Method and apparatus for illumination
Номер патента: WO2011080383A1
Опубликовано: 07-07-2011
Автор(ы): Markku Vehvilainen, Radu Bilcu, Sakari Alenius
Принадлежит: Nokia Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-07-2011
Автор(ы): Markku Vehvilainen, Radu Bilcu, Sakari Alenius
Принадлежит: Nokia Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and pellicle mounting apparatus for reducing pellicle induced distortion
Номер патента: US20100271612A1. Автор: Chia-Wei Chang,Chien-Chao Huang,Cheng-Ming Lin,Jong-Yuh Chang,Boming Hsu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2010-10-28.