INDUCTIVE PLASMA SOURCE WITH METALLIC SHOWER HEAD USING B-FIELD CONCENTRATOR
Номер патента: US20170194128A1
Опубликовано: 06-07-2017
Автор(ы): LAI CANFENG, MARIN JOSE ANTONIO, PORSHNEV PETER I., TOBIN JEFFREY
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-07-2017
Автор(ы): LAI CANFENG, MARIN JOSE ANTONIO, PORSHNEV PETER I., TOBIN JEFFREY
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Plasma sources and plasma processing apparatus thereof
Номер патента: US20230369017A1. Автор: WEI Liu,Rene George,Vladimir Nagorny. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-16.