Film formation apparatus, film formation method, and method for fabricating semiconductor device
Номер патента: US12112955B2
Опубликовано: 08-10-2024
Автор(ы): Soichi Yamazaki, Yusuke Kondo
Принадлежит: Kioxia Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-10-2024
Автор(ы): Soichi Yamazaki, Yusuke Kondo
Принадлежит: Kioxia Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Film formation method
Номер патента: US20230361163A1. Автор: Koji Akiyama,Yumiko Kawano,Akinobu Kakimoto,Nobutake KABUKI,Hajime Nakabayashi,Sara Otsuki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-09.