Method for transmission increase at a position on a photo mask repaired with ionic radiation by means of thermal desorption
Номер патента: US20050064296A1
Опубликовано: 24-03-2005
Автор(ы): Michael Schopp, Ralf Ludwig, Ulrich Wiedenmann
Принадлежит: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-03-2005
Автор(ы): Michael Schopp, Ralf Ludwig, Ulrich Wiedenmann
Принадлежит: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for dual wavelength overlay measurement with focus at a photoresist top surface and apparatus for using same
Номер патента: US20240079341A1. Автор: Katsuya Kato. Владелец: SanDisk Technologies LLC. Дата публикации: 2024-03-07.