Verfahren und vorrichtung zum verändern des strahldurchmessers eines durch ein optisches element hindurchgehenden laserstrahls mittels temperaturänderung
Номер патента: WO2008061516A1
Опубликовано: 29-05-2008
Автор(ы): Mark Geschwandner, Michael von Borstel
Принадлежит: TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH
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Автор(ы): Mark Geschwandner, Michael von Borstel
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Verfahren, optisches element, optisches system und lithographieanlage
Номер патента: DE102019204546A1. Автор: Toralf Gruner,Christian Karlewski. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2019-05-23.