Disposable gate/replacement gate MOSFETs for sub-0.1 micron gate length and ultra-shallow junctions
Номер патента: US6180978B1
Опубликовано: 30-01-2001
Автор(ы): Amitava Chatterjee, Richard A. Chapman, Syed Suhail Murtaza
Принадлежит: Texas Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-01-2001
Автор(ы): Amitava Chatterjee, Richard A. Chapman, Syed Suhail Murtaza
Принадлежит: Texas Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Integrated circuits with deep and ultra shallow trench isolations and methods for fabricating the same
Номер патента: US20170330896A1. Автор: PURAKH Raj Verma,Guan Huei See,Rui Tze TOH,Shaoqiang Zhang. Владелец: GLOBALFOUNDRIES SINGAPORE PTE LTD. Дата публикации: 2017-11-16.