Test key and test method for detecting whether the overlay of bit line contact and active area of DRAM is normal
Номер патента: TW550758B
Опубликовано: 01-09-2003
Автор(ы): Bo-Ching Jiang, Chien-Chang Huang, Chin-Ling Huang, Tie-Jiang Wu, Yu-Wei Ting
Принадлежит: Nanya Technology Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-09-2003
Автор(ы): Bo-Ching Jiang, Chien-Chang Huang, Chin-Ling Huang, Tie-Jiang Wu, Yu-Wei Ting
Принадлежит: Nanya Technology Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and device for detecting whether the alignment of bit line contacts and active areas in DRAM devices is normal
Номер патента: US6844207B2. Автор: Yu-Wei Ting,Tie Jiang Wu,Chien-Chang Huang,Bo Ching Jiang,Chin-Ling Huang. Владелец: Nanya Technology Corp. Дата публикации: 2005-01-18.