Divot-free planarization dielectric layer for replacement gate
Номер патента: US09876091B2
Опубликовано: 23-01-2018
Автор(ы): Hemanth Jagannathan, Sanjay Mehta
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-01-2018
Автор(ы): Hemanth Jagannathan, Sanjay Mehta
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Divot-free planarization dielectric layer for replacement gate
Номер патента: US20160276457A1. Автор: Sanjay Mehta,Hemanth Jagannathan. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2016-09-22.