Internal purge diffuser with offset manifold
Номер патента: US20180247849A1
Опубликовано: 30-08-2018
Автор(ы): Jeffery J. King, Kyle GLAVAN, Matthew Fuller
Принадлежит: Entegris Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-08-2018
Автор(ы): Jeffery J. King, Kyle GLAVAN, Matthew Fuller
Принадлежит: Entegris Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Internal purge diffuser with offset manifold
Номер патента: WO2017040913A1. Автор: Matthew Fuller,Jeffery J. King,Kyle GLAVAN. Владелец: ENTEGRIS, INC.. Дата публикации: 2017-03-09.