光スキャナとその駆動方法
Номер патента: JPH01152278A
Опубликовано: 26-02-1999
Автор(ы): Keizo Yamada, Toshihide Kuriyama, 恵三 山田, 敏秀 栗山
Принадлежит: NEC Corp
Опубликовано: 26-02-1999
Автор(ы): Keizo Yamada, Toshihide Kuriyama, 恵三 山田, 敏秀 栗山
Принадлежит: NEC Corp
Реферат: (57)【要約】
【課題】 低電圧で駆動でき、しかも偏向角度が大き く、かつ小型化を可能にした光スキャナを提供する。
【解決手段】 支持基板１にトーションバー３ａ，３ｂ で支持されて支持基板１の平面方向と垂直な方向に揺動 可能とされたミラー２と、このミラーの両側位置におい て前記支持基板１に支持された固定電極７ａ，７ｂとを 備え、これら固定電極７ａ，７ｂとミラー２に設けられ た電極部５との間に電圧を印加し、両者間に生じる静電 引力によってミラー２を揺動させる構成の光スキャナに おいて、前記固定電極７ａ，７ｂとミラー２は、ミラー の揺動方向には重ならない平面形状に形成される。固定 電極７ａ，７ｂとミラー電極部５との間隔を小さくして も相互干渉が防止できるため、低電圧でしかも偏向角度 の大きな、かつ小型の光スキャナが得られる。
Thin-film actuated mirror matrix and process of its manufacture
Номер патента: RU2140722C1. Автор: Джи Джеонг-Беом,Ким Донг-Кук,Ли Сеок-Вон. Владелец: Дэу Электроникс Ко., Лтд.. Дата публикации: 1999-10-27.