Support layer for small pitch fill
Номер патента: US20230309295A1
Опубликовано: 28-09-2023
Автор(ы): Fredrick FISHBURN, Sung-Kwan Kang
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-09-2023
Автор(ы): Fredrick FISHBURN, Sung-Kwan Kang
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Support layer for small pitch fill
Номер патента: WO2023183233A1. Автор: Sung-Kwan Kang,Fredrick FISHBURN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-09-28.