Fluorine Containing Low Loss Dielectric Layers for Superconducting Circuits
Номер патента: US20160133819A1
Опубликовано: 12-05-2016
Автор(ы): Ashish Bodke, Frank Greer
Принадлежит: Intermolecular Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-05-2016
Автор(ы): Ashish Bodke, Frank Greer
Принадлежит: Intermolecular Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate processing method including supplying a fluorine-containing gas on a surface of a substrate
Номер патента: US10151034B2. Автор: Shigehiro Miura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-12-11.