Device for detecting plasma of ultra fast with multi channel
Номер патента: US11961720B2
Опубликовано: 16-04-2024
Автор(ы): Bum Ho Choi, Hong Jong JUNG, Kwang ki KANG, Seok Ho Lee, Seung Soo Lee, Yong Kyu Kim, Yong Sik Kim
Принадлежит: TOS Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-04-2024
Автор(ы): Bum Ho Choi, Hong Jong JUNG, Kwang ki KANG, Seok Ho Lee, Seung Soo Lee, Yong Kyu Kim, Yong Sik Kim
Принадлежит: TOS Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Device for detecting plasma of ultra fast with multi channel
Номер патента: US20220223389A1. Автор: Yong Sik Kim,Seung Soo Lee,Yong Kyu Kim,Seok Ho Lee,Bum Ho Choi,Kwang ki KANG,Hong Jong JUNG. Владелец: TOS Co Ltd. Дата публикации: 2022-07-14.