Adjustment of work function in high-k gate stacks containing gate dielectrics of different thickness
Номер патента: DE102009039418B4
Опубликовано: 22-08-2013
Автор(ы): Andy Wei, Martin Trentzsch, Thilo Scheiper
Принадлежит: GlobalFoundries Dresden Module One LLC and Co KG, Globalfoundries Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-08-2013
Автор(ы): Andy Wei, Martin Trentzsch, Thilo Scheiper
Принадлежит: GlobalFoundries Dresden Module One LLC and Co KG, Globalfoundries Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Work function adjustment in high-k gate stacks including gate dielectrics of different thickness
Номер патента: US20110049642A1. Автор: Thilo Scheiper,Andy Wei,Martin Trentzsch. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2011-03-03.