Pilot Valve Structures and Mass Flow Controllers
Номер патента: US20150247586A1
Опубликовано: 03-09-2015
Автор(ы): II Richard Gomes
Принадлежит: MKS Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-09-2015
Автор(ы): II Richard Gomes
Принадлежит: MKS Instruments Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Pilot valve structures and mass flow controllers
Номер патента: US09476517B2. Автор: II Richard Gomes. Владелец: MKS Instruments Inc. Дата публикации: 2016-10-25.