Film forming device, film forming method, and organic el element
Номер патента: TW201107502A
Опубликовано: 01-03-2011
Автор(ы): Kohei Tsugita, Tomiko Wanifuchi, Tomohiko Edura
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-03-2011
Автор(ы): Kohei Tsugita, Tomiko Wanifuchi, Tomohiko Edura
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Film forming source, vapor deposition apparatus, and apparatus for manufacturing an organic el element
Номер патента: US20110042208A1. Автор: Toshio Negishi,Tatsuhiko Koshida. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2011-02-24.