Inner l-spacer for replacement gate flow
Номер патента: US20150279966A1
Опубликовано: 01-10-2015
Автор(ы): Brian K. Kirkpatrick, Chet Vernon Lenox, Seung-Chul Song
Принадлежит: Texas Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-10-2015
Автор(ы): Brian K. Kirkpatrick, Chet Vernon Lenox, Seung-Chul Song
Принадлежит: Texas Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Inner L-spacer for replacement gate flow
Номер патента: US09768078B2. Автор: Seung-Chul Song,Brian K. Kirkpatrick,Chet Vernon Lenox. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2017-09-19.