Rough anti-stiction layer for MEMS device
Номер патента: US09884755B2
Опубликовано: 06-02-2018
Автор(ы): I-Shi WANG, Jen-Hao Liu, Ren-Dou Lee, Yu-Jui Chen
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-02-2018
Автор(ы): I-Shi WANG, Jen-Hao Liu, Ren-Dou Lee, Yu-Jui Chen
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Rough anti-stiction layer for mems device
Номер патента: US20180179047A1. Автор: I-Shi WANG,Jen-Hao Liu,Ren-Dou Lee,Yu-Jui Chen. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-06-28.