Semiconductor device with air-gap spacers
Номер патента: US12002863B2
Опубликовано: 04-06-2024
Автор(ы): Chen-Ming Lee, Fu-Kai Yang, Kai-Hsuan LEE, Mei-Yun Wang, Yen-Ming Chen
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-06-2024
Автор(ы): Chen-Ming Lee, Fu-Kai Yang, Kai-Hsuan LEE, Mei-Yun Wang, Yen-Ming Chen
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor device with air-gap spacers
Номер патента: US20240304689A1. Автор: Yen-Ming Chen,Mei-Yun Wang,Fu-Kai Yang,Kai-Hsuan LEE,Chen-Ming Lee. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-09-12.