Film-forming device and method for forming piezoelectric film
Номер патента: EP3623496A4
Опубликовано: 27-05-2020
Автор(ы): Naoki Murakami, Shuji Takahashi
Принадлежит: Fujifilm Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-05-2020
Автор(ы): Naoki Murakami, Shuji Takahashi
Принадлежит: Fujifilm Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Film-forming device and method for forming piezoelectric film
Номер патента: EP3623496A1. Автор: Naoki Murakami,Shuji Takahashi. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2020-03-18.