Integrated high-k/metal gate in CMOS process flow
Номер патента: US8841731B2
Опубликовано: 23-09-2014
Автор(ы): Chien-Hao Chen, Jr Jung Lin, Kuo-Tai Huang, Ryan Chia-Jen Chen, Yi-Hsing Chen, Yi-Shien Mor, Yih-Ann Lin
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-09-2014
Автор(ы): Chien-Hao Chen, Jr Jung Lin, Kuo-Tai Huang, Ryan Chia-Jen Chen, Yi-Hsing Chen, Yi-Shien Mor, Yih-Ann Lin
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Integrated high-K/metal gate in CMOS process flow
Номер патента: US09601388B2. Автор: Chien-Hao Chen,Kuo-Tai Huang,Yi-Hsing Chen,Jr-Jung LIN,Ryan Chia-Jen Chen,Yih-Ann Lin,Yi-Shien Mor. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-03-21.