Actively clamped carrier assembly for processing tools
Номер патента: WO2022125354A1
Опубликовано: 16-06-2022
Автор(ы): Benjamin B. Riordon, James D. Strassner
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-06-2022
Автор(ы): Benjamin B. Riordon, James D. Strassner
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Actively clamped carrier assembly for processing tools
Номер патента: US20230352336A1. Автор: Benjamin B. Riordon,James D. Strassner. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-02.