METHOD FOR RECOVERING AND PURIFYING ARGON GAS FROM SILICON SINGLE CRYSTAL MANUFACTURING APPARATUS AND APPARATUS FOR RECOVERING AND PURIFYING ARGON GAS
Номер патента: US20160325996A1
Опубликовано: 10-11-2016
Автор(ы): MATSUSHIMA Hideaki, ONOZAWA Ichiro, YAJIMA Wataru
Принадлежит: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 10-11-2016
Автор(ы): MATSUSHIMA Hideaki, ONOZAWA Ichiro, YAJIMA Wataru
Принадлежит: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
APPARATUS AND METHOD FOR COMPRESSING AND/OR COOLING AND PURIFYING A CARBON DIOXIDE RICH GAS CONTAINER WATER
Номер патента: US20160264418A1. Автор: LECLERC Mathieu,Szamlewski Christophe. Владелец: L'Air Liquide, Societe Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procedes Georges Claude. Дата публикации: 2016-09-15.