Replacement metal gate stack for diffusion prevention
Номер патента: US20160197157A1
Опубликовано: 07-07-2016
Автор(ы): Injo OK, Johnathan E. Faltermeier, Sivananda K. Kanakasabapathy, Su Chen Fan, Takashi Ando, Tenko Yamashita
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-07-2016
Автор(ы): Injo OK, Johnathan E. Faltermeier, Sivananda K. Kanakasabapathy, Su Chen Fan, Takashi Ando, Tenko Yamashita
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Replacement metal gate stack for diffusion prevention
Номер патента: US09905665B2. Автор: Takashi Ando,Sivananda K. Kanakasabapathy,Tenko Yamashita,Johnathan E. Faltermeier,Su Chen Fan,Injo OK. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-02-27.