Low Threshold Voltage And Inversion Oxide Thickness Scaling For A High-K Metal Gate P-Type MOSFET
Номер патента: US20130032886A1
Опубликовано: 07-02-2013
Автор(ы): Changhwan Choi, Martin M. Frank, Takashi Ando, Unoh Kwon, Vijay Narayanan
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-02-2013
Автор(ы): Changhwan Choi, Martin M. Frank, Takashi Ando, Unoh Kwon, Vijay Narayanan
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Low threshold voltage and inversion oxide thickness scaling for a high-k metal gate p-type mosfet
Номер патента: WO2013019696A1. Автор: Takashi Ando,Changhwan Choi,Martin M. Frank,Vijay Narayanan,Unoh Kwon. Владелец: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. Дата публикации: 2013-02-07.