High voltage polysilicon gate in high-k metal gate device
Номер патента: US20210043638A1
Опубликовано: 11-02-2021
Автор(ы): Meng-Han LIN, Te-Hsin Chiu
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-02-2021
Автор(ы): Meng-Han LIN, Te-Hsin Chiu
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
High voltage polysilicon gate in high-k metal gate device
Номер патента: US20230109700A1. Автор: Meng-Han LIN,Te-Hsin Chiu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-04-13.