Self-aligned spatial frequency doubling
Номер патента: US20110127235A1
Опубликовано: 02-06-2011
Автор(ы): Alexander K. Raub, Andrew Frauenglass, Dong Li, Steven R.J. Brueck
Принадлежит: STC UNM
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-06-2011
Автор(ы): Alexander K. Raub, Andrew Frauenglass, Dong Li, Steven R.J. Brueck
Принадлежит: STC UNM
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Frequency Doubling Using Spacer Mask
Номер патента: EP1998363A3. Автор: Keiji Horioka,Christopher D. Bencher. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2010-02-10.