Inspection method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method
Номер патента: US11828585B2
Опубликовано: 28-11-2023
Автор(ы): Arie Jeffrey Den Boef, Henricus Petrus Maria Pellemans
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-11-2023
Автор(ы): Arie Jeffrey Den Boef, Henricus Petrus Maria Pellemans
Принадлежит: ASML Netherlands BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Inspection tool, inspection method and computer program product
Номер патента: US20210232052A1. Автор: Richard Quintanilha,Scott Anderson Middlebrooks,Adrianus Cornelis Matheus Koopman,Albertus Victor Gerardus MANGNUS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2021-07-29.