AIR GAP SPACER FOR METAL GATES
Номер патента: US20180294263A1
Опубликовано: 11-10-2018
Автор(ы): Bergendahl Marc A., Cheng Kangguo, LIE Fee Li, Miller Eric R., Sporre John R., Teehan Sean
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-10-2018
Автор(ы): Bergendahl Marc A., Cheng Kangguo, LIE Fee Li, Miller Eric R., Sporre John R., Teehan Sean
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Air gap spacer for metal gates
Номер патента: US10553581B2. Автор: Kangguo Cheng,John R. Sporre,Eric R. Miller,Marc A. Bergendahl,Fee Li LIE,Sean TEEHAN. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2020-02-04.