. Дата публикации: 2004-09-10.

Method for obtaining nanopowder and device for its realisation

Номер патента: RU2353573C2. Автор: Юрий Александрович Котов,Ку Ри Чанг,Сергей Юрьевич Соковнин,Владислав Генрихович Ильвес. Владелец: Институт электрофизики Уральского отделения РАН. Дата публикации: 2009-04-27.

Laser Beam Irradiation Apparatus and Substrate Sealing Apparatus Including the Same

Номер патента: US20120000611A1. Автор: . Владелец: Samsung Mobile Display Co., Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

Scanning system for charged and neutral particle beams

Номер патента: CA1150422A. Автор: Anders Brahme. Владелец: INSTRUMENT SCANDITRONIX AB. Дата публикации: 1983-07-19.

Mechanized set of tools for treatment of blanks in press and device for replacement of this set

Номер патента: RU2221696C2. Автор: Г.Е. Громов,К.Г. Зайцев. Владелец: ОАО "Новосибирский инструментальный завод". Дата публикации: 2004-01-20.

Бесплатный поиск патентной информации. Построение патентных ландшафтов и отчетов.

Главная
Проекты и услуги
Контакты

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.