Removing a high-k gate dielectric
Номер патента: US7575991B2
Опубликовано: 18-08-2009
Автор(ы): Jack Kavalieros, Justin K. Brask, Mark L. Doczy, Matthew Metz, Robert L. Norman, Robert S. Chau, Suman Datta
Принадлежит: Intel Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-08-2009
Автор(ы): Jack Kavalieros, Justin K. Brask, Mark L. Doczy, Matthew Metz, Robert L. Norman, Robert S. Chau, Suman Datta
Принадлежит: Intel Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Removing a high-k gate dielectric
Номер патента: US20060003499A1. Автор: Mark Doczy,Justin Brask,Suman Datta,Robert Norman,Robert Chau,Jack Kavalieros,Matthew Metz. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2006-01-05.