Nanofluidic device with silicon nitride membrane
Номер патента: WO2022020022A1
Опубликовано: 27-01-2022
Автор(ы): David Collins, George ODLUM, Joseph R. Johnson, Raghav SREENIVASAN, Roger Quon, Ryan Scott Smith
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-01-2022
Автор(ы): David Collins, George ODLUM, Joseph R. Johnson, Raghav SREENIVASAN, Roger Quon, Ryan Scott Smith
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Nanofluidic device with silicon nitride membrane
Номер патента: US20220016628A1. Автор: David Collins,Joseph R. Johnson,Raghav SREENIVASAN,Roger Quon,Ryan Scott Smith,George ODLUM. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-01-20.