Naturally oxidized film removing method and naturally oxidized film removing device
Номер патента: US10460946B2
Опубликовано: 29-10-2019
Автор(ы): Akifumi YAO, Jun Lin, Koji Takeya, Kunihiro Yamauchi, Mitsuhiro Tachibana, Shinichi Kawaguchi
Принадлежит: Central Glass Co Ltd, Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-10-2019
Автор(ы): Akifumi YAO, Jun Lin, Koji Takeya, Kunihiro Yamauchi, Mitsuhiro Tachibana, Shinichi Kawaguchi
Принадлежит: Central Glass Co Ltd, Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for processing substrate
Номер патента: US20240355615A1. Автор: Tadahiro Ishizaka,Takashi Sakuma. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-24.