FILM THICKNESS MEASURING METHOD AND FILM THICKNESS MEASURING APPARATUS
Номер патента: US20180274904A1
Опубликовано: 27-09-2018
Автор(ы): MIURA Masanori, TAKAYANAGI Jun
Принадлежит: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-09-2018
Автор(ы): MIURA Masanori, TAKAYANAGI Jun
Принадлежит: TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Film thickness measurement device and film thickness measurement method
Номер патента: US8885173B2. Автор: Motoyuki Watanabe,Kenichi Ohtsuka,Tetsuhisa Nakano. Владелец: Hamamatsu Photonics KK. Дата публикации: 2014-11-11.