A method of characterizing a step of implanting in a material substrate
Номер патента: TW571368B
Опубликовано: 11-01-2004
Автор(ы): Christophe Maleville, Walter Schwarzenbach
Принадлежит: Soitec Silicon On Insulator
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-01-2004
Автор(ы): Christophe Maleville, Walter Schwarzenbach
Принадлежит: Soitec Silicon On Insulator
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of characterising an implantation step in a substrate of material
Номер патента: AU2002347283A1. Автор: Christophe Maleville,Walter Schwarzenbach. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2003-04-14.