Light emitting and receiving apparatus and method of diagnosing deterioration
Номер патента: US20200309752A1
Опубликовано: 01-10-2020
Автор(ы): Yuta Takagi
Принадлежит: Asahi Kasei Microdevices Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-10-2020
Автор(ы): Yuta Takagi
Принадлежит: Asahi Kasei Microdevices Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Optical reticle substrate inspection apparatus and beam scanning method of the same
Номер патента: US20020093719A1. Автор: Motonari Tateno. Владелец: NEC Corp. Дата публикации: 2002-07-18.