MEMS-CMOS DEVICE THAT MINIMIZES OUTGASSING AND METHODS OF MANUFACTURE
Номер патента: US20160221819A1
Опубликовано: 04-08-2016
Автор(ы): SHIN JONG IL, Shin Jongwoo, Smeys Peter
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-08-2016
Автор(ы): SHIN JONG IL, Shin Jongwoo, Smeys Peter
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods and structures of integrated MEMS-CMOS devices
Номер патента: US09950924B2. Автор: Sudheer S. Sridharamurthy,Ali J. Rastegar,Xiao Charles Yang,Te-Hse Terrence Lee,Mugurel Stancu. Владелец: MCube Inc. Дата публикации: 2018-04-24.