Method and apparatus for automatically generating schedules for wafer processing within a multichamber semiconductor wafer processing tool
Номер патента: WO2002059704A3
Опубликовано: 08-05-2003
Автор(ы): Dusan B Jevtic
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-05-2003
Автор(ы): Dusan B Jevtic
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Toolset schedule generation method and system
Номер патента: GB2613805A8. Автор: XENOS DIONYSIOS,Moss Robert,Konstantelos Ioannis,Williamson Ruaridh. Владелец: Flexciton Ltd. Дата публикации: 2023-07-05.