INTEGRATED MEMS-CMOS DEVICES AND INTEGRATED CIRCUITS WITH MEMS DEVICES AND CMOS DEVICES
Номер патента: US20170121172A1
Опубликовано: 04-05-2017
Автор(ы): CHATTERJEE Aveek Nath, Kumar Rakesh, RANGANATHAN Nagarajan, XIA Jia Jie
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-05-2017
Автор(ы): CHATTERJEE Aveek Nath, Kumar Rakesh, RANGANATHAN Nagarajan, XIA Jia Jie
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods and structures of integrated MEMS-CMOS devices
Номер патента: US09950924B2. Автор: Sudheer S. Sridharamurthy,Ali J. Rastegar,Xiao Charles Yang,Te-Hse Terrence Lee,Mugurel Stancu. Владелец: MCube Inc. Дата публикации: 2018-04-24.