Methods for planarization of metal-containing surfaces using halogens and halide salts
Номер патента: US6861353B2
Опубликовано: 01-03-2005
Автор(ы): Brian A. Vaartstra
Принадлежит: Micron Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-03-2005
Автор(ы): Brian A. Vaartstra
Принадлежит: Micron Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods for planarization of metal-containing surfaces using halogens and halide salts
Номер патента: US6730592B2. Автор: Brian A. Vaartstra. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2004-05-04.