PROCESS FOR THE GENERATION OF METAL-CONTAINING FILMS
Номер патента: US20210079520A1
Опубликовано: 18-03-2021
Автор(ы): Blakeney Kyle, Karunaratne Tharindu Malawara Arachchige Nimanthaka, Klenk Sinja Verena, Mayr Lukas, Schweinfurth David Dominique, Weerathunga Sirikkathuge Nilanka, Weiguny Sabine, Winter Charles Hartger
Принадлежит: WAYNE STATE UNIVERSITY
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-03-2021
Автор(ы): Blakeney Kyle, Karunaratne Tharindu Malawara Arachchige Nimanthaka, Klenk Sinja Verena, Mayr Lukas, Schweinfurth David Dominique, Weerathunga Sirikkathuge Nilanka, Weiguny Sabine, Winter Charles Hartger
Принадлежит: WAYNE STATE UNIVERSITY
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Aluminum precursor and process for the generation of metal-containing films
Номер патента: EP3781577B1. Автор: Sabine Weiguny,David Dominique Schweinfurth,Lukas Mayr,Daniel Waldmann,Kyle BLAKENEY,Charles Hartger Winter. Владелец: WAYNE STATE UNIVERSITY. Дата публикации: 2024-10-30.