SELECTIVE DEPOSITION AND NITRIDIZATION OF BOTTOM ELECTRODE METAL FOR MRAM APPLICATIONS
Номер патента: US20180240971A1
Опубликовано: 23-08-2018
Автор(ы): Briggs Benjamin D., LEE JOE, Penny Christopher J., RIZZOLO Michael, Yang Chih-Chao
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-08-2018
Автор(ы): Briggs Benjamin D., LEE JOE, Penny Christopher J., RIZZOLO Michael, Yang Chih-Chao
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Selective deposition and nitridization of bottom electrode metal for mram applications
Номер патента: US20180240968A1. Автор: Chih-Chao Yang,Benjamin D. Briggs,Michael RIZZOLO,Christopher J. Penny,Joe Lee. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-08-23.