Methods for planarization of group VIII metal-containing surfaces using oxidizing gases
Номер патента: US20060183334A1
Опубликовано: 17-08-2006
Автор(ы): Don Westmoreland, Stefan Uhlenbrock
Принадлежит: Micron Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-08-2006
Автор(ы): Don Westmoreland, Stefan Uhlenbrock
Принадлежит: Micron Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods for planarization of Group VIII metal-containing surfaces using oxidizing gases
Номер патента: US20030119321A1. Автор: Stefan Uhlenbrock,Don Westmoreland. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2003-06-26.