SEMICONDUCTOR WAFER STORAGE SYSTEM AND METHOD OF SUPPLYING FLUID FOR SEMICONDUCTOR WAFER STORAGE
Номер патента: US20200176293A1
Опубликовано: 04-06-2020
Автор(ы): Ahn Yong-Jun, CHO Kyubum, JEON Taijo, KIM Jongsam, Lee Junyong, LEE Sangkyung, PARK Chul-Jun, Park Gi-Nam
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-06-2020
Автор(ы): Ahn Yong-Jun, CHO Kyubum, JEON Taijo, KIM Jongsam, Lee Junyong, LEE Sangkyung, PARK Chul-Jun, Park Gi-Nam
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer storage and transport system and method of operation of wafer storage and transport system
Номер патента: US20240006215A1. Автор: Ji Hun Kim,Hyuk Kwon,Sung-Hoon Lee,Sang Hyuk Park,Young-Kyu Kim,Youn Gon Oh,Jeong Kwan Jung. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-01-04.